説明

表示器を備えた減圧装置、及びそのような減圧装置用表示器とガス源とからなる構成機器キット

【課題】ガス中に望ましくない成分が存在することを知らせるための手段を備えている減圧装置を提供する。
【解決手段】ガスボンベ、コンプレッサ又はガス発生装置のようなガス源1に接続するための入口側接続部と、別のガス管路系に接続するための出口側接続部とを備える減圧装置2が高圧チャンバと低圧チャンバとを備え、使用中に低圧チャンバ内のガス圧が高圧チャンバ内の圧力より低くなるようにこれらの高圧チャンバと低圧チャンバは減圧弁で相互に連結されており、減圧装置は交換可能な表示器用の接続部を備え、この接続部はガス源から来るガスが表示器を通って流れる。

【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【0001】
本発明はガス源に接続するための入口側接続部と別のガス管路系に接続するための出口側接続部とを備え、さらに、使用中に低圧チャンバ内のガス圧が高圧チャンバ内の圧力より低くなるように減圧弁によって相互に連結されている高圧チャンバと低圧チャンバとを備えている減圧装置に関する。
【背景技術】
【0002】
そのような減圧装置は実務において公知であり、本願の図2に示されている。そのような減圧装置は、通常、例えば、ガスボンベ、ガス発生装置又はコンプレッサのようなガス源に直接接続される。一般に、ガスボンベは殆どの場合屋外に設置されているいわゆるガスキャビネット中に設けられる。このガスキャビネットには、ガスボンベをそれぞれ接続可能な減圧装置が多数ある。これらの減圧装置は、例えば、数十〜数百バールのオーダーであるガス源の圧力を、数バール又は1バール未満の範囲の圧力であるプロセスに必要な圧力に下げる。この減圧装置の下流側にはガス管路系が延設されており、このガス管路系を通ってガスを必要とする下流側のプロセスにガスが流れる。
【0003】
さまざまな用途において、ガスの供給先であるプロセスに有害なガス成分によって上記ガス管路系が汚染されていないことが特に重要である。そのようなプロセスの例として、ガスクロマトグラフィ、質量分析、ウエハ、DVD、表示画面などの製造のための製造方法のような調整したガス条件下における製造プロセスが挙げられる。また、圧縮空気で作動している駆動装置にとって、駆動装置が信頼性や耐久性をもって確実に作動するためにはこの圧縮空気が湿気や油を全く含んでいないことが重要であると考えられる。圧縮空気による駆動装置は、例えば、CNC(コンピュータによる数値制御)機械又はそれらに類似する製造装置に使用されている。さらに、溶接用途において、溶接雰囲気を遮蔽するように作用するガスは非常に純度の高いものであって、酸素を一切含んでいないことが重要であると考えられる。
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0004】
ガス源、より具体的には、ガスボンベには常に特定の純度のガスが入っている。このことはガス源が下流側のプロセスに有害な成分も含んでいることを意味している。これらの成分がガス管路系に侵入した場合、このガス管路系を純ガスで長時間フラッシュすることによってガス管路系を清浄することがしばしば必要になる。ガス管路系が汚染されてその清浄が必要となり、清浄なガスの供給が不可能なので、清浄を行なっている間は下流側のプロセスを継続することができない。本発明の目的はこれらの問題を解決することの可能な減圧装置を提供することである。
【課題を解決するための手段】
【0005】
この目的のために、本発明によれば、本明細書の冒頭部に記載した形式の減圧装置は交換可能な表示器用の接続部を備え、この接続部はガス源から流入するガスが前記表示器を通って流れるようになっており、前記表示器は該表示器を通って流れるガス中に望ましくない成分が存在することを知らせる手段を備えていることを特徴とする。
【0006】
好ましくは、ガスボンベのような新しいガス源が前記減圧装置に接続されたとき、その減圧装置に新しい表示器も取り付けられるようにする。ガスボンベに清浄度の十分なガスが入っている場合、表示器が使用不能になることなく、すなわち、望ましくない成分が下流側のガス管路系に過度に侵入することなく、表示器を通ってガスボンベの内容物を実質的にすべて流すことが可能である。しかしながら、ガスボンベ又はコンプレッサ若しくはガス発生装置から流入するガスが設定されている要件を満たさないことや、そのガスが望ましくない成分を予想外に多量に含んでいることも起こり得る。そのような場合、望ましくないガス成分が下流側のガス管路系に侵入する恐れのあることを前記表示器は迅速に知らせてくれることになる。
【0007】
本発明の別の態様によると、この表示器を通って流れるガス中に望ましくない成分が存在することを知らせる前記手段は、そのような望ましくない成分に接触すると変色する表示材料を含み、この表示材料を透明な表示材料用ハウジング中に収納することが可能である。そのような表示材料自体はろ過装置の実務のおいて公知である。例えば、二クロム酸カリウム、シリカゲル、硫酸、及びそれらに類する物質が挙げられる。
【0008】
前記減圧装置を通って前記ガス管路系中に流出するガスが必要な純度を保有しているか否かを確認し得るためには、使用者は定期的に前記表示材料の色を確認しなければならない。
【0009】
本発明のさらに別の態様によると、前記表示器は前記表示材料の色を感知するために少なくとも1つのセンサを備えることが可能である。そのようなセンサによって、色の点検を使用者が実施するのではなく、自動化することが可能である。
【0010】
また、本発明のさらに別の態様によると、望ましくない成分が存在することを知らせる前記手段は温度センサと表示材料とを含むことが可能で、この表示材料は表示材料用ハウジング中に収納され、そのような望ましくない成分に接触すると温度が上昇し、この温度センサはそのような温度上昇を測定するように設けられている。
【0011】
前記望ましくない成分が前記表示材料と反応して行くにつれ、少なくとも幾つかの場合においてエネルギーが熱の形で放出される。この熱は前記温度センサによって知らせることが可能である。前記表示材料が収納されている表示器ハウジングの下流側端部に隣接してこの温度センサが設けられている場合、そのセンサの温度上昇は前記表示器が間もなく使用不能になることを意味している。その場合には、対応するセンサから発生された信号を利用して下流側のプロセスを停止し、また、前記ガス源からのガスの供給を中断することが可能である。
【0012】
本発明は、さらに、ガスボンベのようなガス源と、本発明による減圧装置に使用する表示器とからなる構成機器キットにも関する。
【0013】
本発明は、また、本発明による表示器を備えた減圧装置と、ガスボンベのようなガス源とからなる構成機器キットにも関する。
【0014】
本発明のさらに別の態様によると、前記ガスボンベはトランスポンダを備えることが可能である。
【発明を実施するための最良の形態】
【0015】
図面を参照しながら、例示的な実施態様に基づいて本発明を以下に説明する。
【0016】
図1はガスボンベ、ガス管路系、及び表示器を備えた減圧装置の組立て状態を概略的に示し、図2は本発明の技術水準から公知の減圧装置を示し、図3は表示装置の例示的な実施態様の断面図を示す。
【0017】
図1は、減圧装置2とこの減圧装置2の一部である表示器17とを介してガス管路系4に接続されているガスボンベ1を概略的に示している。表示器17、すなわち、カートリッジ17は、減圧装置2の一部である基部16に取外し可能に接続可能な迅速交換式結合部26を備えている。
【0018】
ガスボンベ1の代わりに、コンプレッサ又はガス発生装置を設けることも可能である。供給源から、本実施態様の場合にはガスボンベ1からガスを供給するために、前記ガス管路系4はプロセス装置5まで延設されている。このプロセス装置5の直ぐ上流側に迅速交換式フィルタ7を備えたろ過装置6を設けることも任意に可能である。そのような迅速交換式フィルタ7を備えたろ過装置6は、例えば、先願であるオランダ特許出願番号第NL−1023520号に記載されている。
【0019】
本発明の技術水準による減圧装置2の一例が図2に示されている。この減圧装置2は入口側接続部8を備え、それによって減圧装置2をガスボンベ1に接続することができる。また、前記減圧装置2は別のガス管路系4に接続するための出口側接続部9も備えている。 減圧装置ハウジング10内には、高圧チャンバと低圧チャンバとがある。図示されていないが本発明の技術水準から広く知られている減圧弁により、これらの2つのチャンバは相互に連結されている。圧力計11は高圧チャンバと連通し、圧力計12は低圧チャンバと連通している。回転ノブ13によって、前記低圧チャンバ、従って、前記ガス管路系4の圧力を設定できる。さらに、前記減圧装置にはコントロールノブ15で操作可能な遮断弁14も設けられている。
【0020】
本発明による減圧装置2には表示器17が設けられていることにより、本発明による減圧装置2は図2に示されている減圧装置から区別される。表示器17、すなわち、カートリッジ17は、固着ナット18を介して前述の基部16に取外し可能の接続されている迅速交換式結合部26を含んでいる。この基部16は前記減圧装置ハウジング10の一部としてそれと一体に設けることも可能である。しかしながら、図3に示されている例示的な実施態様は、減圧装置ハウジング10の低圧チャンバに接続されているパイプ部19内に挿入された状態で設けられている基部16を示している。この基部16にはガス供給ライン20とガス排出ライン21とが設けられている。カートリッジ17が基部16に装着されていないときは閉位置にある弁体22、23によって両ラインは遮断可能である。カートリッジ17を基部16に装着する際には、これらの弁体22,23が下方向に押圧されて、前記カートリッジ17の内部とガス供給ライン20及びガス排出ライン21との間に開かれた連通路が形成される。固着ナット18を緩めてカートリッジ17を基部16から取外すと、スプリング24,25は弁体22,23を閉位置に引き上げるので、ガス供給ライン20とガス排出ライン21との間の連通が遮断される。固着ナット18には、基部16のおねじに係合するめねじが設けられている。この固着ナット18は手で容易に緩めたり締めたりすることができる。
【0021】
前記カートリッジ17は迅速交換式結合部26を備え、その結合部にはハウジング27が装着されている。このハウジングは透明であるのが好ましい。このハウジング27は、例えば、ガラスで製造可能である。前記ハウジング27内には、前記表示材料29を収納している表示材料用ハウジングがさらにある。この表示材料29は通過していくガス中の望ましくない成分と接触すると変色する。ガスはガス供給ライン20を通って入り、弁体22を介して、表示材料用ハウジング28の外側をその表示材料用ハウジングに沿ってハウジング27内に流入する。弁体23を介して、ガス排出ライン21を離れ、ガス管路系4を通ってさらに給送される。安全上の理由から、ハウジング27の周囲には保護スリーブ30が設けられ、この保護スリーブは例えばアクリル酸樹脂で製造可能である。
【0022】
環境的な理由から、ハウジング27が取外し可能に迅速交換式結合部26に連結されていることが望ましい。また、表示材料用ハウジング28が取外し可能に迅速交換式結合部26に連結されていることも望ましい。この表示器17にはさらにトランスポンダ31を設けることが好ましい。例示的な本実施態様においては、このトランスポンダ31はハウジング27上に設けられている。しかしながら、表示材料用ハウジング28、保護スリーブ30又は迅速交換式結合部26にトランスポンダ31を取り付けることも可能である。
【0023】
表示材料29の変色を測定するために又は表示材料29の温度上昇を検知するためにセンサ32‘、32を表示材料用ハウジング28に設けることも任意に可能である。
【0024】
これらのセンサ32‘、32の発生する信号を、例えば、トランスポンダ31を介して制御装置24へ自動的に送信することができる。それにより、この制御装置34は音声及び/又は光信号によって使用者に警告を与えることが可能である。この制御装置34は、例えば、該当するガスボンベ1を交換しさらに対応するカートリッジ17も交換するよう使用者に通知することを含む動作を実行することも可能である。また、前記動作には、ガス管路系4へのガスの供給を阻止するように遮断弁14を自動閉成することを含めることも可能である。この目的のためには前記遮断弁14は自動的な作動を円滑に許容するようなものであるべきで、一例として、電磁遮断弁が挙げられる。
【0025】
また、前記表示材料用ハウジング28に沿って目盛り33を設けることも任意に可能である、この目盛りによって、使用者はガスボンベ1を新しいガスボンベ1と交換することが既に必要になっているかどうかを確認することができる。実際のところ、ガスボンベ1が空になって行くにつれて多種の汚染成分の濃度が上昇することがわかっている。結果として、満タンのガスボンベより、より空になっているガスボンベの方が、前記表示材料の変色がより速く起こり、望ましくない成分の存在を知らせるだけでなく、それらの成分を吸収してガス流からそれらを除去する表示材料29がより速く飽和状態になってしまうこととなる。このことが、図3の例示的な実施態様における目盛り33が線形でなく、対数になっている理由である。
【0026】
ほぼ飽和状態になっている表示装置3は、少なくとも一般的には、ガスボンベ1がほぼ空であることも意味しているので、前記センサ32によって発生された信号を制御装置34を介して新しいガスボンベを納入業者に自動的に注文するために使用することも可能である。制御装置34と交信するトランスポンダ35をこのガスボンベ1に設けることも任意に可能である。したがって、例えば、減圧装置2への接続を意図しているガスを各ガスボンベ1が実際に含んでいるかどうかを確認可能なので、保護対策として含めることができる。事実、使用者が誤ったガスボンベ1を減圧装置2に接続することは実務上稀ではない。その場合、下流側のガス管路系4を正しいガスで非常に長時間フラッシュする必要があるので、惨たんたる結果になり得ることは明白である。トランスポンダ35を備えたガスボンベ1が実際に適切なものであって、トランスポンダ31を備えた表示器3に設けられている減圧装置2への接続を意図されているものかどうかを制御装置に確認させることによって、そのような誤りを避ける、少なくとも、事前に発見することが可能である。間違いの起こる危険性をさらに低減するために、前記ガス管路系4にトランスポンダ36を設けることも可能である。そうすると、前記制御装置34はトランスポンダ35を備えたボンベ1からのガスがトランスポンダ31を備えたカートリッジ17に合致するのかどうか、また、トランスポンダ36を備えたガス管路系4に合致するのかどうかを確認することができる。間違いのないことが確認されれば、誤ったガス源又は誤ったカートリッジ17を各ガス管路系4に接続するリスクを排除できる。ガスボンベ1を交換する人がそのような交換を行なうことを実際に認められているかどうかを制御装置34が確認できるように、ガスボンベを交換する作業者にトランスポンダ付きバッジを付けることも可能である。
【0027】
さらに、トランスポンダ35を備えたガスボンベ1は納入業者や使用者がガスボンベを容易に発見できるという利点も有する。実際のところ、実務において、少なくとも10パーセントのガスボンベの行方がわからなくなってしまうことがわかっている。トランスポンダ35を備えたガスボンベ1により、このパーセンテージを劇的に減少させることが可能である。
【0028】
本発明が上記の例示的な実施態様に限定されるのではなく、特許請求の範囲に記載した本発明の範囲においてさまざまな改変が可能であることは明らかである。
【0029】
本発明による減圧装置の別の利点は、前記表示器17がろ過機能をある程度備えていることと、前記表示材料29が飽和して使用不能になるまで望ましくない成分を吸収することである。これにより、例えば溶接用としては、少し低品質のガスを詰めたガスボンベをガス管路系に接続しながら、設定されている要件に合っているガスだけをプロセス部に到達させることができる。従って、比較的低価格のガスボンベにより、通常はより高価格で高品質のガスボンベを必要とするプロセスを実施することが可能である。
【図面の簡単な説明】
【0030】
【図1】ガスボンベ、ガス管路系、及び表示器を備えた減圧装置の組立て状態を概略的に示す図である。
【図2】本発明の技術水準から公知の減圧装置を示す図である。
【図3】表示装置の例示的な実施態様を示す断面図である。

【特許請求の範囲】
【請求項1】
例えば、ガスボンベ、コンプレッサ又はガス発生装置のようなガス源(1)に接続するための入口側接続部(8)と、別のガス管路系に接続するための出口側接続部(9)とを備え、前記減圧装置(2)が高圧チャンバと低圧チャンバとを備え、使用中に低圧チャンバ内のガス圧が高圧チャンバ内の圧力より低くなるようにこれらの高圧チャンバと低圧チャンバは減圧弁で相互に連結されている減圧装置において、前記減圧装置(2)は交換可能な表示器(17)用の接続部(16)を備え、この接続部(16)は前記ガス源(1)から来るガスが前記表示器(17)を通って流れるようになっており、前記表示器(17)は前記表示器(17)を通って流れるガス中に望ましくない成分が存在することを知らせるための手段を備えていることを特徴とする減圧装置。
【請求項2】
前記表示器(17)を通って流れるガス中に望ましくない成分が存在することを知らせるための前記手段が、前記望ましくない成分と接触すると変色する表示材料(29)からなり、この表示材料(29)が透明な表示材料用ハウジング(28)内に収納されている請求項1に記載の減圧装置。
【請求項3】
望ましくない成分が存在することを知らせるための前記手段が色センサ(32‘)からなり、この色センサ(32‘)は前記表示材料(29)の変色を検知するために設けられている請求項2に記載の減圧装置。
【請求項4】
望ましくない成分が存在することを知らせるための前記手段が温度センサ(32)と表示材料(29)とからなり、前記表示材料(29)が表示材料用ハウジング(28)内に収納され、前記表示材料(29)は前記望ましくない成分と接触すると温度が上昇し、温度センサ(32)はこの温度上昇を測定するために設けられている請求項1に記載の減圧装置。
【請求項5】
前記接続部が、表示器(17)の入口(39)と出口(40)とがそれぞれ接続可能な出口側開口(37)と入口側開口(38)とが設けられている迅速交換式接続部(16)からなり、前記表示器(17)が前記表示材料(29)を含んでいる請求項1又は2に記載の減圧装置。
【請求項6】
前記表示器(17)がトランスポンダ(31)を備えている前記各請求項のうちの何れか1項に記載の減圧装置。
【請求項7】
前記トランスポンダ(31)が前記色センサ及び温度センサもそれぞれ含んでいる請求項3又は4及び6に記載の減圧装置。
【請求項8】
前記トランスポンダ(31)がさらに変色センサも含んでいる請求項6又は7に記載の減圧装置。
【請求項9】
前記表示器(17)が、前記表示材料用ハウジング(28)に沿って設けられている目盛り(33)を備えている前記各請求項のうちの何れか1項に記載の減圧装置。
【請求項10】
前記表示器(17)が前記表示材料用ハウジング(28)に沿って別々の位置に設けられたセンサ(32,32‘)を備え、前記センサ(32,32‘)が前記表示器(17)の前記位置において前記表示材料用ハウジング(28)内の前記表示材料(29)の状態の変化を検知するために設けられ、前記センサ(32,32’)に接続されて、前記センサ(32,32‘)によって発生された信号に基づき動作を行なう制御装置(34)が設けられている前記各請求項のうちの何れか1項に記載の減圧装置。
【請求項11】
前記動作が対応するガス源(1)の交換を使用者に知らせることからなる請求項10に記載の減圧装置。
【請求項12】
前記動作が対応する表示器(17)の交換を使用者に知らせることからなる請求項10又は11に記載の減圧装置。
【請求項13】
前記動作が前記ガス管路系(4)へのガスの供給を阻止するように遮断弁(14)を自動的に閉成する請求項10に記載の減圧装置。
【請求項14】
前記減圧装置(2)が遮断弁(14)を備えている前記各請求項のうちの何れか1項に記載の減圧装置。
【請求項15】
ガス源(1)のようなガス源と、前記各請求項のうちの何れか1項に記載の減圧装置(2)に使用するための表示器(17)とからなる構成機器キット。
【請求項16】
請求項1〜14の何れか1項に記載の表示器(17)を備えた減圧装置(2)と、ガスボンベのようなガス源(1)とからなる構成機器キット。
【請求項17】
前記ガス源(1)がトランスポンダ(25)を備えている請求項15又は16に記載の構成機器キット。

【図1】
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【図2】
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【図3】
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【公開番号】特開2006−172411(P2006−172411A)
【公開日】平成18年6月29日(2006.6.29)
【国際特許分類】
【外国語出願】
【出願番号】特願2004−382597(P2004−382597)
【出願日】平成16年12月17日(2004.12.17)
【出願人】(504197536)エスゲーテー シンガポール ホールディング プライベートリミテッド (1)
【Fターム(参考)】