【課題】本発明は、生産効率に優れ、生産性の高い水晶振動子の製造方法を提供することにあり、さらには、小型で精度の高い水晶振動子の製造方法を提供することにある。さらに、小型で精度の高い水晶振動子と物理量センサーを提供することにある。
【解決手段】水晶ウェハーを加工して、基部と基部から突出してなる振動脚を備えた水晶片を形成する水晶片形成工程と、基部を固定し振動脚を振動させて共振周波数を測定する振動測定工程と、水晶片の表面をウェットエッチング法によってエッチングして所望の共振周波数になるよう調整する追加エッチング工程と、所望の共振周波数に調整された水晶片上に電極を形成する電極形成工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】従来の線状の圧力検出装置では、圧力印加の有無を検知することはできるが、圧力印加された場所を検知することはできないという課題を有していた。
【解決手段】２本の線状の圧力応答手段９ａ、９ｂを隣接して配設し、感圧手段の長手方向の場所毎に、圧力応答手段が各々異なる感度を有することが本発明の特徴である。このため、外部からの圧力が印加された場合に、場所座標毎に、圧力応答手段９ａ、９ｂの応答電圧の比が異なるために、前記の比から場所を特定することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】圧電／電歪デバイスの耐衝撃性を高める。
【解決手段】相対向する一対の薄板部１２ａ及び１２ｂと、これら薄板部１２ａ及び１２ｂを支持する固定部１４と、一対の薄板部１２ａ及び１２ｂの先端部分に可動部２０ａ及び２０ｂを有するセラミック基体１６を具備した圧電／電歪デバイス１０Ａにおいて、可動部２０ａ及び２０ｂのうち、固定部１４に対向する部分を階段状に形成して、各取付面３４ａ及び３４ｂに段差２１０を設ける。また、固定部１４の内壁のうち、薄板部１２ａ及び１２ｂ近傍にそれぞれ切込み（切欠き）２１２を形成し、更に、切込み２１２の内壁のうち、薄板部１２ａ及び１２ｂ側の内壁に段差２１４を設ける。 （もっと読む）

本発明は、セミコンダクターオンインシュレーターと呼ばれるウエハ内に所定の厚さｄを有するキャビティ及び／又は膜（２４）を集合的に製造する方法に関連し、絶縁層上で厚さｄを有する少なくとも１つの半導体表面層を備え、この絶縁層自体は基板上に支持され、この方法は、前記表面層内に前記キャビティ及び／又は膜を形成するために、厚さｄを有する半導体表面層をエッチングする段階であって、この絶縁層が停止層を形成する段階を備える。
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本発明は、二導体技術を使用可能な横効果の少なくとも１本の棒（２）を含む、圧電測定素子（１）に関係する。本発明は、測定素子（１）の金属化面（５）、電極（６）及び線路（１５）が、ハウジング（１３）に対するその電気容量が同一であるように、横効果の１本以上の圧電棒（２）により実施される考えを基にしている。上記は、例えば、極（２２）の完全に対称的な設計により、または環境に対する両極（２２）の容量差に対応するコンデンサを一方の極（２２）からハウジング（１３）へ設けることにより、達成される。
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【課題】広い波長域に適用でき、かつ、応答が速く、稼動温度領域の広い熱型センサを開発する。
【解決手段】上記の目的を達成するために、本発明の熱応力波焦点化現象を用いた赤外線検知装置は、熱型センサの一種であるが、一般の熱型センサがセンサの温度上昇を利用する方法をとっているのに対し、入射赤外線の吸収熱量による衝撃的熱膨張により瞬間的に励起される熱弾性波を焦点化して電気信号に変換して計測しているため、温度上昇を利用するセンサに比べて１０００倍程度速く応答し、また、適用温度領域は、１０００℃以上でも稼動させることができ、かつ、構造が至って、簡便である事を特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 形成されるエッチング残渣を減らす。
【解決手段】 ウェットエッチング用プロテクト膜２を形成し、この上にレジスト膜３を形成した圧電ウェハ１０の表面を所定の外形パターンで露光し、露光された又は露光されなかったレジスト膜３を除去し、レジスト膜３が除去された箇所のウェットエッチング用プロテクト膜２を除去して露出する部分をウェットエッチングして貫通させ、圧電ウェハ１０上の全レジスト膜３を除去してウェットエッチング用プロテクト膜２にＮｉ膜４を形成し、貫通する圧電ウェハ１０の露出面Ｋに対してドライエッチングを行い、圧電ウェハ１０に形成したＮｉ膜４とウェットエッチング用プロテクト膜２とを除去する。 （もっと読む）

【課題】大容量のコンデンサを用いることなく小型低コスト化するとともに、応答性および感度温度特性の良好な角速度センサを得る。
【解決手段】圧電振動子１とこの圧電振動子１を含む発振回路で圧電振動子１を駆動するとともに、コリオリ力に起因する圧電振動子の振動によって生じる起電圧信号を差動増幅回路３で検出し、上記発振周期に同期してコリオリ力の変化に応じて振幅が変化する起電圧信号の節と腹以外のタイミングで検波タイミング生成回路６がタイミング信号を発生し、サンプルホールド同期検波回路７は差動増幅回路３の出力信号を同期検波する。直流増幅回路８はサンプルホールド同期検波回路７の出力を積分したり平滑化したりすることなく直接増幅する。 （もっと読む）

第１および第２の面を有する基板と、基板の第１の面上に配置されている第１の電極材料層とを含む、流体中で作動させるための微細加工デバイスを提供する。このデバイスは、第１の電極材料層上に配置されている圧電材料層と、圧電材料層上に配置されている第２の電極材料層とを有する。このデバイスは、また、第２の電極材料層上に配置され、第２の電極材料層の一部を流体から化学的または電気的のうちの少なくとも一方で分離する分離材料の層をも含む。あるデバイスは、分離材料の層上に配置されている導電性材料の層を含む。
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【課題】様々な視点から異常を自己診断することができるようにした音叉型振動ジャイロを提供する。
【解決手段】駆動脚１２_１，１２_２とベースとの対向面に駆動脚１２_１，１２_２の面内振動（ベース面と平行方向の振動）及び面外振動（ベース面と垂直方向の振動）を静電容量変化によって検出する電極３４_１，３４_２，３５_１，３５_２（ベース側；３７_１，３７_２，３８_１，３８_２）を形成し、検出脚１３_１，１３_２とベースとの対向面に検出脚１３_１，１３_２の面外振動を静電容量変化によって検出する電極３６_１，３６_２（ベース側；３９_１，３９_２）を圧電検出電極３２，３３とは別に形成する。自己診断回路はこれら電極の静電容量変化によって検出される各検出電圧を用いて異常診断を行う。 （もっと読む）