【解決手段】 本発明は、スペクトルビーム結合のシステムおよび方法を提供するものであり、複数の分散素子をそれぞれ使って空間チャープ（揺らぎ）を複数の入力ビームレットの各々に適用し、前記空間チャープを取り除くように構成された分散素子を使用して前記空間チャープ済みのビームレットを単一の平行（コリメート）出力ビームへと結合するシステムおよび方法である。ある実施形態においては、各分散素子はレンズと組み合わされた回折格子であり、前記レンズは、前記回折格子に焦点を共有し、且つ光線スペクトル成分の横方向分散が生成されるフーリエ面にも焦点を共有する。最後のレンズ−回折格子ペアはレンズと回折格子を含み、前記レンズは前記回折格子に焦点を共有し、且つ前記フーリエ面にも焦点を共有するものである。
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【課題】 所定の偏光状態を有する入射光束を第１の光束と第２の光束に分岐する光束分岐装置であって、第１の光束の光量を損失させずに、第１の光束が第２の光束と同一の偏光状態を有するようにすることができる光束分岐装置を提供する。
【解決手段】 所定の偏光状態を有する入射光束を第１の光束と第２の光束に分岐させるプリズム４と、前記第２の光束を反射させる反射部材６とを備える光束分岐装置であって、前記プリズムは、前記入射光束を透過及び反射させることによって、前記第１の光束としての透過光束と前記第２の光束としての反射光束とに分岐させる入射面４０と、前記入射面から入射した前記第１の光束が射出する射出面５４と、前記入射面から入射した前記第１の光束を全反射させながら前記射出面へ導く少なくとも１つの反射面４２とを備え、前記射出面から射出した前記第１の光束は、前記反射部材で反射した前記第２の光束と同一の偏光状態を有する。 （もっと読む）

【課題】複数の照射点を同時に照射することができる光パルス多重化ユニット等を提供すること。
【解決手段】入射光を分波して、透過光及び反射光を生成するハーフミラーと、ハーフミラーの両側に対向配置され、ハーフミラーにより分波された透過光及び反射光をそれぞれ偏向して、再びハーフミラー上の所定箇所で合波を行わせる光学ユニットと、所定面において光路長を一致させる光路長補正部とを有し、ハーフミラーの両側のうち一方の側に配置されている光学ユニットは、ハーフミラーにより分波された光を偏向する光偏向部を有し、光偏向部により偏向された光が他方の側に配置されている光学ユニットからの光とハーフミラー上において共通箇所で同一の入射角度で再び合波するときの光偏向部の配置角度を基準角度としたとき、光偏向部は、基準角度から所定角度だけ傾けて配置されていること。 （もっと読む）

【課題】均一の照度を持ち、且つ広い面積を持つ紫外線照射領域を形成することが可能な紫外線照射装置を提供する。
【解決手段】紫外線ＬＥＤ光源２０と、該紫外線ＬＥＤ光源２０からの紫外線を集光して外部に紫外線ビームを放出するための光学系レンズ３０、３２とを備えるＬＥＤユニット１２が複数設けられる。複数のＬＥＤユニット１２から出射される紫外線ビームで１つの紫外線照射領域４２を形成しており、紫外線照射領域４２は、複数のＬＥＤユニットから出射される紫外線ビーム４４が互いに重なり合う位置に形成され、該紫外線照射領域が形成される位置は、各ＬＥＤユニットの光学系レンズによる紫外線ＬＥＤ光源の像点とは異なる位置となっている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、経時変化による分配率の変動を抑制することができる光ビーム分岐装置、照射装置、光ビームの分岐方法、電子デバイスの製造方法、および精密部品の製造方法を提供する。
【解決手段】光ビームの光路上に設けられた第１のアレイレンズと、前記第１のアレイレンズの出射側の光路上に設けられ、前記第１のアレイレンズと協働して前記光ビームを複数のビームに分割するとともに前記光ビームの断面におけるエネルギー強度の面内分布を均一に近づける第２のアレイレンズと、前記第２のアレイレンズの出射側の光路上に設けられ、前記第２のアレイレンズから出射した前記光ビームを集光し、重ね合わせることでエネルギー強度の面内分布が略均一な矩形ビームに整形する第１のコンデンサレンズと、前記第１のコンデンサレンズの出射側の光路上に設けられ、併設された複数のレンズを有し、前記複数のレンズのそれぞれに入射した前記光ビームごとに分岐する第１の分割レンズと、を備えたことを特徴とする光ビーム分岐装置が提供される。 （もっと読む）

【課題】従来よりも簡易な構成で高速の短距離通信に貢献可能な光交換素子及び光受信機を提供する。
【解決手段】それぞれ光受信機１と光送信機２を備えたノード１０、２０、３０、４０、ｎｎと、各ノードから入射端３を介して入射した光信号に対して以下に詳述する「光交換」を行ない出射端４から出射させる光交換素子１００と、を備え、光交換素子１００が、共通光信号を全てのノードに繋がる光伝送路に分配する図示しない光分配器と、各ノードから入力される個別光信号を、予め決められた１つ又は複数の光伝送路にそれぞれ部分的に伝播させる同様に図示しない合波分配器と、を有し、光受信機１が入射した光信号を個別光信号と共通光信号とに分離するビームスプリッタ１１と、ビームスプリッタ１１が分離した個別光信号を検出する第１の光検出器１２と、ビームスプリッタ１１が分離した共通光信号を検出する第２の光検出器１３と、を有する構成をなす。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成かつ低コストでレーザ光を効率良く合成することができるレーザ光合成装置を得ること。
【解決手段】レーザ光の放射角に異方性を有した複数のレーザ光源１１と、レーザ光源１１に対して１対１で配設されて、レーザ光源１１から射出された各レーザ光を平行光化するコリメーターレンズ１２と、各コリメーターレンズ１２で平行光化されたレーザ光の光束を集光するコンデンサーレンズ１３と、コンデンサーレンズ１３によって集光されたレーザ光の光束を入射させて合成する合成光学素子１４と、を備え、レーザ光源は、レーザ光の発光領域の長手方向がコンデンサーレンズ１３の径方向に一致するよう配置される。 （もっと読む）

【課題】独立した２つの走査光学系の結合部における収差を補正する構成もった共焦点レーザー走査蛍光顕微鏡を提供する。
【解決手段】第１の走査光学系の第１の瞳投影レンズ１７と共通光路の結像レンズ１９の間にビームスプリッタ１８を光軸に対し傾斜させて配置され、第１の走査光学系からのレーザーを透過して第２の走査光学系からのレーザーを反射し、第２の走査光学系の第２の瞳投影レンズ１７’とビームスプリッタ１８の間に、ビームスプリッタ１８と光学的に等しい厚みを持った第１の平行平面板ガラス２７を、ビームスプリッタ１８と等しい角度で傾斜させて配置し、ビームスプリッタ１８で発生する非点収差と同量の非点収差を、ビームスプリッタ１８で発生する非点収差と９０度異なる方向に発生させる非点収差発生光学素子を、前記共通光路に配置する。 （もっと読む）

【課題】レーザアニール処理等における結晶の高品質化，高生産性を実現する。
【解決手段】複数のレーザビームを合成し加工対象物に照射して加工を行うレーザ加工装置において、前記レーザビームを出射するレーザ発振器と、前記レーザ発振器から出射された複数のレーザビームのうち、任意に選択される２つのレーザビームを強度の中心を一致させて合成し合成波を生成する合成波生成手段と、前記合成波から出力される複数のレーザビームを整形するビーム整形手段と、前記加工対象物を載置したステージを所定方向に移動させるステージ駆動手段と、前記ビーム整形手段により整形されたレーザビームを前記加工対象物の所定の位置に照射させるように、少なくとも前記レーザ発振器及び前記ステージ駆動手段を制御する制御手段とを有することにより、上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】簡便にパルス光を所望の形状に整形することができるパルス整形装置、パルス整形方法、及びそれを用いた電子銃を提供する。
【解決手段】本発明の一態様にかかるパルス整形装置は、パルス光を２本の光ビームに分岐する分岐用ＰＢＳ２８と、分岐用ＰＢＳ２８によって分岐された２本の光ビームを合成する合成用ＰＢＳ２９と、分岐用ＰＢＳ２８から合成用ＰＢＳ２９に入射する２本の光ビームに光路長差を与えて、２本の光ビームのタイミングをずらす可動ミラー対２６と、分岐用ＰＢＳ２８と合成用ＰＢＳ２９との間の光路に配置され、合成用ＰＢＳ２９に入射する一方の光ビームを遮光可能な遮光部材３７と、を有している。そして、遮光部材３７によって一方の光ビームを遮光した状態で他方の光ビームに応じた測定を行い、パルス形状を調整している。 （もっと読む）