【課題】 ３次元微細領域元素分析方法及び３次元微細領域元素分析装置に関し、試料に電界蒸発を起こすのに必要な高電圧パルスを印加することなく、一層ずつ制御された状態で、且つ、構成元素の蒸発電界の違いに影響されずに分析を行う。
【解決手段】 被分析試料１に飽和吸着し、且つ、エネルギービーム５の照射によってエッチングが進行するガス種３を被分析試料１に供給したのち、エネルギービーム５を照射して前記被分析試料１のガス種３の吸着した部分のみを脱離させ、脱離した被分析試料１由来の粒子６の質量分析を行なうことによって被分析試料１表面の元素分析を行なう。 （もっと読む）

【課題】 ２個以上の原子からなる粒子団を試料表面に照射することにより、試料表面から放出される２次粒子量を大幅に増大させるようにすること。
【解決手段】 炭素非粒子団及び粒子団荷電粒子ａを、質量分析器１により粒子団荷電粒子ｂ１と非粒子団荷電粒子ｂ２とに選別し、これらの粒子団荷電粒子ｂ１と非粒子団荷電粒子ｂ２を物質表面に照射する。荷電粒子を粒子団で物質に照射すると、粒子団が被照射物質と衝突する際に、粒子の有するエネルギーが物質表面の狭い領域に集中し、エネルギー密度の高い場が生じる。このような荷電粒子団の照射による特異的な高密度エネルギー場の中では、イオン化反応が促進され、非粒子団照射時に比べて生成される２次粒子の量が増加する。また、荷電粒子団の代わりに中性粒子団を用いた場合にも同様の効果を奏する。 （もっと読む）

本発明は、化学分析又は生物分析用に、たとえばダイヤモンド/非ダイヤモンドカーボン材料のような、ダイヤモンド/非ダイヤモンド材料の複合材料又は組成物を利用することに関する。本発明はさらにこの材料を、化学的又は生物学的試料の分離、付着及び検出に利用することに関する。カーボンナノチューブは、固定基板の表面材料として、又は検査液中での利用が予想される。構造化された基板又はこの材料からなる混合相粒子の用途には以下に限定されるわけではないが、試料の吸着-イオン化、より詳細には質量分析を含む過程が含まれる。
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本発明は、化学分析又は生物分析用の基板としてカーボンナノチューブを利用することに関する。本発明はさらにこの材料を、化学的又は生物学的試料の分離、付着及び検出に利用することに関する。カーボンナノチューブは、固定基板の表面材料として、又は検査液中での利用が予想される。用途は、試料の吸着-イオン化、より詳細には質量分析を含む過程を有するが、それに限定されるわけではない。

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質量分析計に使用されるイオン源で、電子ビームを放出する電子エミッタアセンブリ、イオン化室、電子レンズおよび少なくとも１つの電極を具備する。前記電子エミッタアセンブリは、基板に固定されており前記電子ビームを放出するカーボンナノチューブ束と、前記電子ビームの放出を制御する第１制御格子と、前記電子ビームのエネルギーを制御する第２制御格子を含む。前記イオン化室は、前記電子ビームを導入させる電子ビーム入口と、試料を導入する試料入口と、イオン化試料分子を出すイオンビーム出口を含む。前記電子レンズは、前記電子エミッタアセンブリと前記イオン化室の間に配置され、前記電子ビームを集束する。前記少なくとも１つの電極は、前記イオンビーム出口の近傍に配置され、前記イオン化室から出る前記イオン化試料分子を集束する。

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一次イオンビームを作り出すイオン源を有する質量分析器であって、イオン源は、加熱可能なイオンエミッタを有しており、イオンエミッタは、液体金属層で被覆されており、液体金属層は、主に純粋な金属性ビスマスまたは低融点の、主にビスマスを含有する合金からなり、電場の影響下でイオンエミッタを用いてビスマスイオン混合ビームが放射可能であり、ビスマスイオン混合ビームから、それらの質量が単原子の１重または多重に電荷されたビスマスイオンＢｉ_１^Ｐ＋の複数倍となる複数のビスマスイオン種のうちの１種が、質量の純粋なイオンビームとしてろ過可能であり、該イオンビームは１種類のＢｉ_ｎ^Ｐ＋イオンのみから成っており、その際ｎ≧２およびｐ≧１であり、かつｎとｐはそれぞれ自然数である。
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質量分析を行うための装置および方法は、イオンインターフェースを用いて、エレクトロスプレー源またはＭＡＬＤＩ源などの大気圧イオン源からのイオンの流れが質量分析器を含む真空チャンバーに入る前に、該イオンの流れから望ましくない粒子を除去する機能を提供する。イオンインターフェースは、エントランスセルおよび粒子選別セルを含む。該エントランスセルは、イオン源がエレクトロスプレー源である場合に、荷電液滴を脱溶媒和するために加熱され得るボアを有する。該粒子選別セルは、エントランスセルのボアの下流で、かつ真空チャンバーに通じるアパーチャーの前に配置されたボアを有する。粒子選別セルは、イオンの流れからの望ましくない荷電粒子の分離を可能にする気体力学的および電界条件を作り出す。 （もっと読む）