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国際特許分類[G03F7/033]の内容

国際特許分類[G03F7/033]に分類される特許

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【課題】高解像性及び高密着性でかつエッチング耐性に優れるネガ型の感光性樹脂組成物及びこれを用いた感光性樹脂積層体の提供。
【解決手段】(A)アルカリ可溶性高分子20〜90質量%、(B)エチレン性不飽和付加重合性モノマー5〜75質量%、及び(C)光重合開始剤0.01〜30質量%を含有する感光性樹脂組成物であって、該(A)アルカリ可溶性高分子が、下記一般式(I):


[式中、R1は水素原子又はメチル基を表し、そしてR2は炭素数が6〜20のアルキル基を表す。]で表される単量体単位構造を含み、該(B)エチレン性不飽和付加重合性モノマーが、分子内に少なくとも1つのエチレン性不飽和基及び少なくとも1つのイソシアヌル環構造を有するイソシアヌル環含有不飽和化合物を含む、感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】現像性が高く、かつ得られる硬化物の硬度、ITOに対する密着性、及び耐熱性も高い光硬化性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】本発明は、カルボキシル基を有するアクリル樹脂、多官能モノマー、分子中に二重結合を有するリン酸化合物及び重合開始剤を含む光硬化性樹脂組成物を提供する。 (もっと読む)


【課題】現像後の解像度が良好であり、支持フィルムであるポリエチレンテレフタレートフィルムとのタック性が良好であり、かつ露光後の感光層の柔軟性に優れる感光性樹脂組成物及びその感光性樹脂積層体の提供。
【解決手段】感光性樹脂組成物の全固形分を基準として、(a)カルボキシル基含有量が酸当量で100〜600であり、共重合成分として特定の(メタ)アクリル酸ベンジル単位を含み、かつ重量平均分子量が5,000〜200,000であるバインダー用樹脂:20〜90質量%;(b)少なくとも1つの末端エチレン性不飽和基を有し、かつ特定のトリシクロデカンジアルコールジ(メタ)アクリレートを含む付加重合性モノマー:5〜75質量%;(c)トリアリールイミダゾリル二量体を含む光重合開始剤;0.01〜30質量%;及び(d)特定の構造を有するピラゾリン化合物:0.01〜10質量%を含む感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】現像性が高く、かつ得られる硬化物の硬度、ITOに対する密着性、及び耐熱性も高い光硬化性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】本発明は、カルボキシル基を有するアクリル樹脂、多官能アクリレートモノマー、有機−無機ハイブリッド材、酸発生剤及び重合開始剤を含む光硬化性樹脂組成物を提供する。 (もっと読む)


【課題】使用する感光性樹脂量が最小限で充分な強度をもったギャップスペーサーを製造でき、さらに基板バンプ用のレジスト材料として用いた場合には、めっき浴汚染性に優れ、かつ高密度の基板バンプを製造できる感光性樹脂組成物の提供。
【解決手段】アルカリ可溶性高分子:20〜90質量%、光重合性化合物:5〜75質量%、並びに光重合開始剤:0.01〜30質量%を含む感光性樹脂組成物であって、(A)フォトマスクを用いて露光する工程であって、該感光性樹脂組成物上に積層された支持体と該フォトマスクとの距離が50μmである工程、及び(B)30℃の0.4質量%炭酸ナトリウム水溶液で最小現像時間の1.5倍の時間に亘って現像する工程により形成される多角形状感光性樹脂パターンの線幅が20μm以下であり、ピッチが200〜1000μmであり、かつ高さが45〜100μmである感光性樹脂組成物。 (もっと読む)


【課題】色濃度ムラが抑制された均一な色相の着色硬化膜を形成しうる、着色パターン形成時の現像性が良好でパターン形成性に優れた着色感放射線性組成物を提供する。
【解決手段】(A)LogP値が5以下の連鎖移動剤を用いて重合された、色素構造を有する構造単位を含む色素重合体、及び(B)溶媒を含有する着色感放射線性組成物である。LogP値が5以下の連鎖移動剤としては、アルキルメルカプタンが好ましく、色素構造としては、一般式(III)で表されるジピロメテン系化合物を含むジピロメテン系金属錯体化合物由来の色素構造であることが好ましい。式(III)中、R〜Rは水素原子又は1価の置換基を表し、Rは水素原子、ハロゲン原子、アルキル基等を表す。ただし、RとRとが互いに結合して環を形成することはない。
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【課題】保護膜や層間絶縁膜に対する要求特性を高水準でバランスよく両立させた硬化膜を形成可能であり、かつ無機アルカリ現像液でも現像可能な感放射線性組成物の提供。
【解決手段】[A1]下記式(1)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物と、下記式(2)で表される加水分解性シラン化合物又はその部分加水分解物とを加水分解縮合させて得られるポリシロキサン[B](B1)カルボキシル基を有する構造単位及び(B2)エポキシ基を有する構造単位を含む共重合体、[C]エチレン性不飽和基を2個以上有する化合物(但し成分[A1]を除く)[D]光ラジカル重合開始剤を含有する感放射線性組成物。


〔式中、R1及びR3は炭素数1〜6のアルキル基を示し、R2は炭素数1〜20のアルキル基等を示し、mは0〜3の整数を示し、nは0〜6の整数を示し、xは1〜3の整数を示し、yは1〜6の整数を示し、zは0〜3の整数を示す。〕 (もっと読む)


【課題】現像によるパターン形成性、透明性、および耐熱性に優れ、かつ、アウトガスの発生が抑制された樹脂膜を与えることのできるネガ型感光性樹脂組成物を提供すること。
【解決手段】プロトン性極性基を有する環状オレフィン重合体(A)、不飽和基含有化合物(B)、シラン変性有機無機ハイブリッド化合物(C)、およびラジカル発生型光重合開始剤(D)を含有してなるネガ型感光性樹脂組成物を提供する。 (もっと読む)


【課題】低温硬化によって製造でき、高信頼性を有するカラーフィルタを提供し、これを用いて表示特性に優れた液晶表示素子を提供する。
【解決手段】アルカリ可溶性樹脂と、重合性化合物と、染料を含むことのある着色剤と、下記式(1)または式(2)で表される化合物とを含有する着色組成物から形成される着色パターンを用い、エポキシ系材料と、重合性化合物と、重合開始剤と、下記式(1)または式(2)で表される化合物とを含有する感放射線性樹脂組成物から形成される保護膜を用いてカラーフィルタを形成し、液晶表示素子を構成する。
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【課題】耐熱衝撃性(TCT特性)及び電気絶縁性(HAST特性)に優れた高性能な硬化膜を得ることができる感光性組成物、並びに、感光性フィルム、永久パターン、永久パターン形成方法、及びプリント基板の提供。
【解決手段】アクリル樹脂と、重合性化合物と、光重合開始剤と、無機充填剤と、分散剤とを含み、前記無機充填剤の感光性組成物における含有量が、50質量%以上であり、前記無機充填剤の平均粒子径が、0.55μm未満である感光性組成物である。 (もっと読む)


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