【課題】 試料の電子線損傷を低減するためのＭＤＳにおける三つのモードのそれぞれについて複数の条件を記憶して、繰り返し作業を簡単に行うと共に、試料や目的に応じて最適な条件を任意に設定できるＴＥＭを提供する。
【解決手段】 サーチ、フォーカス、フォトの各モードに複数の条件を記憶しておく。例えば、ボックス３１ａにおいてサーチモードの条件をプルダウンメニュー３３ａにより表示し、マウスポインタ３６によりＴｒｕｃｋｉｎｇを選択する。ボタン３２ａをクリックすると装置は選択した条件に設定される。サーチモード操作から他のモード操作に移るか又は撮影実行又はＭＤＳ操作を終了するとき、直前の装置の状態が３１ａに表示されている名称で記憶される。
フォーカスモード、フォトモードについても同様に記憶されている複数の条件から任意の条件を選択し、その条件に装置を設定できる。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡において情報伝達限界は、当該電子顕微鏡の分解能を決める一指標である。従来電子顕微鏡の分解能は、対物レンズの球面収差をはじめとするレンズ収差のために、情報伝達限界よりも大きな値で制限されてきたが、最近の収差補正器技術の発達によりレンズ収差による分解能制限は緩和され、今後情報伝達限界が実質的に電子顕微鏡の分解能を与える指標として重要度を増すと考えられる。ところが、これまで情報伝達限界を評価するにはアモルファス薄膜によるディフラクトグラムを用いる定量性に欠ける方法しかなかった。
【解決手段】測定用試料として結晶薄膜を用い、二波回折干渉条件での結晶格子縞のコントラストの変化を測定することで、定量的に透過電子顕微鏡の情報伝達限界測定を可能とする。干渉条件を限定して測定を行うので、定量的に透過電子顕微鏡の情報伝達限界を評価することができる。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置を用いて、ガス雰囲気下における試料を観察する方法として、微量のガスを使い、例えば試料を加熱して反応中の変化を観察しようとすると、ガスの流れる方向によって試料ドリフトや振動の影響を受け、原子レベルでの観察が不可能であるという問題があった。また、大気中に暴露せずにかつ、試料の付け替え無しに試料を搬送する場合、真空装置を備えた大掛かりな装置が必要であった。
本発明の目的は、従来法では観察が困難であった試料のガス雰囲気での状態観察を原子レベルで観察可能な荷電粒子線装置および荷電粒子線装置用試料保持装置を提供することにある。
【解決手段】観察する試料に局所的にガスを噴射する機構を備えた荷電粒子線装置および荷電粒子線装置用試料保持装置において、観察する試料に近接し、試料に対し対向した微小ガス噴出部を設けたことにより達成される。 （もっと読む）

【課題】ＦＩＢ加工による薄板化を行うＴＥＭ用観察試料の作製において、ＦＩＢ加工試料台への試料設置における試料表面の傾斜誤差を精度高く補正する。
【解決手段】観察を行う試料表面とその近傍の斜面部に、それぞれ直線状をなす目印があり、各部の目印の直線状位置関係に関し、一直線に繋がっていない場合、あるいは平行関係にない場合、ＦＩＢ加工面は所定の位置から傾いており、試料台の回転機構などを用いて、前記関係が一直線に繋がるように調整することで、試料面の傾斜を補正する。 （もっと読む）

【課題】電圧印加ユニットの耐電圧性を維持しつつ、軸方向及び径方向ともに小型化することである。
【解決手段】真空容器２と、その真空容器２内に設けられる電極８と、前記真空容器２の外壁２１に設けられ、外部から前記電極８に電圧を印加するための高電圧印加ユニット４と、を備え、前記高電圧印加ユニット４が、一端が大気側に、他端が真空側に設けられて、当該他端が前記電極に電気的に接触して電圧を印加する高電圧印加端子４１と、前記高電圧印加端子４１が貫通して設けられ、一端が大気側に、他端が真空側に設けられる絶縁性を有する絶縁体４２と、前記絶縁体４２が貫通して設けられ、前記真空容器の外壁２１に気密に取り付けられるフランジ部４３と、を備え、前記フランジ部４３から大気側及び真空側に突出した前記絶縁体４２の外側周面４２ａを非接触状態にして、さらに、前記絶縁体４２の外側周面４２ａに凹凸部を設けていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】試料本来の電場に由来する電場情報を得ることができるようにする。
【解決手段】電子線バイプリズムを備えた電子顕微鏡において、該顕微鏡の電子銃１と試料１１を保持するホルダの間に電子線を遮蔽するマイクロプローブ１５を設ける。該マイクロプローブ１５は上下前後方向に移動可能とする。さらに、参照波に試料１１からの電磁波を遮蔽するシールド壁を設ける。 （もっと読む）

【課題】 荷電粒子線顕微装置において、任意倍率における幾何歪みを高精度に測定し、補正する。
【解決手段】 周期構造を持つ標準試料を基準にした絶対歪みとして第1の倍率における幾何歪みを測定する。幾何歪み測定済の第1の倍率と、幾何歪み未測定の第２の倍率で微細構造試料を撮影する。第1の倍率の画像を第2の倍率まで等方的に伸縮した伸縮画像を生成する。第2の倍率における幾何歪みを、伸縮画像を基準とした相対歪みとして測定する。第1の倍率における絶対歪みと第2の倍率における相対歪みから 、第2の倍率における絶対歪みを求める。以後、第2の倍率を第1の倍率に置き換えて相対歪み測定を繰り返すことにより、任意倍率における幾何歪みを測定し、補正する。 （もっと読む）

【課題】明瞭な観察を進めることが可能な電子顕微鏡の試料室と結合しかつ観察に適用可能である液体・気体環境提供装置を提供する。
【解決手段】電子顕微鏡９０は上下に配置される二つの極片９１を有し、極片９１は中央に電子ビーム流道９２を有し、間に所定の距離を置いて試料室９４を形成する。緩衝室１６は複数の隔離板１１と二つの極片９１とにより構成され、試料室９４の上方と下方とに別々に位置付けられ、互いに所定の距離を置き、そのうちの一つの緩衝室１６は試料室９４の中まで延伸され、試料室９４の一端に近い隔離板１１に内孔１４１を有し、遠く離れる隔離板１１に外孔１６１を有する。内孔１４１と外孔１６１とは同軸上に位置付けられ、電子ビーム径路Ｒに接する。緩衝室１６は抽気源１７に連接される。気体源１５は試料室９４に連接され、試料室９４内の気体を所定の圧力に維持可能である。 （もっと読む）

【課題】近接場光学顕微鏡の構造観察の分解能が低いという問題を解決することを目的とするものであり、原子を識別できる透過型電子顕微鏡の構造観察のもとで、近接場光学顕微鏡による観察を可能とする複合型顕微鏡を実現する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡３４の試料室３５に近接場光学顕微鏡３６が組み込まれて成り、制御・画像表示用コンピュータ９によって制御され、近接場光学顕微鏡３６は、光源３８と、試料２を保持する基板６を有する試料保持器２３と、光源に接続され試料２に光を照射する手段と、試料２からの近接場光の受光手段及び分光手段と、試料２に対して相対的に受光手段を走査する手段と、を備えており、透過型電子顕微鏡によって試料２の格子像を観察可能とするとともに、該格子像に対応して近接場光学顕微鏡によって試料２の分光分析を可能とする。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭサンプルを基板から抽出する方法を提供すること。
【解決手段】方法は、サンプル上に穴をミリングすることと、プローブを穴に挿入することとを含む。サンプルはプローブに接着し、プローブの上にある間、移送時に処理することができる。他の実施形態では、サンプルは基板から切り出され、静電引力によってプローブに接着する。サンプルは、真空室においてＴＥＭサンプル・ホルダの上に配置される。 （もっと読む）