【課題】小型で帯域幅が広く、且つプロセスに対して固有振動周波数のバラツキの小さい振動子及び電気信号処理素子を提供する。
【解決手段】シリコン基板２上に、シリコン基板２の表面と平行に薄膜音叉型屈曲振動子１が設置されている。薄膜音叉型屈曲振動子１は、２本の振動部と、その振動部を励振する励振部と、シリコン基板２に固定する支持部１−４と、振動部と励振部に蓄えられる振動エネルギーを支持部１−４と隔離するための台座部から構成される。より具体的には、薄膜音叉型屈曲振動子１は、下部電極が形成された基板上に圧電材料の薄膜が成膜され、この圧電体薄膜上に上部電極が形成された、音叉型屈曲振動子を有する。また、シリコン基板２上に、例えばＣＭＯＳインバータを用いた発振器が形成される。 （もっと読む）

【課題】 圧電体や異種金属間に流れる起電作用を利用し、無電源でもって顔や頭皮に効率良く起電した微弱電流を流す微弱電流活性具を提供すること。
【解決手段】 圧電フィルム体を手袋や打具やフェイスマスクやヘアーネットの適所に設けることで、顔や頭皮表面に密接する圧電フィルム体がその動きに連動して変形するため、その変形する圧電フィルム体が起電する微弱電流を顔や頭皮の皮膚内に通電する構成。また適当な厚みで適当に撓んで弾性と導電性を持つ金属やプラスチックやゴムで基板を形成し、その基板上に圧電体を平板状に設け、その圧電体を一体に設けた基板を頭皮面や体表面を叩く打具内に設け、その打具によって頭皮面や体表面を叩くことで、圧電体で起電する微弱電流をその皮膚内に通電する構成。また手袋に異種の金属シートを互いに離して設け、イオン化傾向の作用で両金属シート間に流れる微弱電流を、接面する顔や頭皮の皮膚内に通電する構成。 （もっと読む）

【課題】従来の圧電素子は高温高湿環境下で使用されると、圧電素子を構成する圧電組成物感圧体が水を吸収し、電気抵抗や静電容量、圧電特性が変化し、耐久性、信頼性に劣るという課題を有していた。
【解決手段】周期表第１族、周期表第２族の元素を含む圧電セラミック粉末３と可撓性を有する有機高分子４とからなる可撓性感圧体１と、可撓性感圧体１に接続された電極２Ａと、電極２Ａと絶縁された電極２Ｂとから構成される圧電素子において、周期表第１族、周期表第２族の元素を含む圧電セラミック粉末３から溶出する成分を洗浄処理で除去することにより、圧電素子の電気抵抗、圧電特性の変化を防止し、耐久性、信頼性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持する支持部８と、支持部８に一端を連結するとともに他端を実装基板（図示せず）に固定する２つの固定用アーム１０とを有し、固定用アーム１０は第３アーム１２を第４アーム１４に略直交方向に連結して形成した直交アームとし、第４アーム１４の両端部を折曲して第３アーム１２と対向させるとともに第４アーム１４の両端部にて実装基板に固定した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、検出素子１は、第１アーム２と、この第１アーム２の両端に連結した第２アーム４とを有し、第２アーム４は略直角に折曲するとともに折曲部にて第１アーム２と連結し、かつ、第２アーム４の両端部の基部５にて実装基板に固定し、互いに直交したＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸において、折曲された第２アームの一方をＸ軸方向に配置し、他方をＹ軸方向に配置している。 （もっと読む）

【課題】 基本波モード振動の周波数で高い周波数安定性を有し、等価直列抵抗Ｒ_１が小さく、品質係数Ｑ値が高く、しかも容量比の小さい超小型の音叉形状の屈曲水晶振動子を備えた水晶ユニットを提供することにある。
【解決手段】 基部とその基部に接続されて第１振動腕と第２振動腕からなる音叉腕を備えて構成される音叉形状の屈曲水晶振動子で、基部はその基部に接続され、互いに反対の位置にある２つのフレームを備えていて、第１振動腕と第２振動腕は２つの異なる幅を備え、１つの幅は第１振動腕と第２振動腕の自由端である音叉先端部の側に、他の１つの輻は音叉先端部と反対の位置にある他端部の側にあり、かつ、音叉先端部の側にある幅より小さくなるように形成されていて、他端部の側にある振動部の上下面には溝が設けられ、２つのフレームはケースの固定部に固定され、ケースは接合部材を介して蓋に接合されている。 （もっと読む）

【課題】作動させたくない部分に非圧電領域を設けた圧電ケーブルセンサは、完全に圧電領域と非圧電域とを明確に分けることができないため、センサ感度が低下する部分を含むか、振動などのノイズを拾いやすい部分が存在し、誤動作を完全に防止できないという課題を有していた。
【解決手段】ケーブル状の圧電センサ７に圧電性を有する分極部１１、１２、１３と圧電性のない非分極部１４、１５を設け、分極部１３と非分極部１４の境界近傍の部分に外部振動に対する不感部としての拘束部１６を設けて構成することにより、圧力が印加されたときに作動する部分と作動させたくない部分を明確に分離することができるので作動させたくない部分でのセンサの誤動作を防止することができ、信頼性に優れた圧電ケーブルセンサを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、この検出素子１は、第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持する支持部８と、支持部８に連結するとともに実装基板（図示せず）に固定する２つの固定用アーム１０とを有し、固定用アーム１０は第３アーム１２を第４アーム１４に略直交方向に連結して形成した直交アームとするとともに第４アーム１４の両端部にて実装基板に固定した構成である。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１を備え、この検出素子１は、４つの駆動用アーム２と、この駆動用アーム２の一方の端部を支持する支持部４と、この支持部４に連結するとともに実装基板に固定する２つの固定用アーム６とを有し、一方の固定用アーム６は一方の２つの駆動用アーム２の間に配置し、他方の固定用アーム６は他方の２つの駆動用アーム２の間に配置した構成である。 （もっと読む）

【課題】振動子の材質や形状の制約を受けることなく、配線引き回しも含めた電極間の電気的結合の影響を軽減する。
【解決手段】圧電体からなる複数の脚に駆動電極３１、３２と検出電極３４、３５とを備え、この駆動電極３１、３２への駆動信号にて脚を振動させた状態で脚へのコリオリ力による振動にて検出電極３４、３５に角速度信号を生ずる振動子を有する振動ジャイロにおいて、脚に、コリオリ力による振動に伴う電位差が生ぜずかつ駆動電極３１、３２との電気的結合にて電位差を生じ得るダミー電極３６を備えた。 （もっと読む）