【課題】小型化が容易で、２方向において大きな偏向角を得ることができる光偏向素子を提供する。
【解決手段】 入射された光を、印加電圧に応じてＸＹ面内で偏向する周期分極反転構造体、及び周期分極反転構造体を通過した光を該光の進行方向を含みＸＹ面に直交する面内で偏向するグレーティングを有する光偏向ユニットが、ＸＹ面に直交する方向（Ｚ軸方向）に複数積み重ねられている。そして、該複数の光偏向ユニットにおける各グレーティングの溝周期は、互いに異なっている。この場合は、小型で、２方向において大きな偏向角で光を射出することができる。 （もっと読む）

【課題】光導波路型の電気光学素子において、コア層となる電気光学材料に電荷が注入されるのを抑制し、電気光学素子の内部を伝搬する光ビームのビーム形状の歪みを防止することを目的とする。
【解決手段】本発明の電気光学素子１は、電気光学材料の薄膜をコア層４とし、コア層４から順に誘電体クラッド層と電極層７ａ，７ｂとを積層して構成される光導波路２からなる。誘電体クラッド層は、第一のクラッド層５ａ，５ｂと第二のクラッド層６ａ，６ｂからなる。第二のクラッド層６ａ，６ｂの誘電率は、第一のクラッド層５ａ，５ｂの誘電率より大きく、第二のクラッド層６ａ，６ｂの膜厚６ｄ_ｃｌは、第一のクラッド層５ａ，５ｂの膜厚５ｄ_ｃｌより厚く設定されている。 （もっと読む）

【課題】直流電圧印加時に電荷注入阻止層を設けることなく、電子注入を抑制することができ、光導波路層を伝搬する光ビームのプロファイルの劣化を防止することのできる電気光学素子を提供する。
【解決手段】本発明の電気光学素子１は、強誘電体からなるコア層５３と、コア層５３の上下に形成されたクラッド層５２とからなるコア１２により形成された光導波路層と、この光導波路層の上下面に形成された電極層１１、１３からなり、上下面の電極層１１、１３の少なくとも一方はプリズム型の幾何形状とされ、コア層５３の負の自発分極電荷側を陽極とし、正の自発分極電荷側を陰極とした。 （もっと読む）

【課題】可視光域でも光損傷耐性があり、かつ出射光のプロファイルの乱れが抑制された光偏向が可能になる電気光学素子及びその製造方法並びに光偏向装置を提供する。
【解決手段】強誘電体材料からなる光導波層１１と、光導波層１１の上面及び下面それぞれに形成された上部電極層１２及び下部電極層１３とを備え、光導波層１１に、光入射面１１０ａ及び光出射面１１０ｂを有する所定形状からなる少なくとも１つの分極反転領域１１０が形成された電気光学素子１０である。前記強誘電体材料は、酸化マグネシウム添加ニオブ酸リチウムであり、分極反転領域１１０の光入射面１１０ａ及び光出射面１１０ｂの少なくとも一方の面は、前記強誘電体材料の結晶面に対して平行に形成されている。 （もっと読む）

【課題】少ない工数で製造可能で、しかもコンパクトな空間光変調器および該空間光変調器を装備した露光装置を提供する。
【解決手段】複数の第１電極３３３が配置された電極基板３３２の下方主面（他方主面）に対向して電気回路基板３３６が配置されるとともに、当該電気回路基板３３６に対し、複数の第１電極３３３の配線領域Ｒａ上の端部に一対一で対応して複数の配線３３７が形成されて誘導結合により複数の第１電極３３３とそれぞれ電気的に接続される。そして、変調部から各配線３３７を介して対応する第１電極３３３に付与する電圧が制御され、これによって複数の第１電極３３３と第２電極３３５との間で発生する電界がそれぞれ制御される。 （もっと読む）

光を導くための電気光学材料の電気光学コア層（１１２）と、その電気光学コア層（１１２）に近接した少なくとも１つの第１の電極層（１１４；１１４―１）を有する電極配置であって、前記電極配置は、その電極配置によって生成された電界によって電気光学コア層（１１２）の領域（１１６）に電気光学効果を起こさせるように構成され、その結果、光の伝播が、その起こされた電気光学効果の領域において操作される、電極配置とを含む、を含んでいる層スタック（１１０；２１０）を用いて可変的に光波を導くための構想が提供される。 （もっと読む）

【課題】 支持基板の面積を大きくすることなく従来よりも大きな偏向角の偏向素子を製造することができる光導波路型の電気光学素子を提供する。
【解決手段】 本発明の光導波路型の電気光学素子１は、支持基板２と、接着層４を介して支持基板２上に形成された光導波路３を有する。光導波路３は強誘電体からなるコア層５を備えている。コア層５の下面側には下部電極層が形成され、コア層５の上面側には上部電極層９が形成されている。光導波路３は光が入射する入射面３ａと光が出射する出射面３ｂとを有する。コア層５は分極反転領域５ｂと分極未反転領域５ａとを有する。上部電極層９はコア層５の分極反転領域５ｂを被覆するようにして入射面側から出射面側に向かって面積が拡大する幾何学的面を有し、下部電極層は入射面側で外部電極部１０に電気的に接続されている。 （もっと読む）

【課題】少ない工数で製造可能で、しかもコンパクトな空間光変調器および該空間光変調器を装備した露光装置を提供する。
【解決手段】配線基板３３２では、下方主面に複数の導電性パッドが形成されるとともに、上方主面から下方主面に貫通する複数の貫通孔の各々に導電性部材が設けられている。また、この配線基板３３２の上方主面には複数の第１電極３３３が設けられ、各第１電極３３３の他方端部がそれに対応する導電性部材を介して導電性パッドに電気的に接続され、変調部から導電性パッドおよび導電性部材を介して電圧を付与される。したがって、変調部と各第１電極３３３とをワイヤーボンディング接続により電気的に接続していた従来技術に比べ、配線領域を狭めることができ、空間光変調器３３のコンパクト化が可能となる。 （もっと読む）

【課題】コアとなる電気光学材料に電荷が注入されるのを抑制し、電気光学素子の内部を伝搬する光ビームのビーム形状歪みを防止することが可能な電気光学素子を提供する。
【解決手段】本発明の電気光学素子１は、電気光学材料からなる薄膜をコア層４としてコア層４の両側に誘電体材料からなるクラッド層を介して光導波路２が形成されかつコア層４はクラッド層を介して対向する一対の電極層７ａ、７ｂの間に配置され、一対の電極層７ａ、７ｂに電圧Ｖを印加することによりコア層４の屈折率が変化する。
クラッド層は第１クラッド層５ａ、５ｂと第２クラッド層６ａ、６ｂとからなる。第２クラッド層６ａ、６ｂの誘電率は第１クラッド層５ａ、５ｂの誘電率よりも大きく、かつ、第２クラッド層６ａ、６ｂの膜厚は第１クラッド層５ａ、５ｂの膜厚よりも厚い。 （もっと読む）

【課題】光学素子モジュールを構成する筐体における熱応力が、筐体内部に収容する光学素子に与える影響を低減することが可能な光学素子モジュールを提供する。
【解決手段】電気光学効果を有する基板を用いた光学素子３を内蔵する光学素子モジュールにおいて、該モジュールを構成する筐体は、本体部１と蓋部２から構成され、該本体部の側壁で、該本体部と該蓋部との接合位置から離れた位置に、側壁の厚みを薄くする溝１１を形成することを特徴とする。好ましくは、該溝１１は、該本体部１の側壁に沿って１周する連続した溝を少なくとも有する。 （もっと読む）