【課題】顕微像の移動操作を容易にする電子顕微鏡の制御装置を提供することを目的とする。
【解決手段】複数の視野移動ツール２３、２５、２６、２８、３２のうちの何れか１つを基準視野移動ツールとして、他の視野移動ツールの座標値を基準視野移動ツールの座標系で表す座標値に変換する。オペレータが特定の視野移動ツールを指定し、更に基準座標系で表された座標値を変更した場合、その変更値を指定された視野移動ツールの座標値に逆変換し、逆変換した座標値を当該視野移動ツールに設定する。 （もっと読む）

【課題】元素像を生成する機能を有する電子顕微鏡において、高Ｓ／Ｎかつ高空間分解能の弾性散乱電子像や特性Ｘ線による元素像や電子線エネルギー分光による元素像を測定できるようにする。
【解決手段】分析対象試料を透過した弾性散乱電子の検出と同時に連続して、特性Ｘ線信号と電子線エネルギー損失スペクトルの測定、あるいは観察元素のコアロスを含む複数のエネルギーフィルタ信号を測定し、連続観察した弾性散乱電子像を基にした位置ずれを補正しながら、特性Ｘ線や電子線エネルギー分光による元素像を積算する。 （もっと読む）

【課題】本発明は荷電粒子線装置に関し、陽電子を用いた場合にも良好な透過像を得ることができる荷電粒子線装置を提供することを目的としている。
【解決手段】荷電粒子ビームを集束する少なくとも１段の集束レンズ２と、該集束レンズ２よりも下流側に配置されている試料の保持機構３と、試料を荷電粒子ビームの通路に対して挿入・引き出しを行なう試料の駆動機構と、試料よりも下流側に配置される少なくとも１段の結像レンズ４と、試料をビーム通路に挿入して得られる結像面における透過像を記憶する手段と、試料をビーム通路から引き出して得られる結像面におけるプローブ像を記憶する手段と、前記透過像とプローブ像とから、試料面における荷電粒子プローブの電流密度分布の不均一性及び結像面での検出感度の不均一性の少なくとも一つが補正された透過像を求める透過像算出手段とを具備して構成される。 （もっと読む）

【課題】 ＳＥＭ又はＴＥＭにおいて、より高分解能の観察・検査を行う。
【解決手段】 枠状部材１５０ａの開口１５０ｂが膜１５０ｃにより覆われており、膜１５０ｃの第１の面に試料３１５を保持するための試料保持体１５０において、膜１５０ｃの厚みＤと、膜１５０ｃにおいて枠状部材１５０ａの開口１５０ｂを覆っている部分の周囲長Ｌとの関係が、Ｌ／Ｄ＜２０００００となっている。 （もっと読む）

【課題】 試料室内へ導入するガスの最大許容圧力を制限することなく、又、高散乱角円環状検出に基づくＨＡＡＤＦ像観察ができる装置を提供する。
【解決手段】電子銃２、試料５がセットされる試料室７、ガス流量制御装置３９及びガスノズル４０を通じて試料５の表面近傍に雰囲気ガスを供給するガスボンベ３７、試料室７内を排気する排気ポンプ３６、上極８´と下極９´間に試料がセットされ電子銃２からの電子ビームが通過する対物レンズ、試料を透過した電子を検出する検出器１５、検出信号に基づいて試料の透過像を表示する表示装置１９、対物レンズの上極８´，下極９´各々の上面部と下面部で電子ビーム光軸Ｏを横切る方向に移動可能で複数の微小孔Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを有するオリフィス板５０ａ，５０ｂ，５０ｃ，５０ｄをそれぞれ支持するホルダー５１ａ，５１ｂ，５１ｃ，５１ｄと、それらの駆動装置５２と移動制御装置５３を設けた。 （もっと読む）

【課題】試料の投影方向に関する情報の精度を向上させることにより、高精度の３次元再構築像を得ることができる電子線トモグラフィ法及び電子線トモグラフィ装置を提供すること。
【解決手段】前記構造を評価すべき評価部位と、前記評価部位一体的に結合した単結晶部位とを有する試料の前記評価部位に前記電子線を照射して透過電子像を取得すると共に前記電子線の照射角度を変化させずに前記単結晶部位に前記電子線を照射して電子線回折像を取得する。上記操作を複数の角度で行い、一連の透過電子像及び電子線回折像を取得し、その電子線回折像から上記一連の透過電子像の各々についての投影方向を決定する。上記の手法で得られた投影方向に基づいて、上記一連の前記透過電子像の位置合わせを行い、前記評価部位の立体構造の再構築演算を行う。 （もっと読む）

【課題】
高い倍率で安定して再現性の良い鮮明な走査透過型電子顕微鏡像の観察を可能にする。
【解決手段】
試料５にその表面に沿った成分を有する任意の方向の電場６を印加する電場印加機構部として電極１３〜１６を設置し、この電場印加機構部を用いて電場を印加することにより、収束電子線によって試料５表面上に局所的に帯電する電荷を速やかに移動させる。更に、この電場による電子線８スポット中心が検出器１０中心から移動するのを補正するため、電子線振り戻し機構部１７〜２０を設ける。 （もっと読む）

【課題】
本発明の課題は、長期間安定な電子放出特性を発揮可能な電子放出素子を提供することにある。また、電子放出素子の耐久性を向上させる。
【解決手段】
上記課題を解決する本願発明の特徴点は、電極に接続するワイヤ部分、該ワイヤ部分に接続する針部分、該針部分に接続されたナノチューブ部分を有する電子放出素子であって、該ワイヤ部分、該針部分、さらには該ワイヤ部分と該針部分との接合剤、該針部分と該ナノチューブ部分との接合剤に炭素を主成分とする材料を用いることにある。また、他の本願発明の特徴点は、ワイヤ部分，針部分を有する電子放出素子で、針部分は先鋭化されており、ワイヤ部分と針部分が炭素で一体に形成されていることにある。 （もっと読む）

【課題】既存の電子顕微鏡を用いて、試料の高分解能観察と同時に、紫外・可視・近赤外吸収スペクトル測定をも容易かつ確実に行うことのできる試料ホルダーを提供する。
【解決手段】ＴＥＭ１内において電子線Ｅを照射することにより試料Ｓの構造観察を行う試料ホルダー１０であって、試料ホルダー１０の軸方向Ｘに沿って配され、電子顕微鏡外の光源６０から紫外・可視・近赤外領域の光を伝送する入射側光ファイバー３８と、入射側光ファイバー３８により伝送された入射光Ｌ₁を集光する入射側集光レンズ４２と、試料Ｓを介して入射側集光レンズ４２の対向側に配され、試料Ｓを透過した光Ｌ₂を集光する透過側集光レンズ４３と、試料ホルダー１０の軸方向に沿って配され、透過側集光レンズ４３により集光した透過光Ｌ₂を電子顕微鏡外へ伝送する透過側光ファイバー３９とを備える。 （もっと読む）

【課題】 試料傾斜によって発生する位置ずれを補正する装置において、位置ずれ補正精度を劣化させずに補正時間を短縮させる。
【解決手段】 試料傾斜による試料移動を再現性のある移動と再現性の無い移動に分類する。再現性のある移動は移動のモデルを求め、再現性の無い移動は移動の範囲を求める。再現性のある移動はモデル基づいてオープンループで補正する。再現性の無い移動は前記移動範囲に基づいて設定された条件でフィードバック補正する。
【効果】 再現性のある移動はオープンループ補正で補正すると共に、再現性の無い移動の範囲を予め求めておくことにより、フィードバック補正に置ける測定回数を大幅に削減し、傾斜シリーズ像撮影時間を大幅に削減した。 （もっと読む）