【課題】本発明は光源装置の出力を設定した目標値に安定に制御可能にすることを目的とするものである。
【解決手段】基本波１０６を出力する基本波光源部１０１に所定の電流を入力し、駆動するレーザ駆動部１５０と、前記基本波１０６を入力して、波長変換部１１０からの高調波の出力を検出する高調波出力検出部１１３の信号が目標値となるように前記レーザ駆動部１５０へ入力する電流を増減するレーザ制御部３００と、前記波長変換部１１０を加熱冷却する温度設定部１１６とを備え、レーザ駆動部１５０への入力信号の傾斜を検出し、その傾斜量に基づき、前記温度制御部４００の設定温度を補正する温度補正部とを備えた光源装置。 （もっと読む）

【課題】組み付けや位置調整の際にレーザチップや集光レンズが損傷することを防止することができるようにする。
【解決手段】半導体レーザ３１のレーザチップ４１から出力されたレーザ光を集光するＦＡＣレンズ３２およびロッドレンズ３３を保持する集光レンズホルダ５４に、半導体レーザ３１のマウント部材５２に当接してレーザチップとの接触を防止する突出部７７を形成する。特に突出部を、レーザチップを挟んでその両側に位置するマウント部材の部分にそれぞれ当接するように１対設ける。 （もっと読む）

【課題】 レーザによる自己加熱を補償し、高強度での変換効率の低下を改善する。
【解決手段】 波長変換用非線形結晶１０における波長変換による平均的な温度上昇を検出する温度検出器２２による検出出力に基づいて、第１のペルチェ素子２１を駆動して、上記波長変換用非線形結晶１０の結晶全体の温度を平均した平均温度を制御し、上記波長変換用非線形結晶１０の出射端面１０Ｂから出射された２次高調波光（Ｌ_２）の光量に応じた大きさの駆動電流を第２のペルチェ素子３１に流すことにより、上記波長変換用非線形結晶１０内の温度勾配を相殺する熱流（ＨＣ２）を上記第２のペルチェ素子３１により生じさせて上記温度勾配を制御して、上記波長変換用非線形結晶１０の位相整合をとり、出射される２次高調波光（Ｌ_２）の光量が最大となる温度に上記波長変換用非線形結晶１０の平均温度を上記第１のペルチェ素子２１により制御する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、波長変換部の温度を正確に検出することができないことにより、光源装置の出力が目標値に達しなくなってしまう。
そこで本発明は、光源装置の出力を目標値に設定することを目的とするものである。
【解決手段】この目的を達成するために本発明は、基本波を出力する基本波レーザ光源と、前記基本波を入力して、その高調波を出力する波長変換部と、この波長変換部を加熱冷却する温度設定部と、前記波長変換部の温度が設定温度となるように温度設定部を制御する温度制御部と、前記波長変換部からの高調波の出力の目標値を設定する目標光量設定部と、前記波長変換部からの高調波の出力が目標値となるように前記基本波レーザ光源を制御するレーザ光源制御部と、前記波長変換部からの高調波の出力が目標値に到達するまでの、前記レーザ光源制御部による応答信号に基づいて、前記温度制御部の設定温度を補正する温度補正部を備えた光源装置とした。 （もっと読む）

【課題】１００μ秒以上にレーザパルスの間隔を変化させても、その間隔に影響されることなく安定したレーザパルスを出力できるファイバレーザ光源を提供する。
【解決手段】レーザ活性物質を含むファイバとその両端にファイバグレーティングを設けたレーザ共振器と、前記共振器の一端に励起光を入射する励起用レーザ光源と、連続パルス光を出力する際に、前記励起用レーザ光源に前記レーザ共振器がパルス発光できる第１の電流を与えた後に、前記第１の電流より小さく前記レーザ共振器の閾値電流より大きい第２の電流を与え、前記第２の電流を停止した後に休止期間を設けて次のパルス発光を行うための電流を前記励起用レーザ光源に与える駆動電流供給手段と、から成るファイバレーザレーザ光源。 （もっと読む）

【課題】高出力の波長変換レーザ光源において高調波のビーム径を一定に保つレーザ光源を提供する。
【解決手段】基本波を生成するレーザ発振器と、前記基本波を高調波に変換する波長変換素子と、前記波長変換素子の温度を一定値に保つ素子温度保持部と、前記高調波のビーム径を検出するビーム径検出部と、前記素子温度保持部の温度を前記ビーム径検出部による検出値に応じて制御する温度制御部と、前記高調波のビーム径を設定するビーム径設定部をさらに備え、前記ビーム径検出部での検出値と前記ビーム径設定部で設定されたビーム径との差分値が最小になるように前記素子温度保持部の温度を制御する温度制御部とからなるレーザ光源。 （もっと読む）

【課題】幅広い出力範囲において迅速に紫外光を出力することができ、かつ、パワーレベルによらず高効率で紫外レーザ光を出力可能な紫外レーザ装置を提供する。
【解決手段】紫外レーザ装置ＬＳは、基本波レーザ光Ｌａを出力するレーザ光出力部１と、基本波レーザ光を紫外レーザ光Ｌｖに波長変換して出力する波長変換部３と、各部の作動を制御する制御部８とを備え、制御部８が基本波レーザ光の出力を制御することにより紫外レーザ光の出力を制御可能に構成される。制御部８には、基本波レーザ光の出力に応じた波長変換光学素子の位相整合条件を予め設定記憶する位相整合条件記憶回路を有し、制御部８が基本波レーザ光の出力に応じた位相整合条件を読み出して波長変換光学素子３５，３６の角度位置を調整し、波長変換光学素子が紫外レーザ光の出力パワーに合致した位相整合状態で動作するように構成する。 （もっと読む）

【課題】ＡＲコートを施すことができない波長変換光学素子からの戻り光による影響を抑制し、長期間安定的に動作可能な波長変換光学系を提供する。
【解決手段】複数の波長変換光学素子３１〜３６を有し、赤外〜可視領域のレーザ光を複数の波長変換光学素子により紫外領域のレーザ光に波長変換して出射する波長変換光学系３０において、出射されるレーザ光が紫外領域である波長変換光学素子３３，３５，３６の少なくともいずれかは、入射面及び出射面がレーザ光の光軸に対してｎ軸回りに所定の微小角度Δφ傾斜して配設される。 （もっと読む）

【課題】加工径を一定の大きさにできるレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】基本波レーザ光２を高調波レーザ光に変換し変換ビーム５として出力する波長変換素子４と、変換ビーム５を加工ビーム１０として集光する集光レンズ９と、波長変換素子４の初期設定温度と加工ビーム１０の設定ビーム径とが格納されるメモリ１８と、変換ビーム５の一部を光量情報１２として検出する光量検出手段１１と、変換ビーム５の照射時間を測定し照射時間情報１５を測定する照射時間測定手段１３と、光量情報１２と照射時間情報１５とから加工ビーム１０の予測ビーム径を計算するビーム径予測手段１９と、ビーム径予測手段１９によって算出した予測ビーム径とメモリ１８に格納された設定ビーム径との差分に応じたビーム径調整温度を計算する。このビーム径調整温度になるように波長変換素子４の温度調整を行う温度調整手段４０とを有するレーザ加工装置とした。 （もっと読む）

【課題】今までに利用可能な構造よりも長い寿命、高い安定性、高い損傷閾値を与えるように特に処理された材料を使用して２１３ｎｍ又は２１３ｎｍ未満の波長の光エネルギを効果的且つ効率的に生成する光源を提供することが望ましい。
【解決手段】光エネルギを生成するための方法が提供される。方法は、約９９８ｎｍの波長の基本周波数レーザエネルギを生成する段階と、基本周波数レーザエネルギの一部を第２高調波周波数レーザエネルギへ変換する段階と、第２高調波周波数レーザエネルギを第４高調波周波数レーザエネルギへ更に変換する段階と、第４高調波周波数レーザエネルギを基本周波数レーザエネルギの一部と混合させて、和周波数のレーザエネルギを生成する段階とを含む光エネルギを生成するための方法を提供する。混合は、ホウ酸セシウムリチウム（ＣＬＢＯ）の結晶における非臨界位相整合によって行なわれる。 （もっと読む）