【課題】ＬＰガスの再液化によるドレーンの進入により下流側の機器の故障を誘発しないようにレイアウトし、下流側の機器に対する配管を簡略化できる調整器を提供すること。
【解決手段】超音波計量部によりＬＰガスの流量を計量する計量通路を上下方向に配置した超音波式ガスメータ３のハウジング３１の下方に配置したＬＰガス流入口３２に、超音波式ガスメータ３の下方に配置される自動切換調整器１を、ハウジング１１の下方に高圧ＬＰガス流入口１２が配置され、ハウジング１１の上方には、ユニオンナット２８によって超音波式ガスメータ３のＬＰガス流入口３２に直接連結可能な低圧ＬＰガス排出口１３が配置された構成とする。 （もっと読む）

【課題】１次側圧力が変動することによっては２次側圧力が変動することのない圧力制御弁を提供する。
【解決手段】圧力制御弁（２１）の１次側ポート（２３）に供給された流体の圧力（Ｐ_１）が弁体（３１）を弁座（３２）に密着させようとする力と、１次側ポート（２３）に供給された流体の圧力（Ｐ_１）が弁体（３１）を弁座（３２）から離隔させようとする力とが互いに打ち消し合うように、弁体（３１）に圧力制御弁（２１）の流体通路の外部の圧力が作用する外圧受圧面（Ｂ）を形成した。 （もっと読む）

トップ・モジュール（１２）であって、外部バス上の外部バス信号用の少なくとも少なくとも１つの接続（１４）、少なくとも１つの空気供給接続（１８）および電源接続（２０）を有し、また内部直列バス用の直列バス接合部（２２）、電源接合部（２４）、多極接合部（２６）、および空気供給接合部を有し、前記接合部（２２，２４，２６，空気供給接合部）は同じ側にある、トップ・モジュール（１２）を備えるモジュラー・システムである。本発明のモジュラー・システムは更に、少なくとも１つの機能モジュール（４２ａ−ｅ）であって、内部直列バス・ライン、電源ライン、電気多極ライン、および空気供給ラインを有し、各ラインは片側から反対側に貫通してトップ・モジュールの対応する接合部に接続する機能モジュールを備える。トップ・モジュールは直列バス信号を多極信号に変換して、これらの信号を多極接合部で出力する。機能モジュールは多極ラインの少なくとも１つを選択的に分岐し、またそれで運ばれる信号により、空気的機能、または電気的機能、または空気的および電気的の両機能を実行する。
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【課題】中心に設けた小流路が入り込んだゴミやホコリによって塞がれたような場合でも、断熱圧縮を防止して高圧ガスを流通させることができる断熱圧縮防止構造と、この断熱圧縮防止構造を利用した圧力調整器を提供する。
【解決手段】断熱圧縮防止構造は、高い圧力を持ったガスが供給されるガス通路４に設けた段差部６と、段差部６に対し摺動可能に配置され中心に小さい断面積を持った小流路５ａを形成すると共に外周に大きい断面積を持った大流路５ｃを形成し且つ段差部６と当接したとき該大流路５ｃが段差部６によって遮蔽されるように構成した仕切部材５と、仕切部材５をガス通路４に於けるガスの流通方向上流側に付勢するばね７とを有し、前記仕切部材５に、小流路５ａと大流路５ｃを連通させた穴２５又は溝２６を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の課題は、半導体製造装置内などへの設置、配管及び配線接続が容易であり、フィードバック制御を用いずに簡単な構成で流体を一定に安定して制御できると共に流体の遮断が容易であり、脈動した流体が流れても問題なく流量制御することができる手動式または開ループ制御式流体制御装置を提供することにある。
【解決手段】 本発明に係る流体制御装置は、手動式または開ループ制御式流体制御装置であり、制御用流体の圧力操作により流体の圧力を制御する流体制御弁と、前記流体の流れを開放又は遮断するための開閉弁とを具備することを特徴としている。 （もっと読む）

気体貯蔵器から気体作動装置への気体の圧力を制御する気体調整組立体が、一対の気体調整器を包囲している主筐体を含んでいる。これらの気体調整器は、高圧気体を受け入れるための入口と制御済圧力気体を解放するための出口との間で主筐体内に直列に並べられている。入力及び出力を定める封止可能弁を各々の気体調整器が含んでおり、シリンダ及び棒を有するピストンを各々の弁が含んでいる。上記ピストンシリンダを対応する上記入口から離隔させるためにばねが上記ピストンに隣接しており、上記ばねによって上記ピストンシリンダに印加される力を調節するために詰め物が上記ばねに近接している。夫々の気体調整器の夫々の出口において所定圧力が達成されるまで気体が対応する気体調整器を縦走することを各々の弁が可能にし、その達成時点でその所定圧力が対応する弁を閉じる。
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【課題】ねじ駆動ポンプの二次側室は制御対象物の制御口部に接続され、一次側室はポンプ及び圧力制御弁に接続され、一次側室内の圧力制御及びねじ駆動ポンプの駆動制御により二次側室内の圧力を制御して制御対象物に対する圧力液体の圧力制御を行うようにしているから、制御対象物の高圧制御を行うことができる。
【解決手段】復動型ピストンによりヘッド側に一次側室７が形成されると共にロッド側に二次側室８が形成されてなるねじ駆動ポンプＷを用い、ねじ駆動ポンプの二次側室に制御対象物の制御口部を接続し、一次側室にポンプ及び圧力制御弁１０を接続し、一次側室内の圧力制御及びねじ駆動ポンプの駆動制御により二次側室内の圧力を制御して制御対象物に対する圧力液体Ｌの圧力制御を行う制御部１１を設けてなる。 （もっと読む）

本発明は、バルブ、特に流体流れを制御するための比例式圧力制御バルブに関するものであって；バルブがバルブハウジング（１０）を有していて、バルブハウジング（１０）は、バルブハウジング（１０）内部にポンプポート（Ｐ）と、利用ポート（Ａ）と、タンクポート（Ｔ）との形状をしている少なくとも三つの流体輸送ポートを有している。選択的にポンプポート（Ｐ）を利用ポート（Ａ）に、そして利用ポート（Ａ）をタンクポート（Ｔ）に接続できるように、コントロールピストン（１８）が縦方向に可動なようにガイドされていて、コントロールピストン（１８）は、少なくとも一つのポート（Ｐ）と、パイロットバルブ（２２）のパイロットチャンバ（２０）との間に流体輸送継手を形成するための接続チャンネル（２４）を備えている。パイロットバルブ（２２）のバルブ部分（４０）がパイロットチャンバ（２０）において縦方向に可動なようにガイドされていて、接続チャンネル（２４）が、パイロットバルブ（２２）のパイロットチャンバ（２０）の方向にバルブ部分（４０）のためのスロットルを有している。スロットルに加えてガイド手段（３８）があって、ガイド手段（３８）は、接続チャンネル（２４）においてガイドされた流体流れの少なくとも一部分がバルブ部分（４０）の近くでバルブ部品（４０）の方向に偏向されるように、パイロットチャンバ（２０）の方向に配向されている。
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【課題】ガス圧力調整器および調整器の組立および分解方法
【解決手段】ガス圧力調整器（１）は、第１のガス入口管（４）および第２のガス出口管（６）、ガスが第１管（４）から第２管（６）に流れる校正ガス通路（８）、本体（２）に少なくとも部分的に収容され、校正通路（８）の開口を調整するために第１定義線（Ｄ）に沿って長手方向 に移動するシャッタ（９）、シャッタ（９）を駆動するためのデバイス（１４）およびシャッタ（９）の運動に対抗する調整器ばねユニット（３０）を有する本体（２）を備えている。 （もっと読む）

【課題】圧力調整対象へ容易に取り付けができること。
【解決手段】この圧力調整装置１０は、加圧室１６と、逆止弁１３ｒｓｖを介してタイヤ内部Ｉと接続される吐出室１３と、加圧室１２内に導入された空気を加圧する加圧ピストン１６と、電圧を引加することによって変形して加圧ピストン１６を駆動する圧電アクチュエータ１４と、加圧ピストン１６によって加圧された加圧室１２内の空気によって駆動されて、吐出室１３内の空気を増圧する増圧ピストン１５とを含む。増圧ピストン１５は、加圧ピストン１６とは別個に用意される。そして、増圧ピストン１５の加圧室１２側における断面積は、加圧室１２の断面積よりも小さく、また、増圧ピストン１５の吐出室１３側における断面積は、増圧ピストン１５の加圧室１２側における断面積以下である。 （もっと読む）