【課題】２つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。
【解決手段】このため結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対してゴニオメ−タを利用してＸ傾斜軸及びＹ傾斜軸にそれぞれ垂直する軸である（Ｔｘ，Ｔｙ）値を測定し、測定された結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対する３つの（Ｔｘ，Ｔｙ）値から（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）結晶軸の挟角を求める。次いで（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の結晶指数から結晶学的な方法で（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角を求める。次いで、測定された（Ｔｘ，Ｔｙ）値から得た（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角と結晶学的に算出した挟角とを比較して、その差を最小化する（Ｔｘ，Ｔｙ）値を正確な測定値として選択して、傾斜軸と結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）間の関係を樹立する。次いで２つの結晶間の脱角行列を利用して結晶粒界の特性を糾明する。 （もっと読む）

【課題】
簡便に電子ビームの高品質化を図ることができる電子銃、電子顕微鏡、及び電子発生方法を提供する。
【解決手段】
本発明の一態様にかかる電子銃１００は、レーザ光が入射してきた方向に向けて電子を放出する電子銃であって、レーザ光源と、前記レーザ光源からのレーザ光が入射し、入射光が全反射を繰り返しながら内部を伝播する中空の導光部材と、前記導光部材から出射した光を屈折する中空のレンズと、前記レンズによって屈折されたレーザ光が入射するフォトカソードと、を備えるものである。 （もっと読む）

【課題】トモグラフィー法にあって、試料を試料台の回転軸上に容易に搭載でき、全回転角において、観察・分析を正確に行うことができるようにする。
【解決手段】電子顕微鏡にも共用される、試料台が備えられている試料回転ホールダにあって、試料台の軸心上の試料搭載側先端に球体部を設け、粉体試料を効率よく回転軸中央に装着し、試料回転ホールダ及び試料台それぞれの各回転角で、三次元再構成時の取得画像の位置合わせが正確に行え、三次元再構成像を高精度で得ることができるようにした。 （もっと読む）

【課題】 ３次元像構築を行なうための連続傾斜像を取得するとき、最適な光学条件を観察倍率に応じて選択でき、かつ自動的に設定する機能を備える透過電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】 高倍率像観察用に短焦点の対物レンズ（ＯＬ）、低倍率像観察用に長焦点の対物ミニレンズ（ＯＭ）を用いるようにする。指定された加速電圧と観察倍率に必要とされる初段結像系レンズの球面収差係数（Ｃｓ）を計算し、対物ミニレンズの適用範囲にあるか否かを判定し、範囲内であれば対物ミニレンズを使用して大きな被写界深度を得るようにする。範囲外であれば短焦点の対物レンズを使用して高分解能像を取得する。 （もっと読む）

【課題】 分割検出器を用いなくても磁区構造画像を得る。
【解決手段】 試料上の各観察点において、電子回折図形Ｄ_ｘｙをＣＣＤカメラで撮像する。取得した電子回折図形Ｄ_ｘｙ毎に以下の（ａ）〜（ｃ）の処理を行って、１つの電子回折図形Ｄ_ｘｙに対して１つの磁区構造画像データＭ_ｘｙを求める。（ａ）電子回折図形上の所定範囲の像を、複数の部分像Ｓ_１〜Ｓ_４に分割する。（ｂ）部分像Ｓ_１〜Ｓ_４毎に、その部分像を構成する各画素の強度信号を加算して１つの画像強度信号を求める。（ｃ）部分像Ｓ_１〜Ｓ_４毎に求めた画像強度信号Ｉ_１〜Ｉ_４に基づいて１つの前記磁区構造画像データＭ_ｘｙを求める。そして、電子回折図形Ｄ_ｘｙ毎に求めた磁区構造画像データＭ_ｘｙに基づいて磁区構造画像を得る。 （もっと読む）

【課題】
エネルギー損失量と測定位置情報の二軸で形成される電子エネルギー損失スペクトル像について、各測定位置間での電子エネルギー損失スペクトルの相違点を高効率かつ高精度に補正する透過型電子顕微鏡を提供する。
【解決手段】
電子分光器を備えた電子顕微鏡の電子エネルギー損失スペクトル像の補正システムであって、基準スペクトル像に含まれる基準位置のスペクトル及び基準位置以外のスペクトルの相違点に基き、分析対象試料のエネルギー損失スペクトル像の各測定位置のスペクトルを補正することを特徴とする補正システム。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子線装置において、試料表面から発生した二次信号粒子と、試料内で散乱して透過した暗視野透過信号粒子と、試料内を散乱しないで透過した明視野透過信号粒子を分離して検出し、目的に応じた最適なコントラストの像を観察する。
【解決手段】上記目的を達成するために、一次荷電粒子線が薄膜試料を透過して得られる透過信号粒子のなかで、試料内で散乱した信号粒子（暗視野透過信号粒子）のみを検出するために、試料下部に試料内で散乱しない透過信号粒子（明視野透過信号粒子）が通過できる開口を有する透過信号変換部材と、当該部材に衝突する信号を検出する検出手段を設けた。 （もっと読む）

【課題】多段電子線バイプリズムの操作自由度を落とすことなく、１段電子線バイプリズムと同数の電磁レンズ系によって、多段電子線バイプリズムの干渉顕微鏡像を得る。
【解決手段】試料より電子線の進行方向の上流側に上段の電子線バイプリズムを配置するとともに、対物レンズの前方磁界の結像作用を利用して、試料上（物面上）に電子線バイプリズムの像を結像させる。そして対物レンズの下流側に下段の電子線バイプリズムを配置させることにより、試料の第１像面までで２段バイプリズム干渉光学系を構成する。本光学系では新たな電磁レンズの追加は不必要である。 （もっと読む）

【課題】当該発明は、像の質を改善するための補正器（３３０）及びコントラストを改善するための位相板（３４０）を備えたＴＥＭに関係する。
【解決手段】改善されたＴＥＭは、対物系のレンズ及び位相板の間に完全に置かれた補正系を具備すると共に、位相板における回折平面の拡大された像を形成するために補正器のレンズを使用する。 （もっと読む）

【課題】 電子顕微鏡に用いられる電磁レンズの中で最も重要な役割を担う対物レンズは、大きな励磁電流によって短い焦点距離を実現し、高い空間分解能を発揮する。その反面、寸法計測に用いた場合には、磁気的ヒステリシスが原因で結像条件の再現性が不十分であり、200から2000倍程度の低倍率での観察も困難であった。また、試料を対物レンズ内に生じた磁場中に配置するため、試料は常に磁場に浸漬された状態で観察されていた。
【解決手段】 試料が通常の観察時に配置される対物レンズ内に加え、この位置に1/5から1/30の倍率で像を転写するような、対物レンズ外の電子線進行方向の上流側にも試料を配置する機構を設ける。 （もっと読む）