【課題】試料と検出器とにおける所望の検出条件を変えることなく、試料に対する一次イオンの入射角度を変更することが可能となる二次イオン質量分析装置を提供する。
【解決手段】本二次イオン質量分析装置は、照射方向可変イオン照射装置と試料台と質量分析器とを含んでなる。この照射方向可変イオン照射装置は、固定されたイオン銃と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃に近い方の第一の偏向板と、照射されるイオンの進行方向の変化を制御可能な偏向板であって、照射経路においてイオン銃から遠い方の第二の偏向板とを含んでなり、第一の偏向板と第二の偏向板とが、それぞれ独立に、ある点を中心にして回転し得る機構を有する。 （もっと読む）

【課題】真空容器内に取り付けられたイオン化室の種類を真空を解除することなく判定することのできるイオン化装置を提供する。
【解決手段】真空容器１１と、真空容器１１内に設けられたフィラメント１２及びトラップ電極１３を有し、真空容器１１内に取り付けたイオン化室の内部で熱電子を直接的又は間接的に利用して気体試料のイオン化を行うイオン化装置において、フィラメント１２から発生し、イオン化室内を通過してトラップ電極１３に到達した熱電子により流れる電流Ｉ_１を測定する第１電流計１６と、イオン化室の壁面に衝突した熱電子により流れる電流Ｉ_２を測定する第２電流計１７、及び前記Ｉ_１とＩ_２との比に基づいて真空容器１１内に取り付けられたイオン化室の種類を判定するイオン化室判定部１９を設ける。 （もっと読む）

【課題】ＥＩ及びＰＩの双方が可能であって、小型に構成でき、ＰＩの際に広い範囲にわたって試料分子に対し一様に光を照射することにより検出効率及び感度の向上が可能なイオン化装置を提供する。
【解決手段】イオン化装置２は、試料分子Ａをイオン化するためのイオン化空間２ｂを有するイオン化室２ａと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに電子衝撃を与えて試料分子Ａをイオン化するためのフィラメント２３ａ，２３ｂと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに紫外光を照射して試料分子Ａをイオン化するための放電管２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】
電子線源装置フィラメントの断線・変形を的確に予測・判定し、従来の装置における使用可能なフィラメントの交換による不必要な資源消費および交換費用の発生ならびに、突然の断線や変形発生時の後追い処理による工程の混乱を防止し、測定時間、保守管理工数を低減する。
【解決手段】
フィラメント電流測定回路１１によってフィラメント電流を常時測定し、演算回路１２によって点灯時間零時点におけるフィラメント電流と現在のフィラメント電流の比を常時演算し、比が予め定めた限界比を下回ったときはフィラメントＦの寿命時間到達、また予め定めた上限比を上回ったときはフィラメント異常と判定し、ディスプレイ１３に適切なメッセージを表示する。 （もっと読む）

【課題】大気圧雰囲気下で粒子線を試料に照射してイオン化を行う場合、粒子線の照射範囲を絞ることができないため空間分解能を高めることが困難であった。
【解決手段】大気圧雰囲気にあるイオン化室１内でノズル８から噴射される粒子線の経路に小孔６を穿設した粒子線遮蔽板５を配設し、該小孔６を通過した一部の粒子線を試料３に照射する。そして、試料３上の粒子線の照射部位４から発生したイオンをイオン輸送管７で収集して質量分析部に送る。さらに、この遮蔽板５の位置を固定し試料３を保持する試料ステージ２を二次元面内で移動させることにより、試料３上での粒子線の照射部位４を移動させる走査を行い、それにより試料３上の所定範囲の定性情報や定量情報の二次元分布を取得可能とする。 （もっと読む）

【課題】
四極子形質量分析計の感度を向上させるためにイオンの生成効率を向上させた四極子形質量分析計用イオン源を提供する。
【解決手段】
イオン源と、質量分離部と、イオン検出器とを備え、イオン源で生成されたイオンを質量分離部に入射し、その質量と電荷の比によって分離され、イオン検出器で目的のイオンを検出するように構成した四極子形質量分析計用イオン源において、イオン源に含まれるイオン化室とイオン引出し電極の間に、イオン化室内の電位分布を最適化するイオン化室補助電極が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 測定用ビームば照射された試料から散乱した試料イオンの質量にかかわらず均一な質量分解能を実現し，且つ，コンパクトな装置でありながら長い飛行距離を確保して長時間試料イオンを飛行させることにより高い質量分解能を実現すること。
【解決手段】 測定用ビームＨが試料Ｓに照射されることにより該試料Ｓから散乱した試料イオンの飛行時間に基づいて上記散乱イオンの質量を分析する飛行時間型質量分析装置において，試料Ｓにおける上記測定用ビームＨの照射部を通る所定の基準軸Ｇに沿った所定領域に，その基準軸Ｇに平行な磁場をソレノイドコイル３５で発生させ，発生された磁場中を旋回飛行する試料イオンをイオン検出器２１で検出し，検出された試料イオンの所定距離における飛行時間を測定し，測定された飛行時間に基づいて上記散乱イオンの質量を分析する。 （もっと読む）

【課題】電子イオン化源における空間電荷に関する現象を抑制するための方法および、その方法を実施するために使用することができる電子イオン化装置を提供する。
【解決手段】イオン源における空間電荷関連現象を抑制する方法において、電子ビームをチャンバ内に導入して、チャンバ内でサンプル物質からイオンを生成する（６０２）。電圧パルスをチャンバに印加してチャンバ内に存在する電子空間電荷を撹乱する（６０４）。イオン源は電子衝撃イオン化ＥＩ装置であってもよい。イオン源を質量分析計と結合して作動してもよい。 （もっと読む）

【課題】 高精度の圧力測定を行い、且つ高精度のガス分析も同時に行える四重極質量分析計を提供すること。また、１台の真空装置に取り付ける圧力計測を四重極質量分析計だけにして、電離真空計を廃止することのできる手段を提供すること。
【解決手段】 本発明は、イオン電流強度から真空装置（９）内のガス種類別の分圧強度を測定する四重極質量分析計（Q）において、グリッド電極（２）とイオン集束電極（４）とで形成する画定空間（Ａ）内に、イオン密度を探査する全圧測定電極（１）を設けた全圧測定電極付き四重極質量分析計である。また、本発明は、イオン電流強度から該真空装置（９）内のガス種類別の分圧強度を測定する四重極質量分析計（Q）だけが取り付けられ、該四重極質量分析計以外の電離真空計を持たない真空装置である。 （もっと読む）

負イオンを生成させる際に電子を最適に利用することによって試料中の分子のサブパート−パー−トリリオン濃度を検出する、化学薬剤を感知する装置と方法を提供する。空気、海水、乾燥沈降物又は海中沈降物を含む各種媒体をサンプリングできる。静電ミラーを使って電子ビームの運動エネルギーをゼロ又はゼロに近い運動エネルギーまで低下させる。
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