【課題】 従来よりも像質の良い３次元像像を得ることができる３次元像構築方法および透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 各試料傾斜角度においてＴＥＭ像を撮影する際、デフォーカス量Δｆが複数のデフォーカス量Δｆ_１，Δｆ_２，Δｆ_３に変えられて像撮影が行われる。これらのデフォーカス量は予め求められて、デフォーカス量記憶回路１２に記憶されている。３次元像構築にあたっては、画像メモリ１５に記憶された画像データがＣＲＴ２０に送られ、デフォーカス量Δｆ_１，Δｆ_２，Δｆ_３のもとで撮影されたＴＥＭ像がＣＲＴ２０上に表示される。各試料傾斜角度につき１枚の最適なＴＥＭ像がオペレーターの目視判断によって選択され、３次元像構築回路１６は、その選択されたＴＥＭ像に基づいて３次元像を構築する。 （もっと読む）

【課題】 最小線幅０．２ミクロン以下のパターンを有する試料の欠陥検査等の評価を、マルチビームを用いて高スループットで行なう。
【解決手段】 単一のカソードから放出された電子線をマルチ開口で分離し、マルチビームを作る。集束したマルチビームを用いて、評価すべき試料と同じＺ座標にあるマーカ上を走査する。マーカ上の走査点から放出された電子線をＥ×Ｂ分離器で一次電子線から分離し、単一の検出器で検出する。単一の検出器を用いた検出によって、ビーム分解能、ビーム間隔およびビーム強度のうちの少なくとも一つを評価する。次にＥ×Ｂ分離器の偏向方向を逆にし、試料上の走査点から放出された二次電子群を二次光学系へ導く。複数の検出器で二次電子群によるマルチビームの各ビームに対応する信号を検出し、試料面上のパターンの評価を行なう。 （もっと読む）

【課題】
本発明の目的は、試料上の帯電によって生ずる荷電粒子線装置のフォーカスずれ，倍率変動，測長値誤差を低減するに好適な荷電粒子線照射方法、及び荷電粒子線装置の提供にある。
【解決手段】
上記目的を達成するために本発明では、荷電粒子線の搬入機構によって搬入される試料の通過中に、試料上の電位を測定する静電電位計によって試料上の電位分布を計測する手法を提案する。また、試料上の特定箇所の局所帯電を計測し、その帯電量から大域帯電量分を分離して計測する手法を提案する。更に、特定箇所の帯電量を、少なくとも２つの荷電粒子光学条件で計測し、特定箇所の帯電量変化に伴う荷電粒子線を用いた寸法測定値の変化を計測し、この変化に基づいて測長値、或いは倍率を補正する手法を提案する。 （もっと読む）

【課題】試料に対してビームを傾斜しても分解能低下の少ない荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】複数のレンズ６，７に対して一次ビーム４の軌道を軸外に通し、その軸外軌道を制御することにより、ビーム傾斜時に対物レンズ７で発生する収差を他のレンズ６の収差でキャンセルする手段を備え、対物レンズを含む複数のレンズの励磁を同時に変調する手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】フォーカスエラーを決定する効率的方法を提供する。
【解決手段】
荷電粒子ビームを集束する方法であって、この方法は、（ａ）第１の焦点パターンに従って荷電粒子ビームの焦点を変更し、同時にサンプルの第１の区域を走査すると共に検出信号の第１のセットを収集するステップ３２０と、（ｂ）第２の焦点パターンに従って荷電粒子ビームの焦点を変更し、同時に第１の区域と理想的に同一の第２の区域を走査すると共に検出信号の第２のセットを収集するステップ３３０と、（ｃ）検出信号の第１および第２のセットを処理して焦点特性を決定するステップ３４０とを含み、第１の焦点パターンと第２の焦点パターンとは最適焦点のロケーションによって異なっている。 （もっと読む）

【課題】電子レンズの自動焦点制御が短時間に精度の良く行え快適な操作環境が得られる走査電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】発振器２２，走査カウンタ２３，変換テーブル２４，Ｄ／Ａ変換器２５，２６で構成する偏向信号発生手段２１を備え、低分解能走査による自動焦点制御を行った後に高分解能走査により再度自動焦点制御を行う。 （もっと読む）