【課題】 加工および取り扱いが容易で、ビームの平行度を優れたものとすることができる光ビームの軸間ピッチ変換装置および露光位置精度に優れる基板露光装置を提供する。
【解決手段】 ｘｙ方向の断面が平行四辺形の四角柱である平行ガラス１４１８と、ｘｙ方向の断面が平行四辺形の四角柱であってｘｙ方向と直角なｚ方向の一方の表面に溝Ｇを備える平行ガラス１４１１〜１４１７を、溝Ｇが内側になるようにして密着させて重ね、溝Ｇに進入しようとする光を全反射させることにより、１３ｍｍのピッチＰxで入射する平行ビーム１０Ａの光軸を、１ｍｍのピッチＰx′で出射する平行ビーム１０とする。 （もっと読む）

【課題】高速ビーム走査可能な光制御型フェーズドアレーアンテナ装置を得る。
【解決手段】マイクロ波周波数で離調した信号光およびローカル光の２つのレーザ光を出力する光出力部１と、信号光を信号光ビームとして空間に出射する信号光ビーム出射部２と、ローカル光をローカル光ビームとして空間に出射するローカル光ビーム出射部３と、信号光ビームの方向を反射面の回転により変化させる第１のポリゴンミラー１０と、反射した信号光ビームと、ローカル光ビームとを空間的に重ね合わせて合成ビーム光を得る光ビーム合成器４と、合成ビーム光を空間的にサンプリングする光サンプリングアレー５と、光サンプリングアレー５でサンプリングされた光をヘテロダイン検波することでマイクロ波信号に変換し、マイクロ波信号をアレーアンテナ７の各アンテナ素子に給電する複数の光電変換器６とを備える。 （もっと読む）

【課題】エキシマレーザー光源を使用した場合でも、十分なコヒーレンシーの低減を行うこと。
【解決手段】 コヒーレント光源と、該コヒーレント光源からの光束を分割し、分割された一方の光束を遅延光路に廻し、再び分割した光路に戻す光遅延素子と、を有する照明光学系において、前記光遅延素子は、光束を分割するための光束分割部材と、該光束分割部材からの光束が入射する反射部材と、を有し、前記光束分割部材の入射面は、前記反射部材の入射面に対し直交するように配置されることを特徴とする照明光学装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】半導体レーザから出射されるレーザ光等、発光部から出射される光をより小さく集光できるとともに、集光する集光経路における光学素子の数を低減し、当該光学素子の位置決めをより容易にすることができる分割合波ユニット及び半導体レーザ集光装置を提供する。
【解決手段】第１偏光方向を有する所定幅の光において幅方向に対して分割された一部の光が入射されてその偏光方向を第２偏光方向に変換して出射する位相差部と、第１及び第２偏光方向の一方の偏光方向の光を透過して他方の偏光方向の光を反射する選択透過面が幅方向に対して所定角度で配置され且つ位相差部に対して光の出射方向に直列となる位置に配置された合波部材と、幅方向に対して前記分割された残りの光が入射されて透過してきた光の進行方向を選択透過面に向かうように変換する全反射面が入射側と対向する側に幅方向に対して所定角度で配置された伝搬部材とを一体的に構成する。 （もっと読む）

【課題】共通の光源からの光束を分割して異なる段の偏向反射面に入射させ、異なる被走査面を走査する光走査装置であって、ビームスポット径の劣化の低減が可能な光走査装置および画像形成装置を得る。
【解決手段】光源と、複数の偏向反射面を副走査方向に備えた光偏向器と、光源からの光束を複数の偏向反射面のそれぞれに入射する複数の光束に分割する光束分割用回折光学素子と、光偏向器により偏向された光束を被走査面上に集光する走査光学系とを備え、光偏向器に入射した複数の光束がそれぞれ異なる被走査面上を走査する。 （もっと読む）

【目的】 ミラーアレイの光軸調整を容易かつ的確に行なえることを課題とする。
【構成】 分光素子２０と、該分光された各波長光を集光レンズ２５で集光して、ミラーアレイ３０の各ミラーＭでそれぞれ反射し、各所望の出力ポートに導く光学系スイッチ手段とを備える光波長選択スイッチの光軸調整方法であって、所定のミラー面Ｍ５を観測すべく、集光レンズ２５とミラーアレイ３０の各中心間を結ぶ直線上に想定した光軸２３に対して所定の角度βにカメラ４２をセットするステップと、分光素子で分光した特定波長光２７をカメラの視野内に反射すべく、該特定波長光のミラー面への入射角αと、カメラのセット角βとから決定される角度θｘ１｛＝（α＋β）／２｝にミラー面を駆動するステップと、カメラの観測出力に基づき特定波長光の反射スポットがミラー面Ｍ５の中心に位置するようにミラーアレイ３０を光軸に垂直な平面内で調整するステップとを備える。 （もっと読む）

【課題】広色域な画像投影が可能な画像投影装置及び画像投影方法を提供する。
【解決手段】固体光源と放電ランプとからなる光源と、前記固体光源から出射される光と前記放電ランプから出射される光とを合成する光合成部と、前記光合成部から出射される光を情報に応じて変調する光変調部と、前記光変調部から出射される光を投影する投影光学部とを少なくとも有する画像投影装置において、前記固体光源は、それぞれ異なる波長を有する複数のレーザダイオードから構成され、この複数のレーザダイオードから出射される光を整形する集光レンズを備えるように構成する。 （もっと読む）

【課題】 反射型投射表示装置に適用される色分解合成光学系で、ベース基盤に偏光ビームスプリッタを短時間で接着固定できると共に、接着後に接着部の位置ずれが発生しにくい色分解合成光学系を提供する。
【解決手段】 白色光から３原色光に色分解を行う色分解光学系と、前記色分解光学系で色分解した３原色光の強度を各色対応用の反射型空間光変調素子で光変調して、この光変調された変調光の色合成を行う色合成光学系とがベース基板上に接着剤を介して固定された色分解合成光学系において、前記接着剤として紫外線硬化接着剤に熱硬化性材料を所定の割合で混合した接着剤を用いた色分解合成光学系とする。 （もっと読む）

【課題】装置の小型化を可能にすると共に、単純な光学系により確実な光ビームの合成が可能な光路合成装置およびその方法を提供する。
【解決手段】光路合成装置１は、互いに波長の異なる光ビームを放射する複数の光源部2,3,4と、これらの複数の光源部からの光ビームの光路を合成するための回折格子5とを有し、各光源部2,3,4から回折格子5に入射する光ビームが回折格子5によって反射され、共通の光路10に合致して出射するように、複数の光源部2,3,4の各々と回折格子5の相対的な位置関係を設定する。 （もっと読む）

【課題】 均一照明装置において、例えばガウス分布などの対称な強度分布を有するレーザビームに強度分布の偏りが発生しても、その偏りを緩和することにより、所定強度分布を前提とした強度分布変換素子を用いて良好な平坦化効果を得ることができるようにする。
【解決手段】 均一照明装置５０を、正常状態でガウス分布を有するレーザビームＬ_０を出力するレーザ光源１と、ガウス分布を均一化する強度変換素子４と、それらの間の光路中に配置され、レーザビームＬ_０の強度分布のガウス分布に対する偏りを緩和する偏り緩和手段として、ハーフミラー２、ハーフミラー３、ミラー５、反転光学系６、ミラー７を備える構成とする。 （もっと読む）