【目的】 電磁場分布の空間変化が場所により大きく異なる試料を観察した場合でも、視野の各部分に適したコントラストで像を得ることができる顕微鏡を提供する。
【構成】 走査型透過電子顕微鏡に、電子線を分離するバイプリズム、電子線の干渉縞の透過できるスリット、および電子線の強度および偏向を検出できる検出器を付加した。
【効果】 １つの顕微鏡を走査ローレンツ電子顕微鏡と走査干渉電子顕微鏡として使うことができ、両者を使いわけることにより、視野の各部分に適したコントラストで像を得ることができる。 （もっと読む）

【目的】 空間の各点における磁界の大きさと方向を高空間分解能、高磁界感度で測定する。
【構成】 画像として不規則な模様が得られる試料に荷電粒子線を透過させて、第１の像を得る。さらに、試料と像面との間で荷電粒子線の通る空間に被測定磁界を配置して、上述と同様に不規則な模様の第２の像を得る。第１の像と第２の像を用いた画像処理から、荷電粒子線の被測定磁界による偏向角を求める。この偏向角の抽出を測定を行いたい空間の断面全体について行い、荷電粒子線による磁界の投影データを構築する。さらに被測定磁界を回転させ、各方向から上記の処理を行い、投影データの構築を行う。得られた投影データとコンピュータ断層映像手法で空間の各点の磁界を求める。
【効果】 微小空間領域に存在する磁界を磁界発生試料の平坦平面極近傍で高空間分解能かつ高感度で測定することが可能になる。 （もっと読む）

【目的】電子ビームが磁性体薄膜を透過するときに受けるローレンツ力による偏向から、この薄膜の磁気的特性を求めるローレンツ顕微鏡において、像回転や倍率変化を起こすことなく、デフォーカス距離（焦点のずれ距離）を変化させることのできる装置、及びそれを使った観察方法を提供する。
【構成】電子ビーム１が通過する孔を中央部に有する試料ホルダ４の内部に磁性薄膜試料を保持し、この試料ホルダ４をその外面側の３個所で電子ビーム１と垂直な方向に加圧支持する積層型圧電素子２と、試料ホルダ４をその下面側の３個所で電子ビーム１と平行な方向に移動可能に支持するバイモルフ型圧電素子３と、これらの圧電素子にそれぞれ別個に調節可能な電圧を印加する印加電圧制御手段とを設けて、試料ホルダ４を電子ビーム１と平行方向に移動させることによりデフォーカス距離を設定する構成とする。 （もっと読む）