【課題】本発明はエネルギーフィルタを用いたＥＥＬＳに関し、ＥＥＬＳスペクトル信号取得時のダイナミックレンジを向上させることができるエネルギーフィルタを用いたＥＥＬＳを提供することを目的としている。
【解決手段】試料上のある領域に電子線を固定して照射する手段と、前記領域から出射した電子線を所定方向にエネルギー分散させてスペクトルを形成するエネルギーフィルタ８と、前記スペクトルを撮影する撮影手段１０とを備えたエネルギーフィルタを用いた電子エネルギー損失分光装置において、前記スペクトルを偏向させる偏向手段と、前記スペクトルをエネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させるための偏向信号を前記偏向手段に供給する信号発生器３０とを更に備え、前記スペクトルを、エネルギー分散方向に対して垂直方向に偏向させながら前記撮影手段１０で撮影するように構成する。 （もっと読む）

【課題】重イオンビームを収束することができるキャピラリーを製造する装置を提供する。
【解決手段】室内を真空にする手段を有する製造室１０を備え、前記製造室内１０に、管状金属１２の端部に、前記管状金属１２の長手方向に対して外向きに荷重を加える荷重装置と、前記管状金属１２の一部を加熱する加熱装置とを備え、室内を真空にした前記製造室１０内で、荷重を加えた前記管状金属１２の一部をクリープ温度まで加熱し、前記管状金属１２の加熱された部分が、前記管状金属１２の長手方向に対して外向きに伸延されて、破断することによって、破断した端部に向かって先細となるような形状の金属キャピラリーを形成する金属キャピラリー製造装置。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡（ＴＥＭ）三次元像構築画像処理方法のアライメントに関する技術において、従来よりも簡便なＴＥＭ三次元像構築画像処理方法を提供する。
【解決手段】
透過型電子顕微鏡で針状試料を回転軸を中心として数度ステップずつ回転させて撮影した連続回転シリーズを、画像輪郭抽出と位置ずれ量の検出工程、回転軸の方向の検出工程、回転軸の平行移動量の検出工程、及び前記位置ずれ量と回転の補正を行うことにより、アライメントを行い、その後ＣＴ法により三次元像構築画像処理を行う。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡において、従来、複数の方向からの試料の観察を一度に実施することは不可能であり、例えば、試料の３次元形状を求めるには、試料を様々な角度に傾斜させ、得られた各々の画像から３次元形状を再構築するトモグラフィー法、右視野像、左視野像の２枚の画像を試料の傾斜もしくは電子線の照射角度の変化によって作り出し、立体観察を可能成らしめるステレオ法などがあるが、いずれも複数枚の画像を得るには画像枚数回の画像取得作業を必要としており、時間分解能が低く、動的観察、実時間観察には至っていない。
【解決手段】照射光学系中に第１の電子線バイプリズムを設置し、角度の異なる２つの電子線を試料の観察領域に同時に照射する。この同時に試料を透過した２つの電子線を結像光学系に配置した第２の電子線バイプリズムにより空間的に分離して結像させ、照射角度の異なる２つの電子顕微鏡像を得る。この２つの画像を検出手段で取得しこれを元に試料の立体像や異なる情報を有する２つの像を生成し、表示装置に表示する。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、大電流が得られ、高安定なガス電界電離イオン源、及び高分解能でかつ大焦点深度のイオン顕微鏡を提供することに関する。
【解決手段】本発明は、ガス電界電離イオン源を備えたイオン顕微鏡において、ガス電界電離イオン源を冷却する冷凍機をイオン顕微鏡本体とは独立に設置し、ガス電界電離イオン源と冷凍機の間で冷媒を循環させる冷媒循環回路冷却機構を設けることに関する。本発明により、ガス電界電離イオン源に伝播する冷凍機の機械振動を低減でき、イオン源輝度の向上と、イオンビームの集束性能向上と、を両立できる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は磁区観察装置に関し、試料に強い磁場を印加することができる磁区観察装置を提供することを目的としている。
【解決手段】 透過型電子顕微鏡の対物レンズ上極内に磁性体試料３を配置し、該試料３を透過した電子線を画像化して表示手段に表示させるようにした磁区観察装置において、試料３に磁場を印加するための磁場印加コイル４と、試料３に印加した磁場により偏向される電子線を光軸に振り戻すための偏向コイル９，１０とを対物レンズ上極内に配置して構成される。 （もっと読む）

【課題】高い縦分解能と高い横分解能を同時に実現する。
【解決手段】粒子ビーム顕微鏡は、リング状の円錐形状を有する粒子ビームを生成する照明系を備える。選択的検出系は、対象物領域を通過した粒子の２つの粒子グループにおける一方を選択的に検出するように構成する。第１粒子グループは、散乱せずに、または小さい散乱量で散乱して対象物領域を通過した粒子を含む。第２粒子グループは、対象物領域においてより大きい散乱量で散乱した粒子を含む。 （もっと読む）

【課題】緊張した微細な空中配線を形成する技術を提供する。
【解決手段】原料ガスを供給した領域に収束した第１の荷電粒子ビームを照射することにより空中配線５３０を形成し、第１の荷電粒子ビームの照射により形成された空中配線５３０に、第２の荷電粒子ビームＩＢを照射することにより空中配線５３０を緊張させる。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡の自動試料傾斜装置に関し、試料傾斜角を自動で調整することができる電子顕微鏡の自動試料傾斜装置を提供することを目的とする。
【解決手段】試料移動機構７及び試料傾斜機構８の動作を制御する制御装置と、試料３を透過した透過電子を多段の電子レンズと偏向器を用いて結像させる結像電子光学系６と、結像した像を像信号化する像取得手段９と、前記像信号を記憶する記憶手段１１と、該記憶手段１１に記憶された像信号を読み出して解析するコンピュータ１０と、該コンピュータ１０は、試料傾斜軸別に、異なる複数の試料傾斜角で試料の現在の結晶方位で得られる電子回折図形を取得して前記記憶手段１１に記憶し、取得した電子回折図形別に電子回折スポット座標を算出し、電子回折スポット座標を基に、電子回折スポットを円近似することにより、近似円の中心と半径を算出し、円の半径が最小となる試料傾斜角を最適傾斜角とするように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡のアライメント装置に関し、高精度でかつ自動的にアライメントを行なうことができる透過型電子顕微鏡のアライメント装置を提供することを目的としている。
【解決手段】透過型電子顕微鏡において、透過電子線が蛍光板１４に投影された場合、その像を取り込む像取得装置１６と、該像取得装置１６を回転させる回転手段と、前記像取得装置の回転を制御する回転制御手段と、像取得装置１６で得た像信号を記憶する記憶手段２１と、該記憶手段２１に記憶された像情報を演算処理する演算手段２０とを有し、自動でアライメントを行なう際、前記像取得装置１６を予め決められた回転角に回転させることにより、アライメント偏向器の移動方向と像の移動方向を一致させ、得られた像を取得・演算処理し、全てのアライメント偏向器の適切な設定値を自動で算出するように構成される。 （もっと読む）