【課題】改善された圧力センサ、センサ・挿入組立体を提供する。
【解決手段】生体の血管内圧力測定用センサ・挿入組立体は挿入手段と、凹部を設けた基板本体８を有し、この凹部を圧力感受性膜１０により覆って空洞１２を形成したセンサ・チップ６とを備える。圧電要素、好ましくは圧電膜１４の形のものを圧力感受性膜と結合して配置し、エネルギー供給手段を配置して圧電エネルギーを圧電要素に、音波が圧電要素に発生すように、配置する。この場合圧電要素は、圧力感受性膜の変位に関連した音波の測定された性質に従って圧電膜の圧力を表す出力信号を生成するように配置する。 （もっと読む）

【課題】角速度や加速度等の互いに異なる複数の慣性力を検出したり、複数の検出軸の慣性力を検出したりでき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】慣性力を検出する検出素子１と処理回路とを備え、この検出素子１は、第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームを有し、２つの第１アーム２を支持する支持部６を有し、第１アーム２には、第１アーム２の歪を感知する感知電極３０を設け、一方の第１アーム２には第１アーム２に対して直交方向に第５、第６感知電極３２，３４を対向配置させ、他方の第１アーム２には第１アーム２に対して直交方向に第７、第８感知電極３６，３８を対向配置させた構成である。 （もっと読む）

【目的】斜め振動の抑制を容易にして機械的強度やＣＩを維持した角速度センサ素子を提供する。
【構成】音叉基部から一対の音叉腕が延出した音叉状水晶片を備え、前記音叉腕の幅方向となる音叉振動を駆動する駆動電極と前記音叉腕の厚み方向となる垂直振動による電荷を検出するセンサ電極とを有し、前記一対の音叉腕の斜め振動を防止する切削部を前記音叉腕の根元部にレーザによって設けた角速度センサ素子において、前記切削部は前記音叉腕の主面における幅方向の両端側の少なくとも一方とし、前記音叉腕の主面方向からの前記レーザのビーム径に依存して 〜 μｍとした複数の微小穴の集合体から構成される。 （もっと読む）

【課題】本発明は生産性を向上させることができる角速度センサの製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】シート状のシート基板２０上に第１の振動素子４、第２の振動素子５およびＩＣ３を複数個形成した後、前記シート基板２０に角速度を印加することにより複数個の角速度センサの特性を検知する検知工程と、前記複数個の角速度センサの特性のばらつきを低減させるために前記複数個の角速度センサの特性を調整する調整工程とを行い、その後、前記シート基板２０を分割して前記複数個の角速度センサを一個毎に分離する分割工程を行うようにしたものである。 （もっと読む）

【課題】磁性層が圧縮する方向および引っ張られる方向の圧力を区別して測定し得る歪センサを提供する。
【解決手段】ガラス板などで形成されて可撓性を有する基板１１と、基板１１の表面に磁歪材料を用いて形成された磁性層１２と、磁性層１２に接続された一対の電極１３ａ，１３ｂとを備え、磁性層１２は、一様な磁場中で形成されることによって一軸性の磁気異方性が付与されて、電流方向に対する磁化容易軸の角度が４５°に規定されている。 （もっと読む）

【課題】結晶配向が所望の向きに揃えられた圧電体膜又は強誘電体膜を備えた圧電体デバイス又は強誘電体デバイスを効率良く製造する方法を提供する。
【解決手段】基板５２の上にイオンビームアシスト法で中間膜であるバッファ層（強誘電体デバイスの場合）、又は振動板５３（圧電体デバイスの場合）を形成し、中間膜５３上に下部電極５４２を形成し、下部電極５４２上に強誘電体膜（強誘電体デバイスの場合）、又は圧電体膜５４３（圧電体デバイスの場合）を形成し、強誘電体膜又は圧電体膜５４３上に上部電極５４１を形成する。下部電極５４２、強誘電体膜又は圧電体膜５４３は、エピタキシャル成長によって形成される。 （もっと読む）

【課題】駆動効率の向上により印加された角速度に対する検出感度が向上した薄膜微小機械式共振子ジャイロを提供することを目的とする。
【解決手段】アーム２，３とアーム２，３を連結する基部４とを有したシリコンからなる音叉と、アーム２，３の主面５上の中心線６，７より内側及び外側にそれぞれ離間するように設けられた第１、第２の電極１０，１２，１１，１３と、第１、第２の電極１０，１２，１１，１３上にそれぞれ設けられた第１、第２の圧電薄膜１４，１６，１５，１７と、第１、第２の圧電薄膜１４，１６，１５，１７上にそれぞれ設けられた第３、第４の電極１８，２０，１９，２１とから構成されたものである。 （もっと読む）

【課題】 超音波振動素子を接着する基板の厚さを保ち、耐衝撃性を確保しつつ、共振周波数を低減し、小型化できる超音波センサを実現する。
【解決手段】 基板１２の表面１２ａ、裏面１２ｂ及び端面１２ｃのうち、少なくとも１つの面から基板１２内部に向けて溝１４や穴部１５などの空洞を形成することにより、基板１２の厚さを保ったまま、基板１２の剛性を低減することができる。従って、超音波センサ１０の耐衝撃性を確保しつつ、共振周波数を低減することができる。つまり、基板１２の厚さを保ち、耐衝撃性を確保しつつ、共振周波数を低減し、小型化できる超音波センサ１０を実現することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の製造工程において、切断時におけるバリの発生があっても、それによって表裏面間における電極の短絡が発生しないようにする技術を提供する。
【解決手段】板状の圧電部材１０１の一方の面に、導通部１０４ａ〜１０４ｅによって接続された電極部１０３ａ〜１０３ｚを形成する。また、隣接する電極部間には、切り代１０を形成する。そして、圧電部材１０１の他方の面にも同様なパターンを形成する。ここで、表裏において、導通部１０４ａ〜１０４ｄと導通部１０７ａ〜１０７ｄとの位置が重ならず、さらに導通部１０４ｅと１０７ｅとの垂直部が重ならないようにすることで、導通部の切断時にバリが発生しても、圧電部材１０１の表裏における電気的な短絡が防止される。 （もっと読む）

【課題】強誘電性を示す新規な配位高分子、およびその製造方法、ならびにそれを用いた素子を提供する。
【解決手段】本発明の配位高分子は、ジチオカルバミン酸の誘導体と塩素イオンと銅イオンとによって構成された配位高分子であって、銅イオンが、ジチオカルバミン酸の誘導体および塩素イオンから選ばれる少なくとも１つによって架橋されている。上記ジチオカルバミン酸の誘導体は、炭素数が３以上の脂肪族炭化水素基が窒素原子に結合した構造を有する誘導体である。この配位高分子は、２つのジチオカルバミン酸誘導体を配位子として含む銅錯体と、塩化銅（II）とを、それらの溶液中で反応させることによって、形成できる。 （もっと読む）