【課題】流体の流量制御を簡単、かつ連続的に変動無く行う。
【解決手段】圧力流体の流路に連通した圧力室２にその圧力によりピストン作用するプランジャー６を設けて、プランジャーによりニードルバルブ状の弁体６を作動させる。プランジャーはコイルスプリング８の押圧力が圧力室の圧力、若しくは負圧と平衡する関係におかれ、弁の開度は調整ネジ9によって行う。
予め、調整ネジによる弁体の開度とそれに平衡する圧力との関係を確認しておき、流体入口３を導入すべき流体供給源、出口４を圧力流体の流路に接続して、調整ネジにより弁体の開度を設定する。
該流路の圧力とコイルスプリングの押圧力により開放された弁体から流体が供給されると、流路圧力が低下、若しくは上昇し、その圧力変化に応じて弁体の開度がコイルスプリングの押圧力に抗して調整されて連続的に平衡状態に至るまで、弁体の開度が制御される。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置の二次側流体の圧力変動が発生した場合であっても流体流量の安定化を高精度で実現することができる流量制御装置及びその方法を提供する。
【解決手段】流体供給部１１から所定の流体使用部１５に対して流通する流体の供給ラインＬに配される流量制御装置１０であって、流体供給部側に配置される第１圧力制御弁部２０と、第１圧力制御弁部と圧力損失部４０を介して流体使用部側に配置される第２圧力制御弁部６０とを含み、第１圧力制御弁部は、一次側流体の圧力変動に対して第１弁室２２内に配置された第１弁部３０が第１弁座２５に対して進退して二次側流体を所定の圧力に維持する第１圧力制御機構Ｃ１を備えており、第２圧力制御弁部は、二次側流体の圧力変動に対して第２弁室６２内に配置された第２弁部７０が第２弁座６５に対して進退して一次側流体を所定の圧力に維持する第２圧力制御機構Ｃ２を備えている。 （もっと読む）

【課題】 限られた占有スペース内で必要なコンダクタンスを精度よく求めて、所定のガス流量を安定よく、かつ、再現性よく設定することができるガス流量制御方法を提供する。
【解決手段】 ガス配管２の途中に設けられる流量制限部材８に、予め設定された径及び長さで、かつ、角部のない切り溝１５を機械加工することによってコンダクタンスを所定の公式に基いて算出可能な単一の制限流路１６を形成し、その単一制限流路１６によるコンダクタンスＣと圧力差（Ｐ１−Ｐ２）とにより、プロセスチャンバー１へ供給されるガス流量Ｑを設定する。
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【課題】特に半導体製造等に使用される流量調節弁に関し、ダイヤフラムの膜部の応力を小さくしてヒステリシスエラーを低減させることにより、弁部の開閉時における作動の再現性を実現し、制御の応答性や安定性を向上させることができる空圧式流量調節弁を提供する。
【解決手段】弁座２５をシールする弁部３５と第１開口側２１に配された第１ダイヤフラム４０と第２開口側２２に配された第２ダイヤフラム５０とを一体に有する弁機構体３０が配置され、第１，第２ダイヤフラム４０，５０を加圧手段６０，７０によって弁室２０方向に加圧して流量を制御するようにした弁において、第１，第２ダイヤフラム４０，５０の外周をサポートリング４５，５５によって挟持して、第１，第２ダイヤフラム４０，５０のダイヤフラム部の膜部最大径Ｌ１，Ｌ２と膜部最小径Ｓ１，Ｓ２を２分した位置での中間直径距離Ｍ１，Ｍ２をオリフィス径Ｏの約０．５〜２倍の範囲内とした。 （もっと読む）

【課題】大がかりな可動部や電気的な制御装置を不要とし、水位の変動にかかわらず常に略許容放流量の放流することができる調整池の放流量調整装置および調整池を提供する。
【解決手段】調整池１の放流量調整装置２は、調整池１の放流口１５に設置されてオリフィスを形成する可動板２１と、調整池１に貯留された雨水に浮かぶフロート２９と、フロート２９と可動板２１とを直接または動力伝達機構を介して連結する天秤棒２８および動力伝達棒２６とを有している。また、前記動力伝達機構が、動力伝達棒２６に連結された駆動側ピニオンおよび可動板２１に設置された従動側ラック、若しくは、可動板２１に当接する偏心カムである。さらに、放流口１５が断面矩形で、可動板２１の一方の辺が曲線であって、可動板２１の並進もしくは回動に伴う放流口１５の開口面積の変化率が、放流口１５の開口面積が狭くなるほど小さくなる。 （もっと読む）

【課題】 ベースの締付け固定時に発生する応力を吸収緩和することでセンサに歪などの悪影響が及ばないようにして、本来の性能を安定よく確保でき、しかも、複数のセンサ等が設置される場合も低コストで十分な応力緩和機能を発揮できるようにする。
【解決手段】 内部に流体流路を有する本体ブロック１の外面１Ａに、圧力センサ７を設置する中央取付部６ａを有するセンサ取付用ベース（マスフローコントローラ用ベース）６をその長手方向の両端においてボルト１１，１１を介して金属ガスケット１３を押圧変形させるように締付け固定してなるマスフローコントローラの取付構造であって、ベース６の長手方向両端の固定部位６ｂ，６ｂより中央取付部６ａ側寄りの二箇所に、流体導入流路９と干渉しないように切り込み溝１４，１４を設けている。
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【課題】 絞り弁とバイパス逆止弁との二つの弁機能を一つの弁によって簡単な構造で発揮させることができる流量制御弁を提供する。
【解決手段】 Ｂポート５側のチャンバー３内の内周面上に設けられた突起６の下面に弁座面７が形成され、突起６の上端部にスピンドル軸受９が形成され、チャンバー３の底面に設けられたスピンドル台１１にねじ孔１２が形成され、スピンドル１３の下部に形成したねじ部１４がねじ孔１２に螺合されるとともにスピンドル１３の上端部がスピンドル軸受９で支承され、スピンドル１３が弁盤１５に形成されたオリフィス孔１８に貫通した状態で、弁盤１５がばね１６によりスピンドル台１１上に支承され、弁盤１５に、弁座面７に対して当接離間自在な上面縁部１７が形成され、スピンドル１３のオリフィス孔１８を貫通する部位はテーパー部２０として形成され、スピンドル１３の上下移動によりオリフィス孔１８とテーパー部２０との間隙１９の大きさを変更可能にしている。 （もっと読む）

【課題】 高い制御性を維持しつつ、高いレンジアビリティで流量を制御することができる流量制御装置及び方法を提供する。
【解決手段】 この流量制御装置は、流体管路１，２，４，５と、該流体管路の途中に配置された平板状の弁支持基板３とを備えている。弁支持基板３には、複数の個別に操作可能な開閉弁１１が設置されている。複数の開閉弁１１の内から適宜に選択したものを開閉することにより、レンジアビリティの高い流量制御を行うことができる。 （もっと読む）

本体の中に、流入室と、流出室と、前記流入室と前記流出室の間に配置され、一方の側で前記流入室の圧力を受けるとともに他方の側で前記流出室の圧力を受けるピストンとを含み、前記ピストンは前記流入室に向って変位した第１の位置および前記流出室に向って変位した第２の位置の間で可動であり、前記ピストンは前記第１の位置では前記流入室と前記流出室の間で流れを狭め、前記ピストンは前記第２の位置では前記流入室と前記流出室の間で流れを狭めず、さらに、前記ピストンを前記第１の位置に向って付勢する復帰ばねを含んでいる、流れの動的制御をする装置。本発明によれば、前記ピストンには前記流入室から前記流出室へ向って延びる貫通部が貫通しており、前記貫通部を貫流する流れを制限するための流量制限手段が設けられており、前記復帰ばねは、前記流量制限手段により許容される最大の流れが排出されるときに前記ピストンを前記第１の位置から前記第２の位置へ変位させようとする力に、その作用が実質的に一致するように設定されている。前記ピストンは、第１の端部では前記流入室の中に、また第２の端部では前記装置の本体に固定されたシリンダの中に、スライド可能なように取り付けられており、前記流出室と連通するとともに、前記流出室に対してアライメントされているのが好ましく、前記流量制御手段は定置のシリンダの中に取り付けられるのが好ましい。
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【課題】ガス中に望ましくない成分が存在することを知らせるための手段を備えている減圧装置を提供する。
【解決手段】ガスボンベ、コンプレッサ又はガス発生装置のようなガス源１に接続するための入口側接続部と、別のガス管路系に接続するための出口側接続部とを備える減圧装置２が高圧チャンバと低圧チャンバとを備え、使用中に低圧チャンバ内のガス圧が高圧チャンバ内の圧力より低くなるようにこれらの高圧チャンバと低圧チャンバは減圧弁で相互に連結されており、減圧装置は交換可能な表示器用の接続部を備え、この接続部はガス源から来るガスが表示器を通って流れる。 （もっと読む）