【課題】本発明は透過型電子顕微鏡のアライメント装置に関し、高精度でかつ自動的にアライメントを行なうことができる透過型電子顕微鏡のアライメント装置を提供することを目的としている。
【解決手段】透過型電子顕微鏡において、透過電子線が蛍光板１４に投影された場合、その像を取り込む像取得装置１６と、該像取得装置１６を回転させる回転手段と、前記像取得装置の回転を制御する回転制御手段と、像取得装置１６で得た像信号を記憶する記憶手段２１と、該記憶手段２１に記憶された像情報を演算処理する演算手段２０とを有し、自動でアライメントを行なう際、前記像取得装置１６を予め決められた回転角に回転させることにより、アライメント偏向器の移動方向と像の移動方向を一致させ、得られた像を取得・演算処理し、全てのアライメント偏向器の適切な設定値を自動で算出するように構成される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における高分解能像観察時など、電子光学系上に存在する浮遊磁場は像を劣化させる直接的な要因の一つであり、その影響の程度を評価し対策を採ることが必要である。しかし、従来の電子線のスポットを評価・観察する方法では、感度・精度共に十分ではなく、しかも、像観察光学系とは異なる光学条件での測定であるため、測定結果が正しく像観察条件を評価できない場合もあった。
【解決手段】本発明では例えば高分解能像観察光学系において、試料位置を電子光学系の光軸上に変化させて格子像を観察し、格子像のコントラストとそのときの試料位置との関係より、結像に影響を与えている浮遊磁場を定量的に評価する。 （もっと読む）

【課題】
電子分光器および透過型電子顕微鏡を用いて、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成されスペクトル像において、エネルギー損失量と位置情報の軸が直交する二軸で形成される二次元の電子線位置像から算出される電子線位置を基準電子線位置と比較し、各電子線位置の相違点に基づき、歪み量を算出することにより、分析対象試料のスペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する。
【解決手段】
エネルギー損失量と位置情報が直交する二軸で形成されるスペクトル像について、スペクトル像の歪みを高効率かつ高精度に補正する方法および装置を提供するものである。 （もっと読む）

【課題】検出能力が向上したＸ線検出器を提供すること。
【解決手段】試料室内に環状に配置された複数の検出器が大きな捕集立体角を提供する。これらの検出器は、検出器の表面での氷の形成を低減させるシャッタおよびコールド・シールドを含むことが好ましい。サンプルを取り囲む検出器を提供することによって、検出を向上させる大きな立体角が提供され、サンプルの傾斜方向にかかわらずＸ線が検出される。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】結晶サンプルの電子線回折トモグラフィのための方法及びデバイスであって、サンプル３８の別個の場所４２、４３毎にビームが収束するようなビーム走査プロトコルと組み合わせて、サンプルの複数の別個の場所にわたる電子ビームの走査を利用して、一連の電子線回折パターンを入手し、テンプレートマッチングを用いて、結晶方位及び厚みマップを特定し、共通の強度スケールファクターを入手する。 （もっと読む）

【課題】本発明は透過型電子顕微鏡におけるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関し、試料への電子線照射量を減らすことができるトモグラフのデータ測定方法及び装置に関する。
【解決手段】透過型電子顕微鏡によるトモグラフデータを測定する場合において、
試料３ａを傾斜することに伴う視野ずれの補正を行なう時に、傾斜ステップ毎に直前のステップの画像とのずれ量を求めるずれ量算出手段６と、該ずれ量算出手段６で求めたずれ量を基に次の傾斜ステップにおけるずれ量を予測して位置ずれ補正を行なう位置ずれ補正手段６と、を具備し、自動的にデータ測定を行なうように構成する。 （もっと読む）

【課題】電子線装置において、基板上に粒子を堆積した標準試料を用いて収差補正を行う際に、高精度な観察及び分析を可能とし、より精度の高い収差補正を容易且つ正確に行う。
【解決手段】ＳＴＥＭ装置の収差補正に際して、Ｓｉからなる単結晶基板１０１上にＡｕパーティクル１０２が堆積されてなる標準基板を用い、電子線回折像及び菊池パターンに基づいて、標準基板の傾斜を調節する。この状態で電子線を合焦し、Ａｕパーティクル１０２の形状を算出して、Ａｕパーティクル１０２の円形近似との差異を解析し、この解析結果を踏まえて収差補正を実行する。 （もっと読む）

【課題】
電子線をレンズにより収束またはそれを使用した電子顕微鏡の像を結像しようとした場合、球面収差の効果によって電子線の位相差が生じ干渉効果が十分に得られないため、電子線を使用する装置において位相差を調整しその干渉性を向上させることに関する。
【解決手段】
本発明は、電子線をレンズにより収束もしくは結像する際に生じる、電子線経路の差により生じる位相差を調整し、その差をなくすことに関する。具体的には、例えば、中心から動径方向に厚さの変化した位相板を使用し、厚さの効果もしくは電位の効果またはその二つを用い電子線の位相を調整する。また、例えば、電位調整機能，温度調整機能，位相板雰囲気ガス圧調整機構，位相板非点補正機構，位相板傾斜位置高さ調整機構などによって本発明は実現される。本発明により、ＰＴＥＭ像をより高い分解能に高め、汎用的に使用することが実現可能となる。 （もっと読む）

本発明は、ＴＥＭ中において超高速時間分解でその場でイメージングする四次元超高速電子顕微鏡（ＵＥＭ）に関する。単電子イメージングが四次元ＵＥＭ技術の要素技術として使用されて、従来の技術では得ることができない高空間および時間分解能が得られる。本発明の他の実施形態は、電子ビームを試料に収束して、三次元での構造的な特徴を時間の関数として測定する収束ビーム型のＵＥＭについての方法およびシステムに関する。また、実施形態によって、試料の四次元イメージングだけでなく、電子エネルギーのキャラクタリゼーションが得られて、時間分解電子エネルギー損失分光法（ＥＥＬＳ）が実行される。 （もっと読む）

【課題】２つの結晶の方位関係と結晶粒界の特性をリアルタイムで正確に確認できることを特徴とし、透過電子顕微鏡のゴニオメ−タを利用した隣り合う結晶粒の結晶学的方位関係と結晶粒界の特性を測定する測定装置及びその測定方法を提示する。
【解決手段】このため結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対してゴニオメ−タを利用してＸ傾斜軸及びＹ傾斜軸にそれぞれ垂直する軸である（Ｔｘ，Ｔｙ）値を測定し、測定された結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）に対する３つの（Ｔｘ，Ｔｙ）値から（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）結晶軸の挟角を求める。次いで（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の結晶指数から結晶学的な方法で（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角を求める。次いで、測定された（Ｔｘ，Ｔｙ）値から得た（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）の挟角と結晶学的に算出した挟角とを比較して、その差を最小化する（Ｔｘ，Ｔｙ）値を正確な測定値として選択して、傾斜軸と結晶軸（Ｈ１，Ｈ２，Ｈ３）間の関係を樹立する。次いで２つの結晶間の脱角行列を利用して結晶粒界の特性を糾明する。 （もっと読む）