【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置１００に、前記流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、流体抵抗の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記測定流量値又は前記圧力センサで測定される測定圧力値に基づいて、前記流路ＭＬを流れる流体の状態が安定状態であるかどうかを判定する安定状態判定部５と、前記安定状態判定部５が流体の状態が安定状態であると判定している場合に、前記測定圧力値の変化量に基づいて前記測定流量値の異常を診断する異常診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流量制御装置に用いられるセンサ等の部品点数を低減しつつ、流量装置内で生じる詰まりなどの不具合や測定流量値に生じている異常を精度よく診断することができる流量制御装置、流量測定機構、又は当該流量測定機構を備えた流量制御装置に用いられる診断装置及び診断用プログラムを提供する。
【解決手段】流量制御装置に流路ＭＬ上に設けられた流体抵抗４と、前記流体抵抗４の上流側又は下流側のいずれか一方に設けられた圧力センサ３と、前記流体抵抗４に対して前記圧力センサ３が設けられていない側の圧力を算出する圧力算出部６と、前記測定圧力値と、前記圧力算出部６で算出された算出圧力値と、に基づいて流量を算出する流量算出部７と、前記測定流量値と、算出流量値と、に基づいて当該測定流量値の異常を診断する異常診断部８と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流量制御バルブに生じている異常を高い信頼性とともに診断することができ、例えば、流量制御バルブに異常が生じた場合には早急に適切なメンテナンス等を行うことができる流量制御装置及びそれに用いられる診断装置又は診断用プログラムを提供する。
【解決手段】第２測定流量値又は測定圧力値に基づいて第１測定流量値の異常を診断する第１測定流量診断部５と、前記第１測定流量診断部５が、前記第１測定流量値に異常が無いと診断している場合に、流量制御バルブ２の異常を診断するバルブ診断部６と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】流路を構成する部材間の密閉性を高め、ハロゲン系ガスに対しても使用可能な耐腐食性を有するＭＥＭＳ型流量センサを提供する。
【解決手段】実施形態によれば、流量センサ１０は、基材１１の表面と流路構成基材２１の裏面とが対向するように貼り合わせて、固定部材によって固定される。基材１１は、表面上の流路形成領域に、一対の感熱膜１２と、一対の感熱膜間の中間に位置するヒータ膜１３と、流路保護膜１５と、を有し、流路形成領域以外の領域上に、耐腐食性を有する金属保護膜を有する。流路構成基材２１の裏面の流路形成領域に形成される溝と、流路形成領域以外の他の領域と溝とを区切り、他の領域に比して突出する側壁構成部と、を有し、耐腐食性を有する材料によって構成される。流路構成基材２１の側壁構成部は、基材１１の金属保護膜上に位置するように圧着される。 （もっと読む）

【課題】 開閉弁の異常が生じても、装置を停止することなく、できるだけ目標の設定流量に近い流量で運転すること。
【解決手段】 複数の異なる設定流量（または設定関連指標）に対応して開閉弁９Ａ〜９Ｃを異なる開閉パターンに制御する流量調節装置であって、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃを特定する異常特定制御と、開閉異常が生じている開閉弁９Ａ〜９Ｃの開閉状態を含み、かつ正常時の開閉パターンに対応する設定流量（または設定関連指標）に近いバックアップ設定流量（またはバックアップ設定関連指標）の開閉パターンにより、開閉弁９Ａ〜９Ｃを制御するバックアップ制御とを行う。 （もっと読む）

【課題】パイロット弁周りの隙間にゴミを噛み込んだときに、そのゴミ噛み状態を容易に解除して正常な状態に復帰させることのできるパイロット式の流量調節弁装置を提供することを目的とする。
【解決手段】パイロット式の流量調節弁装置２２において、主弁３８の開方向の最大移動量を制限する主弁３８のストッパ１０１を設けるとともに、主弁３８が最大移動量まで移動した後、パイロット弁６０を主弁３８の最大移動量に対応する位置から更に開方向に移動可能とするパイロット弁６０の移動空間Ｋを設けておき、最大流量での吐水時に主弁３８を制限以上に移動させず、パイロット弁６０だけを更に開方向に移動させてパイロット弁隙間を大とし、噛み込んだゴミを下流側へと流し出すようにする。 （もっと読む）

【課題】高い制御性を有し、小型で耐食性、耐久性に優れる排気圧力コントローラを提供する。
【解決手段】排気圧力コントローラの駆動部分にゴム膨張バルブを用いることにより、ダンパー制御を精度良く行うことができる。即ち、貫通流路を有する硬質なボディと、前記貫通流路内に配置される膨張部材と、前記膨張部材を含んで形成される気密空洞と、を有するバルブと、
前記貫通流路の圧力及び／又は流量を測定する圧力／流量計測手段と
前記気密空洞に制御用気体を給気又は排気することにより、前記膨張部材を膨張又は収縮させて前記貫通流路の流路断面積を変化させる給排気制御手段と
を用いて排気圧力コントローラを構成する。 （もっと読む）

【課題】電源電圧が定格電圧を超える場合でも良好な流量制御精度が得られる流量コントローラ、流量制御システム、及び、流量コントローラ制御プログラムを提供すること。
【解決手段】全開時Ｄｕｔｙ算出プログラム４３を実行することにより、比例電磁弁２を全開させる場合にコイル２１に印加されるバルブ全開時コイル印加電圧が、比例電磁弁の定格電圧より高圧である場合に、比例電磁弁の定格電圧をバルブ全開時コイル印加電圧で割ることにより、比例電磁弁を全開状態とする場合における全開時のＤｕｔｙの値を算出し、制御動作時流量制御プログラム４４を実行することにより、算出された全開時のＤｕｔｙの値を上限として、比例電磁弁のコイル２１に印加する電圧のＤｕｔｙを可変させることにより、比例電磁弁の開度を制御する。 （もっと読む）

【課題】マイクロ処理装置の特性や流体の物性に拘わらず閉塞箇所を高精度に検出することができる流体分配装置、及び当該装置を備えることによって安定した長期連続運転が可能なマイクロプラントを提供する。
【解決手段】流体分配装置１は、入力流路１１に供給される流体を３以上の出力流路１３に分配するものであって、複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36を組み合わせてなり、入力流路１１に供給された処理対象流体Ｗ１を出力流路１３の数だけ分配する分配流路１２と、分配流路１２をなす複数の枝マイクロ流路Ｒc21〜Ｒc33，Ｒs11〜Ｒs36のうちの２つの枝マイクロ流路（例えば、枝マイクロ流路Ｒc31，Ｒc33）の流量を測定するマイクロ流量計１４ａ，１４ｂとを備える。 （もっと読む）

【課題】 水供給に何らかの異常が生じても高温の湯のみが誤って流出することが無く、安全性を確保できる混合弁システムを提供する。
【解決手段】 湯減圧弁３０の湯側隔壁部３２が、水減圧弁２０の二次側水流路１２における水の圧力を受けて湯側弁体３１を移動可能として配設され、二次側水流路１２に水が正常に流入しない場合には、湯側隔壁部３２に十分な水圧が加わらないことで、湯側弁体３１が湯側弁ばね３３の付勢に伴い移動して、一次側湯流路１３と二次側湯流路１４との間を閉鎖することから、水が水減圧弁２０に達しないような異常状態では、湯側弁体３１を直ちに湯の流路を閉鎖する位置まで移動させて、湯減圧弁３０から混合弁４１、４２への湯の流入を抑えられ、誤って高温の湯が混合弁４１、４２から下流側に流出する事態を防止でき、安全を確保できる。 （もっと読む）

【課題】半導体製造装置のガスの流量制御は、マスフローコントローラによって行われている。ここで使用される流量調整バルブは、流量を調整することに重点が置かれているため、閉鎖時にも微小ながらガスが流出する。このため、流量調整バルブの出力側に閉鎖特性の良好な開閉バルブが挿入されている。しかし、流量調整バルブと開閉バルブ間の流路系には、一定の容量を有するため、流量調整バルブが閉鎖されている間に、この流路系の圧力が流量調整バルブのリークを介して、上昇するという問題がある。このような出力側バルブ間空間の圧力上昇は、次に、開閉バルブが開いたときに、ガス被供給系への余剰のガス供給の原因となる。
【解決手段】本願発明は、マスフローコントローラのガス排出側の流量制御バルブと開閉バルブ間の圧力を計測することで、流量制御バルブの閉鎖時のリークガス流量を検知可能とした半導体製造装置である。 （もっと読む）

【課題】定流量制御装置を提供すること。
【解決手段】第１ハウジング３とダイアフラム４と該ダイアフラム４に一体的に取付けられた可動弁体５により形成される第１室６と、第２ハウジング９とダイアフラム４と可動弁体５により形成される第２室１０と、流体が通過することで第１室と第２室との間に圧力差を生じさせる絞り部１１と、第２室と下流側流体通路とを連通する通路に臨んで設けられ、可動弁体５に備えられたニードル弁１３に対応して設けられる弁座１４と、可動弁体をニードル弁と弁座が開弁する方向に所定の弾性力で付勢する主弾性部材１５と、を備えた流体の流量を所定流量に制御する定流量制御装置において、絞り部１１のオリフィスにはクリーニングピン２７が遊挿され、このクリーニングピンの軸方向の端部は、第１ハウジング３及び又は第２ハウジング９により、クリーニングピン２７はその軸方向の位置が規制されている。 （もっと読む）

供給ライン、ドレンライン、出力ライン、及び、その供給ラインをその出力ラインに選択的に接続する、或いは、その出力ラインをそのドレンラインに接続する個別に切換可能な複数のオン／オフバルブを有するデジタル液圧制御装置の制御方法を説明する。その方法は、その出力ラインにおける流体の圧力及び／又は流量を含む制御量を検出するステップと、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つを選択するステップであり、それら複数のバルブのうちの少なくとも１つは、その制御量が目標値に近づくようにその制御量を制御するための少なくとも１つのその選択されるバルブを通過する流体の量及び方向を制御するために切り換えられるところのステップとを含む。さらに、その方法は、個々のバルブのキャリブレーション、及び／又は、条件監視を含むテストシーケンスを実行するステップを含む。個々のバルブのキャリブレーションは、それらバルブのうちの２つであり、一方が供給ラインを出力ラインに接続し、他方が出力ラインをドレンラインに接続するところの２つのバルブを交互に開くこと、及び、その制御装置における検出された流量及び圧力の値にしたがって個々のバルブのためのキャリブレーション値を算出して設定することによる。条件監視では、それらバルブのそれぞれが順番に切り換えられ、そのバルブの切り換えに応じて、検出された流量及び圧力の値から、個々のバルブのバルブ開条件が推定される。
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【課題】少しづつ流量が変動する器具を特定し、正確な流量に基づいたガス器具の使用状態を監視することで、ガス使用上の安全性と利便性を向上させる。
【解決手段】流量特性情報を保持する器具判定記憶部１６と、流量計測部１１で検出されたガスの瞬時流量からガス供給管３０を流れるガス使用器具を判別し、流量変化検出部１４で「流量変化あり」を判定したときに器具判別を開始する器具判別部１７と、器具判別部１７が給湯器３３と判別した場合は、給湯器３３の流量を登録流量記憶部１５には登録せずに給湯器３３の流量を給湯器流量記憶部１８に記憶し、器具判別部１７でガスコンロ３１またはガスストーブ３２またはガス器具の特定に至らない場合は、通過している流量を登録流量記憶部１５に記憶し、登録流量記憶部１５と給湯器流量記憶部１８が所定値以上か判断し、所定値以上であれば、遮断弁２４を駆動しガス流路遮断の判断を行う。 （もっと読む）

【課題】凝固物等がオリフィスに付着した詰まりの状態を自動的に検出し、流量測定に誤差を生じる状態で流量制御が継続されることを防止した流量コントローラを提供する。
【解決手段】流量コントローラ１０は、流体主流路の直管部１に設けた一対の圧力センサ２１，２２間にオリフィス２３が配設され、圧力センサ２１，２２で検出した二つの圧力値により得られる差圧を流量に換算して流量測定を行う差圧式流量計２０と、流体主流路に設けられ、差圧式流量計２０の流量測定値と予め定めた設定流量値との差が所定の範囲内に入るよう開度制御される流量調整弁３０と、圧力センサ２１，２２で検出した圧力値の入力を受けて流量調整弁３０の開度制御を行う制御部４０とを備え、制御部４０は、設定流量値と差圧式流量計２０の流量測定値とを比較し、所定値以上の流量差が所定時間継続した場合にオリフィス２３の詰まり異常と判断する。 （もっと読む）

【課題】装置の損傷程度を検知し、損傷部位を特定する装置を提供する。
【解決手段】圧力調整器１０は流体流路に配置されて、流路内を移動可能な絞り要素２２を有している。軸３０が絞り要素２２に取りつけられている。その装置は、絞り要素の上流圧力を測定するための第一圧力センサ３４、絞り要素２２の下流圧力を測定するための第二圧力センサ３５および絞り要素２２の位置を検知するための作動センサ４４とを有している。測定された圧力と作動距離に基づいて流量を定めるためのアルゴリズムを備えたプロセッサ５２が提供される。 （もっと読む）

【課題】保守や管理の容易な流量制御装置の提供を課題とする。
【解決手段】流入口から流出口に至る経路中に設けられた制御弁と、前記流入口から流出口に至る流体の流れの有無を電気信号に置換して出力する検知部と、前記流出口を経て放流された流体の流量を前記検知部で取得した電気信号に基づき算出する流量算出部と、放流を停止すべき放流停止流量に前記流量算出部で算出した流量が達したか否かに基づき前記制御弁の開閉操作を制御する制御部と、前記流量算出部で算出した流量を前記制御部外に出力する出力部と、出力部に設けられ、流体の放流毎に出力される流量を、当該放流が為された日時等と共に表示する流量カウンタと、装置の作動不良を報知するインジケータと、を備えたことを特徴とする流量制御装置。 （もっと読む）

【課題】流量制御弁に対する気体の供給および排出を制御することにより流量制御弁の操作圧を調整するレギュレータの腐食を抑制することのできる流量制御装置を提供する。
【解決手段】流量制御装置は、ダイアフラムを有してその一方の面に供給されるエアにより操作圧を印加して他方の面に接触する薬液の流量を調整するパイロットレギュレータ２０と、パイロットレギュレータ２０に対するエアの供給および排出を制御することにより操作圧を調整する電空レギュレータ１８とを備える。流量制御装置は、パイロットレギュレータ２０と電空レギュレータ１８とを接続してエアを流通させるエア通路１５と、電空レギュレータ１８による操作圧の調整を可能としつつエア通路１５からエアを排出させるオリフィス４０とを備える。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ガスフローメータの追加設置を行わずにシステムの小型化を図りつつ、ガス流量測定部に異常があった場合には、異常を検出して自己診断を行うこができる流量制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】流体を供給する主配管１０と、
該主配管１０に並列に接続されたセンサ管２０と、
該センサ管２０を流れる前記流体の流量を独立して測定する第１の流量測定手段３０及び第２の流量測定手段４０と、
該第１の流量測定手段４０と該第２の流量測定手段４０の測定結果同士を比較し、該測定結果同士が等しいか否かを判定する比較回路５０と、
該測定結果同士が等しいときには、流量制御状態を維持し、該測定結果同士が等しくないときには、流量アラーム信号を出力する制御手段６０と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】流量自己診断時における弁の閉止時間遅れを少なくすることによって、高精度な診断結果が得られるようにする。
【解決手段】予め測定して記憶した初期圧力降下特性データと，前記初期圧力降下特性の測定と同じ条件下で測定した流量診断時の圧力降下特性データとを対比し、両特性データの差異から流量制御の異常を検出するようにした流量自己診断機能を備えた圧力制御装置の圧力制御弁用ピエゾ素子駆動回路に於いて、ピエゾ素子への駆動用電圧の供給回路と並列に、圧力式流量制御装置の中央処理装置からの降圧指令信号によりピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を降圧指令回路を通して緩慢に放電下降させる第１放電回路と、前記中央処理装置からの高速降圧指令信号により前記ピエゾ駆動素子に印加したピエゾ駆動電圧を高速降圧指令回路を通して急速に放電下降させる第２放電回路とを設ける。 （もっと読む）