【課題】別途の標式付着工程を行なわないで効率的に３次元イメージを得ることができる透過電子顕微鏡３次元観察専用ムーングリッドを提供する。
【解決手段】上部構造を保護するシートメッシュ１１０と、シートメッシュ１１０上に具備されてナノ粒子１３０が分散している支持膜１２０とを含む、透過電子顕微鏡３次元観察専用ムーングリッド１００とその製造方法を提供する。本発明の透過電子顕微鏡３次元観察専用ムーングリッド１００は、従来の３次元観察のための試料準備過程を単純化して、効率的な観察を可能にする。つまり本発明は、試料を付着する前に標識を備える。その結果、試料が非晶質試料、医生物試料および化学試料の場合、従来のグリッドとは異なり、標識を付着するのが難しく３次元イメージを得にくかった点を解決できる。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）等の荷電粒子線装置において、試料室の上下（電子線の入射側及び出射側）に設置される絞り（オリフィス）の口径変更、交換、着脱が容易に行えるようにする。
【解決手段】試料室１１３を構成する上下磁極１８，１９と、複数の孔４１を有する金属箔、または、金属板からなり上下磁極１８，１９のうちの少なくとも一方の電子線通過孔２１，２２の試料室１１３内に臨む開口端を覆って配置された絞り３５，３６と、この絞り３５，３６を磁極１８，１９に対して押圧させて支持するとともに鏡筒１０１の外部における操作により絞り３５，３６の磁極１８，１９に対する押圧を解除する押圧機構４８，５１，５２と、鏡筒１０１の外部における操作により絞り３５，３６を電子線１０３の行路に対する直交方向にスライド操作する絞り操作機構５４とを備えた。 （もっと読む）

【課題】試料の元素分析機構を、試料を観察する顕微鏡機構に搭載してなる複合的な元素分析装置において、試料を顕微鏡機構及び元素分析機構の双方に最適な位置及び角度に容易且つ性格に調整し、顕微鏡像と元素分析機構の３次元情報とを正確に対応させて、３次元再構築時のスケールや検出効率の不足を容易に補正し、高精度な元素分析を行う。
【解決手段】試料１１が設置される試料ホルダ３１にＸ軸方向、Ｙ軸方向及びＺ軸方向への各平行移動と、Ｘ軸回り及びＹ軸回りの各回転移動とを行う機能（第１の移動部３５）を付加することに加えて、試料１１から離脱した元素を検出する位置敏感型検出器３に、電子顕微鏡機構における光軸と一致するＺ軸回りの回転移動を行う機能（第２の移動部２６）を付加する。 （もっと読む）

【課題】
電子分光器を用いて電子エネルギー損失スペクトル及び二次元元素分布像を取得する際に、複数個の多重極子レンズの最適条件を高効率，高精度に調整するレンズ調整方法ならびにレンズ調整システムを提供する。
【解決手段】
透過型電子顕微鏡に付随している複数個の多重極子レンズを有する電子分光器の多重極子レンズを調整する方法であって、多重極子レンズの励磁電流をパラメータとしたパラメータ設計手法を用いたシミュレーションにより最適条件を求めるレンズ調整方法を提供する。更に、このレンズ調整方法を実施するためのレンズ調整方法を提供する。 （もっと読む）

【課題】
位相回復法を適用した荷電粒子顕微鏡では、観察条件により、位相回復で再構成される再構成像サイズと、用いた回折像に含まれる試料領域サイズとが一致しなくなる、また、計算に時間が掛かる。
【解決手段】
位相回復法を適用した電子顕微鏡等において、回折像の画素サイズｐ、カメラ長L、照射ビームの波長λにより決まる画像サイズと試料照射領域が一定関係になるようにする。また拡大像を位相回復法に用いる際の画像サイズを回折像の画素サイズ、カメラ長、照射ビームの波長により決まる画像サイズと一定関係になるよう、拡大像観察時のビーム照射領域もしくは偏向器走査領域を照射調整機構201で設定する。これにより、回折像と再構成される実像とが略一致する。また回折像とのフーリエ変換で決まる画像サイズと一定関係にあるサイズの拡大像を用いて位相回復を行うことで、計算の収束が速くなり、精度が上がる。 （もっと読む）

透過型電子顕微鏡を提供する。透過型電子顕微鏡は、顕微鏡の電子光軸上のターゲット本体位置と、顕微鏡の軸外の導電性本体とを有する。顕微鏡はまた、軸方向電子ビームを生成するための電子源を有する。使用中に、ビームは、ターゲット本体位置に位置するターゲット本体上に衝突する。顕微鏡は、更に、別の軸外電子ビームを同時に生成するためのシステムを有する。使用中に、軸外電子ビームは、導電性本体に衝突してそこから２次電子を放出させる。導電性本体は、放出２次電子がターゲット本体上に衝突し、ターゲット本体上に蓄積する可能性がある正電荷を中和するように配置される。 （もっと読む）

【課題】結晶性試料を傾斜させずに該結晶性試料を評価することが可能な試料評価装置及び試料評価方法を提供すること。
【解決手段】試料Sに電子線EBを透過させることによりZOLZ図形３９を得るステップS1と、ZOLZ図形の幾何学的特徴と、試料厚さ及び格子湾曲量との対応関係に基づいて、電子線EBが透過した部分の試料Sの厚さtと格子湾曲量Δθとを求めるステップS2とを有する試料評価方法による。 （もっと読む）

【課題】 高性能透過型電子顕微鏡において、アクチュエータに圧電素子を用いたシャッタ装置の駆動による機械的振動をより減少させる。
【解決手段】 圧電素子２６ａと２６ｂに正電圧が印加されると圧電素子２６ａと２６ｂは固定部材２７の中心方向に曲がる。圧電素子２６ａの曲がりによって生じる力点２３ａの微小移動はテコ体２３により拡大され、シャッタ板２５に伝達されて電子線通過孔２２を覆う。圧電素子２６ａが変形するとき、圧電素子２６ｂは圧電素子２６ａと反対向きに変形し圧電素子２６ａと逆位相の振動を発生させるので、固定部材２７上でシャッタ板２５の駆動により発生する振動を打ち消すことができる。 （もっと読む）

【課題】収差の影響を回避した連続視野像を撮影することができる透過型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料の所定の領域全体の電子線像を得るために、撮像装置の視野において収差の少ない領域を特定し、この領域を単位に試料ステージを移動しながら、前記領域全体を複数の連続する視野像として撮影する。 （もっと読む）

【課題】試料ホルダ上での試料の姿勢を、元々試料が試料基板上で置かれていたときと同じ状態になるように制御する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置のチャンバ内において、試料基板上の試料を把持して試料ホルダまで運搬し、該試料を試料ホルダ上で固定する際の試料の姿勢を制御する。チャンバ内で試料基板上にある試料Ｗｂの表面にビームによってマーキングを施すマーキング工程と、試料把持手段７によって試料を把持し、試料基板から試料ホルダまで運搬する運搬工程と、試料を試料ホルダに固定するに際し、試料の表面に施されたマーキングＭａ，Ｍｂを観察しながら、試料の姿勢を制御する姿勢制御工程と、を備える。 （もっと読む）