【課題】減圧室の圧力に応じて作動する圧力受動部材に弁軸の一端部が連結され、減圧室に通じる弁孔を中央部に開口させた弁座に着座し得るシート面を有する弁体が、弁室に収容されるようにして弁軸の軸方向中間部に固定される減圧弁において、合成樹脂から成る弁体の加工コストを低減する。
【解決手段】弁体２６には同軸の中央孔３０が設けられ、弁軸２５Ａは、挿入軸３３を同軸に有する第１軸部材３１と、挿入軸３３を圧入もしくは螺合せしめる有底の挿入孔３４を同軸に有する第２軸部材３２とが、それらの軸部材３１，３２の少なくとも一方を中央孔３０に挿通せしめつつ同軸に結合されて成り、弁体２６が、中央孔３０よりも大径の外周を有しつつ半径方向外方に突出するようにして第１および第２軸部材３１，３２にそれぞれ設けられる第１および第２係止突部３５，３６で軸方向両側から挟まれて弁軸２５Ａに固定される。 （もっと読む）

ガス圧力レギュレーター（１）は、第一のガス入口パイプ（３）と第二のガス出口パイプ（４）を有している中心体（２）と、前記中心体（２）の中に少なくとも部分的に収納されており、ガスの通過のための断面（６）の開口を調節するために、前記断面（６）が完全に開かれた位置（Ｂ）と、前記断面（６）が閉じられた位置（Ａ）の間を移動可能なシャッター（５）と、前記ガスの通過によって作り出されるノイズの低減のための、前記中心体（２）の中に前記通過断面（６）に配置された消音デバイス（７）と、前記消音デバイスを前記中心体（２）に固定するための手段（１１）を備えている。前記消音デバイス（７）は、前記ガスの通過を可能にする円筒状穴あきプレート（９）を備えている。
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【課題】エアーベアリング等の制御対象に供給される流体圧力を高安定かつ高感度に制御する。
【解決手段】差圧計７にて基準圧力６と測定圧力４との差圧を測定し、制御コントローラ８の制御指令に従い、ノズルフラッパ弁３を開閉することで、制御対象２に供給される流体圧力を制御する。差圧計７に耐圧以上の圧力がかかり破損することを防ぐため、基準圧力６と測定圧力４との過大圧力差から差圧計７を保護するための電磁弁９を設ける。圧力制御部１の圧力値と、基準圧力発生装置５の基準圧力６と、電磁弁９を開閉するリレー１１を作動させる圧力スイッチ１０ａ、１０ｂによる圧力閾値とを同期して制御することで、低圧から高圧まで高感度な制御が可能となる。 （もっと読む）

【課題】弁座部材と、弁座部材との間に弁室を形成して弁座部材に連結される弁ガイド部材と、弁ガイド部材でガイドされつつ弁座に着座することを可能として弁室に収容されるとともに圧力受動部材に連結されるようにして弁孔を貫通する弁軸が同軸に連設される弁体とを備える弁機構が、高圧室および減圧室間に介在するようにしてボディに収容される減圧弁において、異物を捕捉する部分での圧力損失の増大を抑えるとともに異物に対する強度を高め、弁座部材を形成するための材料コストおよび加工工数の低減を図る。
【解決手段】弁軸３５の軸線に沿う方向で相互に離隔した弁座部材３１および弁ガイド部材３０が、金属ビーズの焼結によって円筒状に形成されるとともに高圧室３７および弁室３２間に介在するフィルタ部材４３を介してのみ連結される。 （もっと読む）

【課題】可変速ポンプ及び並列設置された返送弁を有する配水設備Ａと、配水設備Ｂが接続された配水網において、配水設備Ｂからの押込圧力が大きい場合には配水流量低下に伴い、無送水を引き起こし需要家へ圧力変動を与えて濁水発生の原因となる。
【解決手段】配水池から需要家１４に上水を供給する配水網に複数のポンプと流量調節装置を備える返送弁１５が並列に設けられた配水設備において、可変速ポンプを目標圧力に制御する圧力制御器１０と実配水流量と実配水圧力から他配水設備との押合状態を検出し、ポンプ回転数から全台停止タイミングを判定するポンプ全台停止時期判定器８と、一連の返送弁開閉動作と返送流量から開閉時期を調節する開度調節器を備え、自配水設備のポンプを全台停止時に発生する圧力変動を抑止する。 （もっと読む）

【課題】一次室を構成するバルブ構成部材の強度低下を来すことなく、一次室を減圧する。
【解決手段】一次室１１と、弁口１６を介して一次室１１と連通可能な二次室１２と、弁口１６の開度を変化させるように移動可能な弁体２７とを備え、一次室１１を構成するバルブ構成部材１０が合成樹脂製とされている減圧弁であって、弁体２７が弁口１６を閉塞する閉弁状態において、一次室１１内の圧力がバルブ構成部材１０の耐圧を超えない範囲内で上昇したときには、一次室１１内の流体が弁体２７を貫通する連通路３０を通って二次室１２側へ流出することを許容するが、常には連通路３０を閉止状態に保持するリリーフ弁３５を備えている。 （もっと読む）

【課題】２つのボディ部材を結合して構成されるボディに、圧力受動部材に弁体を連動、連結させた弁機構が収容され、加熱媒体通路を両ボディ部材の結合面間に形成するための溝が両ボディ部材の結合面の少なくとも一方に設けられ、両ボディ部材のいずれかに、加熱媒体通路の両端部に通じる媒体入口通路および媒体出口通路が設けられるガス用減圧弁において、コストの増大を回避するとともに誤組が生じる可能性を排除しつつ一対のボディ部材の周方向相対位置を変化させても加熱媒体通路の周方向両端に媒体入口通路および媒体出口通路を通じさせることができるようにする。
【解決手段】両ボディ部材１８，１９のうち媒体入口通路１２１および媒体出口通路１２２が設けられるボディ部材側に、円形である溝１１９を媒体入口通路１２１および媒体出口通路１２２間で分断する隔壁１２０が位置決め固定される。 （もっと読む）

【課題】パーティクルの巻き上げを低減し、圧力調整精度の向上及び調整時間の短縮化が図られたチャンバ圧力調整装置を提供する。
【解決手段】チャンバ２２内のガスを吸引するポンプ４２を備える構成とし、チャンバ２２とガスポンプ４２とを連通する連通管５２に圧力調整ガスを導入し、ポンプ４２による流量を一定として、圧力調整ガスの導入量を制御することで、チャンバ２２内の圧力調整を行う。チャンバ２２内にガスを供給することなく、チャンバ２２内のガスを吸引する構成であるため、チャンバ２２内における気流の発生を抑えることができ、パーティクルの巻き上げを防止することができる。また、ポンプ４２による流量を一定としているため、ポンプ４２の回転数制御を行う必要が無く、圧力調整ガスの導入量を調整することで、圧力調整精度を向上させ、圧力調整時間の短縮が図られる。 （もっと読む）

【課題】鋼管柱２内に下部からコンクリート４を圧入中に、その閉塞の予兆把握を行えるようにし、鋼管コンクリート柱を安全且つ高い信頼性で構築可能にする。
【解決手段】鋼管柱２の下部からコンクリート４を圧入して鋼管コンクリート柱を構築する方法である。前記コンクリート４の圧入圧力と、前記鋼管柱２内の前記コンクリート４の充填高さＨとを計測し、前記圧入圧力の計測値Ｐｎと前記充填高さの計測値Ｈｎとの関係を表示手段３５にプロットして表示しながら、前記コンクリート４を圧入する。 （もっと読む）

【課題】一次側の圧力が急激に変動しても、二次側の流量に影響が及びにくいマスフローコントローラを提供する。
【解決手段】流路内を流れる流体の流量を測定し、その測定値を示す流量測定信号を出力する流量センサ部と、その流量センサ部の上流側又は下流側に設けた流量制御バルブと、前記流量制御バルブへの制御値を算出する算出部と、を備えたものであって、マスフローコントローラの上流側における前記流体の圧力の測定値である一次側圧力測定値が所定量以上変化した期間である変化期間と、それ以外の期間である安定期間と、において、前記算出部は、前記安定期間では、前記流量測定信号の示す流量測定値と目標値である流量設定値との偏差に所定の演算処理を施して安定時制御値を算出し、前記変化期間では、前記一次側圧力測定値と前記一次側圧力測定値の変化量とに所定の演算処理を施して変化時制御値を算出するようにした。 （もっと読む）