【課題】本発明はＴＥＭのデフォーカス量測定方法に関し、電子線傾斜によらない像移動を無くしてデフォーカス量を安定に測定することができるようにしたデフォーカス量測定方法を提供することを目的としている。
【解決手段】ＴＥＭにおける試料に対してある角度の電子線を照射してその時の画像を安定化させ、次に前記電子線傾斜とは反対の方向に同じ量だけ電子線を傾斜させて試料に対して照射し、画像が安定化したら、画像撮像手段により当該電子線照射画像を読み込み、
該電子線照射画像に対して自己相関をとって画像のズレ量を求め、求めた画像のズレ量からデフォーカス量を求めるように構成される。 （もっと読む）

【課題】共焦点走査型透過電子顕微鏡の高分解能像取得を可能とするのみならず、断層像取得、さらには暗視野像を共焦点ＳＴＥＭ結像を得ることを課題とした。
【解決手段】透過型電子顕微鏡は、試料を保持する試料ステージを、ナノ駆動構造により電子ビームの光軸方向であるＺ軸方向とそれに直交するＸ軸とＹ軸方向（Ｘ軸とＹ軸は互いに直交する）とに移動調整可能とする。 （もっと読む）

【目的】静電レンズで試料面の焦点合わせを行うことが可能な焦点合わせ方法を提供する。
【構成】本発明の一態様の電子ビーム２００の焦点合わせ方法は、レンズコイル２０７を用いて、校正マーク部材１０６の基準面の位置に焦点を合わせるための第１の設定値を測定する工程と、静電レンズ２０８とレンズコイル２０７の設定値を距離に応じて変更する第１と第２の換算係数を取得する工程と、試料１０１面の高さ分布を測定する工程と、第２の換算係数を用いて第１の設定値を補正して、レンズコイル２０７におけるビームの焦点位置を基準面の位置から試料面の高さ分布の中間高さ位置に補正する工程と、第１の換算係数を用いて試料１０１面の高さ位置に応じて静電レンズ２０８の第２の設定値を補正して、静電レンズ２０８により電子ビーム２００の焦点位置を補正する工程と、を備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】
本発明は、電子ビームを走査することによって、試料の帯電量、或いは焦点調整量を測定するに際し、電子ビーム走査による帯電蓄積に基づく帯電量誤差、或いは焦点ずれを抑制可能な方法及び装置の提供を目的とする。
【解決手段】
上記目的を達成するために、本発明の一態様によれば、試料上の電子ビームの走査個所を移動しつつ、エネルギーフィルタへの印加電圧を変化させることで、帯電量を測定、或いは試料への印加電圧を制御する帯電測定方法、焦点調整方法、或いは走査電子顕微鏡を提案する。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に、かつ、精度良く荷電粒子光学系の調整が可能な荷電粒子ビーム装置、及び、荷電粒子光学系の調整方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１は、荷電粒子源９と、荷電粒子ビームＩを入力値と対応するビーム特性値に設定して試料に照射させる荷電粒子光学系１２、１６と、荷電粒子ビームＩの照射位置を相対移動させることが可能な走査手段１７と、画像を取得可能な観察手段３２と、制御部３０とを備え、制御部３０は、入力値を異なる値に設定し、試料に位置を異なるものとして荷電粒子ビームＩを複数回照射させて、複数のスポットパターンを形成させるスポットパターン形成手段３３と、スポット特性値が最小値を示すスポットパターンを選択するスポットパターン解析手段３４とを有し、選択されたスポットパターンと対応する入力値にと等しい値に荷電粒子光学系１２、１６の入力値を設定する。 （もっと読む）

【課題】非点収差、軸外収差、及び、焦点ずれを同時かつ高速に補正することができる荷電粒子線装置を提供する。
【解決手段】本発明の荷電粒子線装置によると、対物レンズと試料の間に、荷電粒子線の軌道上に電場を生成する静電レンズが設けられている。静電レンズは、複数の電極に分割され、各電極には独立に電圧を印加することができる。この電圧を調整することにより、対物レンズの非点収差補正、軸外収差補正、及び、焦点ずれ補正のいずれかを行う。 （もっと読む）

【課題】 像分解能を維持して装置のコンパクト化を図る。
【解決手段】 電子銃１、電子銃からの電子ビームを試料４上に集束させる集束レンズ２、電子ビームで試料４上を走査させる走査用偏向レンズ５、試料上の走査により試料４から発生した二次電子ビームを検出する検出器６、検出器で検出された二次電子ビームに基づいて、試料４に関する像若しくはスペクトルを表示する表示装置１２を備えており、試料４の直上に、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４と４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０から成る静電型１２極子を配置させ、４段の静電型４極子２１，２２，２３，２４により電子ビームの試料４上のフォーカス調整を行わせ、４段の静電型８極子２７，２８，２９，３０で収差補正を行わせる。 （もっと読む）

【課題】特定の検出器でしか撮像できない異物、またはパターンが複数存在し、それらが独立に含まれる場合、一つの検出器の画像では正確な自動フォーカス調整を行うことが可能な技術を提供する。
【解決手段】電子線を試料に照射して試料から発生する二次信号を検出する複数の検出器と、該検出器で得られた信号を合成する演算手段とを備え、検出器のうちの少なくとも２つは電子線に対して軸対称に配置されており、該検出器それぞれの信号または合成した信号に基づいて電子線の焦点を調整する構成とする。 （もっと読む）

【課題】試料の構成や膜種等によって測長誤差の生じることのない走査形電子顕微鏡の測長方法を提供する。
【解決手段】本発明の走査形電子顕微鏡による測長方法は、対物レンズから試料までの距離を検出するセンサの出力を用いて走査形電子顕微鏡を測定ポイントにオートフォーカスさせ、対物レンズの励磁電流を変化させながら試料から放出された試料信号の変化をモニターしてフォーカスずれに相当する対物レンズの励磁電流ΔIobjを検出する。そして、対物レンズの励磁電流ΔIobjを試料に入射する電子ビームの加速電圧ΔＶに換算し、試料に入射する電子ビームの加速電圧をΔＶだけ変更する。その後、測定ポイントの測長を行う。 （もっと読む）

【課題】特定の検出器にしか写らないパターンや異物が複数独立に含まれる場合にも安定して自動フォーカス調整を実行することができる技術を提供する。
【解決手段】電子線を試料に照射して試料から発生する二次信号を検出する複数の検出器と、該検出器で得られた信号を合成する演算手段とを備えた走査型電子顕微鏡であって、検出器のうちの少なくとも２つは電子線に対して軸対称に配置されており、検出器の中から選択された少なくともひとつの検出器の信号または合成した信号に基づいて電子線の焦点を調整する焦点調整手段を備える。 （もっと読む）