【課題】 圧電基板の厚みを薄くしても工程歩留りの低下がなく量産性に優れる高感度で小型の無線通信可能な力学量センサ及びその製造方法を提供すること。
【解決手段】 圧電単結晶基板５０１上に形成され櫛歯電極５０２及び反射器５０３を有するＳＡＷ素子５０４と、主面間を貫く孔５０８を有しこの孔５０８の上にＳＡＷ素子５０４の表面弾性波伝搬部が位置するように孔５０８の周辺部で圧電単結晶基板５０１を支持する非圧電単結晶基板５０５と、非圧電単結晶基板５０５上に形成されたアンテナ５０６と、櫛歯電極５０２にアンテナ５０６を接続する整合回路５０７とを備える力学量センサ５００である。 （もっと読む）

【課題】 量産性に優れた３軸加速度センサを提供する。
【解決手段】 基板に固定された圧電素子の自由端に加速度で慣性力を受けるを錘設けた加速度センサにおいて、基板と錘を圧電体の自発分極方向の延長線上に配置する。圧電素子は自発分極が一方向である単一部材の圧電体に３対の電極が形成され、そのうちの１対は自発分極方向に垂直で３３モードの圧電気を検出し、残りの２対は自発分極方向に平行で１５モードおよび２４モードの圧電気を検出することで、３軸方向の加速度を検出する。
また、点群４ｍｍ，６ｍｍ，３ｍおよびｍｍ２に属する圧電材料を用いることで、直交３成分の加速度を独立に測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 量産性に優れた２軸加速度センサを提供する。
【解決手段】 自発分極方向と平行で、かつお互いが直交する様に設けられた２組の対向電極をもつ圧電素子４０を少なくとも１つ以上配置し、その自由端面に錘２０を連接する。錘２０に作用する慣性力で圧電体素子４０を剪断変形させ、２軸方向に加速度を分離して検出する。自発分極方向が板厚方向である板材への２．５次元加工と電極形成だけで加工できるセンサ構造としたため、量産性に優れる。圧電材料として点群４ｍｍまたは６ｍｍに分類される材料を用いることで、加速度検出方向の指向性を高める。 （もっと読む）

【課題】被洗浄体が通過する際に邪魔にならず、扱い易い超音波振動子を提供する。
【解決手段】振動板の一方の面に圧電セラミックス素子の一方の面が節され、圧電セラミックス素子の隅の一部を切り欠いて、その部分にマイナス電極を形成し、又、圧電セラミックス素子の他方の面にプラス電極を形成し、このプラス電極の一部を切除し、この切除した部分を検出用ピックアップ素子とし、この検出用ピックアップ素子にプラス電極を装着する。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で、発振ループ内の振幅制御を高精度で実現し発振起動時間を短縮する発振回路、物理量トランスデューサ及び振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】 発振回路１０は、発振ループ内の発振振幅を制御するためのゲインコントロールアンプ２０と、発振振幅に応じて前記ゲインコントロールアンプのゲインを調整するための制御電圧を出力するゲイン制御回路３０とを含む。ゲイン制御回路３０は、発振振幅を監視して発振ループ内の発振が定常状態か起動過程かを判別し、発振ループ内の発振が起動過程と判別されたとき、発振振幅にかかわらず所与の定電圧を制御電圧として出力し、前記発振ループ内の発振が定常状態と判別されたとき、発振振幅に応じたゲインを決定するための制御電圧を出力する。 （もっと読む）

【課題】 簡素な構成で、発振ループ内の振幅制御を高精度で実現し発振起動時間を短縮する発振回路、物理量トランスデューサ及び振動ジャイロセンサを提供する。
【解決手段】 発振回路１０は、制御電圧Ｖｃの変化に対するそのゲインの変化を示す所与の感度特性を有し、発振ループ内の発振振幅を制御するためのゲインコントロールアンプ２０と、発振振幅に応じてゲインコントロールアンプ２０のゲインを調整するための制御電圧Ｖｃを出力するゲイン制御回路３０とを含む。ゲイン制御回路３０は、発振振幅を監視して発振ループ内の発振が定常状態か起動過程かを判別する。ゲインコントロールアンプ２０は、発振が起動過程と判別されたとき、制御電圧Ｖｃに基づいて第１の感度特性に従ってそのゲインを変化させ、発振が定常状態と判別されたとき、制御電圧Ｖｃに基づいて第１の感度特性より感度の低い第２の感度特性に従ってそのゲインを変化させる。 （もっと読む）

【課題】常時電力を供給（消費）することなしに、より高い精度で加速度の方向、大きさや、角加速度の回転の中心、大きさを容易に検出すること。
【解決手段】Ｚ軸に直角に切断された水晶片により構成され、付加された重りを中心に３本の等角度アーム（Ａ１１（Ａ１２），Ａ２１（Ａ２２），Ａ３１（Ａ３２））が広がり、それぞれの外端が円形の輪と連続している車輪のごとき構造を有し、中心の重り（Ｂ１１（Ｂ１２））と外端の間のスポークを構成する各水晶アームの伸張変位、圧縮変位、屈曲変位による電圧発生を検出されるように配置された電極（Ｐ１１，Ｐ１２）（Ｐ１３，Ｐ１４，Ｐ１５，Ｐ１６）を有し、この構造物に外部から加えられた加速度（Ｇ１２，Ｇ１３，Ｇ１４）、角加速度（Ｇ１５）を電極の電圧情報により、方向、大きさを検出する加速度センサ及び角加速度センサ。 （もっと読む）

【課題】本願発明が解決しようとする課題の１つは、駆動及び検知双方の機能を備える圧電素子において、検知のS/N比を向上させることである。
【解決手段】本願発明は、その実施態様に、次のような圧電素子を含む。この圧電素子は、第１の上部電極と第１の下部電極との間に第１の圧電体を挟んだ第１の構造物を、弾性基体上に、前記第１の下部電極が前記弾性基体側となるように設けると共に、第２の上部電極と第２の下部電極との間に第２の圧電体を挟んだ第２の構造物を、前記第２の下部電極が前記弾性基体側となるように、且つ、前記第１の下部電極と前記第２の下部電極が接しないように、且つ、前記第１の圧電体と前記第２の圧電体が接しないように、前記弾性基体上に設けることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】外部からの加速度を検出するための錘部に機械的な揺動を殆んど発生させずに加速度の測定を行うことが可能な加速度センサ、パッケージ収納型加速度検出装置および加速度の測定方法を提供する。
【解決手段】加速度センサ１０は、外部から与えられる力によって可動な錘部２０と、錘部２０の周囲を囲むように形成された外枠部１２と、振動方向に直交する方向に延在する一対の振動腕２３，３２と振動腕２３，３２の両端に延設された基部とを備え、錘部２０の重心Ｑ１近傍を中心として略直角関係となるように外枠部１２と錘部２０との間に形成され、それぞれが外枠部１２に接続された２個の双音叉振動子Ｘ１，Ｘ４と、錘部２０の重心Ｑ１を含む平面と異なる平面上に重心を有し、錘部２０から薄肉状に延設された接続部１５，１７，１９，２２とを有し、錘部２０と双音叉振動子Ｘ１，Ｘ４とは、接続部１５，２２によって接続されている。 （もっと読む）

【課題】小型で帯域幅が広く、且つプロセスに対して固有振動周波数のバラツキの小さい振動子及び電気信号処理素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板２上に、シリコン基板２の表面と平行に薄膜音叉型屈曲振動子１が設置されている。薄膜音叉型屈曲振動子１は、２本の振動部と、その振動部を励振する励振部と、シリコン基板２に固定する支持部１−４と、振動部と励振部に蓄えられる振動エネルギーを支持部１−４と隔離するための台座部から構成される。より具体的には、薄膜音叉型屈曲振動子１は、下部電極が形成された基板上に圧電材料の薄膜が成膜され、この圧電体薄膜上に上部電極が形成された、音叉型屈曲振動子を有する。また、シリコン基板２上に、例えばＣＭＯＳインバータを用いた発振器が形成される。 （もっと読む）