【課題】デバイス試料の傾斜ズレによる測長誤差を最小化する。
【解決手段】測長前に、試料の単結晶部分から回折パターンを取得し、取得された回折パターンに基づいて荷電粒子線に対する試料の傾斜角を補正する。 （もっと読む）

【課題】入射像面および入射瞳面を有し、試料を通過した電子の分析方法として１種類またはそれ以上の種類の分析方法を実施可能とする、適応性の高い分析系を備える透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】試料面内９ｂに試料を配置した透過電子顕微鏡は、対物レンズ１１ｂ、複数のレンズを有する第１投影レンズ系６１ｂ、複数のレンズを有する第２投影レンズ系６３ｂ、および分析系を備える。試料面９ｂは中間像面７１内に結像され、対物レンズ１１ｂの回折面１５ｂは中間回折面６７ｂ内に結像され、（ａ）中間像面は分析系の入射像面内に結像され、中間回折面は分析系の入射瞳面内に結像されるか、または、（ｂ）中間像面７１は入射瞳面６５ｂ内に結像され、中間回折面６７ｂは入射像面２１ｂ内に結像される。 （もっと読む）

【課題】タンパク質のような巨大分子の分析を目的とした質量分析顕微鏡観察で生じる像ボケを低減する方法、プログラム、装置を提供する。
【解決手段】得られた二次元の質量スペクトルから質量/電荷比ごとに信号強度を二次元表示した質量分析顕微鏡像の像ボケを、一次イオンの入射点からの距離に応じた付与エネルギーについて試料分子の脱離エネルギーを超える領域で予め規定した二次元分布をボケ関数として用いて、画像復元により像ボケを低減する。 （もっと読む）

透過型電子顕微鏡は、電子ビームを生成する電子ビーム源(20)を有する。前記電子ビームを収束させるようにビーム光学系が供されている。収差補正装置(90)は、少なくとも球面収差について前記電子ビームを補正する。前記電子ビームのビーム路中に試料(40)を保持する試料ホルダが供される。検出器(80)は、前記試料を透過する前記電子ビームを検出するのに用いられる。当該透過型電子顕微鏡は、前記電子ビームのゼロ次ビームが検出されない暗視野モードで動作する。当該透過型電子顕微鏡はまた、インコヒーレントな照射モードで動作することもできる。
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【課題】スクリーニング現象に対して対処可能な電子ホログラム形成装置及び電子線ホログラム形成方法を提供すること。
【解決手段】電子線ホログラム形成装置は、試料に電圧を印加するための第１電極及び第２電極を備える。電子線ホログラム形成方法は、試料に電圧を印加した状態で試料に電子線を照射して電子線ホログラムを形成する。 （もっと読む）

【課題】透過型電子顕微鏡法における位相コントラスト結像のための新しい方法を提供すること。
【解決手段】本方法は、結像電子ビーム自体を使用して、事実上の位相板として使用するための無孔薄膜を調整し、場合によっては、孔をその場以外で製作する必要をなくし、ＺＰＰハードウェアの精度に対する要件を低減させる。ＺＰＰハードウェアの電子光学的特性は、電子ビームを使用して孔を開けること、及び／又は１次ビームによって引き起こされる帯電によって電気光学的特性を修正することという２つの方法で主に修正される。さらに、ＺＰＰハードウェアから下流のレンズによってサンプルに集束させる方法が開示される。対物レンズの後側焦点面を選択領域の開口面及び対物レンズの後側焦点面と共役の任意の平面へ移動させる方法も提供される。 （もっと読む）

【課題】本発明は３次元画像取得方法及び装置に関し、分解能を向上させることができるトモグラフィー法を用いた試料の３次元画像取得方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】走査透過型電子顕微鏡において、試料の３次元画像を得る３次元画像取得手段を設け、該３次元画像取得手段を用いて試料の第１の３次元画像を得、次に、試料を裏返して該３次元画像取得手段を用いて試料の第２の３次元画像を得、得られた試料の第１の３次元画像と第２の３次元画像とから試料の３次元画像を得る、ように構成する。 （もっと読む）

【課題】本発明はモノクロメータのスリット位置制御装置に関し、モノクロメータの調整を短時間で行なうことができるようにしたモノクロメータのスリット位置制御方法及び装置を提供することを目的としている。
【解決手段】入射した荷電粒子線を受けて、エネルギー分散を起こさせるエネルギーフィルタを有し、エネルギー分散面上に設置したエネルギー選択スリットを介して所望のエネルギー幅の電子線を取り出すようにしたモノクロメータにおいて、前記エネルギー選択スリット２２に流れる電流を検出する電流検出手段４と、該電流検出手段４により検出した電流値が最小となるように前記エネルギー選択スリット２２の位置を制御するスリット位置制御手段５、とを有するように構成される。 （もっと読む）

【課題】電子レンズの球面収差による制約を受けることなく高散乱角の散乱電子を検出し、深さ分解能を向上させることができる透過型電子顕微鏡及び試料観察方法を提供する。
【解決手段】試料５に電子線２を照射する電子銃１と、試料５を透過して散乱する散乱電子を検出する電子検出器１３と、この電子検出器１３と試料５との間に位置し試料５からの散乱電子の通過範囲の内径及び外径を制限するリング状のスリットを有する第１の検出側環状絞り１５と、この第１の検出側環状絞り１５と電子検出器１３との間に位置し第１の検出側環状絞り１５を通過した散乱電子の通過範囲の内径及び外径をさらに制限するリング状のスリットを有する第２の検出側環状絞り１６とを備えたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ナノスケールの高分解能画像を得る。
【解決手段】１以上の試料を特徴付けるための超高速システム（および方法）である。特徴付けられる試料を有するステージ組立部を含む。持続時間が１ピコ秒未満の光パルスを放射することができるレーザー源を有する。レーザー源に接続されたカソードを有し、特定の実施例において、カソードは１ピコ秒未満の電子パルスを放射することができる。ステージ上の試料に電子パルスの焦点を合わせられる電子レンズ組立部を有する。試料を通過する電子を捕らえる検出部を有する。検出部はプロセッサを有し、試料の構造を代表する試料を通過する電子に関連付けられた信号（たとえば、データ信号）を供給する。プロセッサは、試料の構造に関連付けられた情報を出力するために、試料を通過する関連付けられたデータ信号を処理し、出力デバイスに出力する。 （もっと読む）