【課題】本発明は、音叉の主面に検知電極を設けた場合でも、出力信号の補正をすることができる角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明の角速度センサは、検知部２７と連続して音叉１１を構成する第１のアーム１２の長手方向の一端に、この第１のアーム１２の内側および外側に分岐する内側分岐部３３と外側分岐部３４を設けるとともに、外側分岐部３４に第１の調整部３５を設けた構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】使用場所の雰囲気に変化があった場合に、これに対処し得て、少なくとも信頼性の低い測定を継続することを防止し得る圧電／電歪膜型センサを提供すること。
【解決手段】薄肉ダイヤフラム部３と厚肉部２とを有し、それらによって空洞１０が形成されたセラミック基体１、及び、そのセラミック基体１の上に配設された、圧電／電歪体５と、その圧電／電歪体５を挟んだ上部電極６及び下部電極４と、を含む圧電／電歪素子１２、を備える圧電／電歪膜型センサ２０の提供による。この圧電／電歪膜型センサ２０は、圧電／電歪体５がアルカリ金属又はアルカリ土類金属を含有するとともに、上部電極６及び下部電極４が金又は白金を含有するところに特徴がある。 （もっと読む）

【課題】振動片に加わる力にかかわらず発振する音叉型圧電振動片、センサ発振回路および音叉型圧電振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】音叉型圧電振動片１０は、複数の振動腕１２と基部１４を備えている。振動腕１２は、互いに並列に配置されており、基端側が基部１４に接続している。そして音叉型圧電振動片１０は、励振電極１６を振動腕１２に設けるとともに、マウント電極１８を基部１４に設けている。このような音叉型圧電振動片１０の基部１４に薄膜抵抗２２ａを設けている。この薄膜抵抗２２ａは、複数ある励振電極１６のうちのいずれか１つと導通している。そして基部１４には、薄膜抵抗２２ａに対向した部分に孔部２４を設けてある。 （もっと読む）

【課題】検出手段に特殊なＱＶアンプを用いる必要がなく、出力のドリフトによる検出精度の劣化を防止することが可能な角速度センサを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための角速度センサは、基板６２にＩＤＴ６４と反射器６６を形成した弾性表面波素子片６０と、前記基板６２における一方の端部に、振動腕２２ａ，２２ｂの延長線が前記弾性表面波素子片６０により励起される弾性表面波の伝搬方向と交差する位置関係となるように固定された音叉型振動片２０と、前記音叉型振動片２０からの出力信号の周期に同期して変化する前記弾性表面波素子片６０からの出力信号の周波数変化に基づいて角速度を検出する検出手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】温度ドリフトを低減し、製造歩留まりを向上させることが可能な圧電デバイスを提供することを目的とする。
【解決手段】たとえば、中央基部７と、中央基部７から前後へ延出し、屈曲振動する１対の検出用振動アーム８ａ、８ｂと、検出用振動アーム８ａ、８ｂに直交して中央基部７から左右へ延出する１対の連結アーム９ａ、９ｂと、検出用振動アーム８ａ、８ｂに平行して連結アームの先端に設けられた基部から前後に延出し、屈曲振動する２対の駆動用振動アーム１１ａ、１１ｂ、１２ａ、１２ｂと、電極を有する基板１３と、中央基部７を支持し、中央基部７に一端が固定され、基板１３の電極に他端が固定された金属タブテープ１４と、金属タブテープ１４に設けられた樹脂２１と、を備えた圧電振動ジャイロ。 （もっと読む）

【課題】検出手段に特殊なＱＶアンプを用いる必要がなく、出力のドリフトによる検出精度の劣化を防止することが可能な角速度センサを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための角速度センサは、両端に基部５２，５４を有し、当該２つの基部５２，５４間に振動部５６を有し、一方の基部５２を固定端、他方の端部５４を自由端として設定された双音叉型振動片５０と、前記自由端に、振動腕２２ａ，２２ｂの延長線が前記振動部５６の延長線と交差する位置関係となるように固定された音叉型振動片２０と、前記音叉型振動片２０からの出力信号の周期に同期して変化する前記双音叉型振動片５０からの出力信号の周波数変化に基づいて角速度を検出する検出手段とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動子の振動の漏れや外部の振動の振動子への影響を抑制することができる角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、ベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する音叉型振動子（１０）と、音叉型振動子（１０）のベース部を表面で支持する支持部（２０）と、支持部（２０）の表面と反対側の面である裏面に設けられた防振部（４０）と、支持部（２０）を防振部（４０）を介し実装する実装部（３０）と、を具備することを特徴とする角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを有効に防止しつつ、圧電振動片に対するワイヤボンディングの接合強度を向上させ、かつ、優れた振動特性を有する圧電デバイスおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】ワイヤボンディングされた圧電振動片３２と、この圧電振動片３２が接着剤４４を用いて接合された被接合体４５とを備えた圧電デバイスであって、圧電振動片３２の接合面と被接合体４５の接合面との間には、圧電振動片３２のワイヤボンディングされた位置６１ａに対応して、少なくとも接着剤４４よりも硬い硬質部材７０が介在しており、硬質部材７０は、圧電振動片３２または被接合体４５のいずれか一方あるいは双方と接合されていない。 （もっと読む）

【課題】 小型、高機能で低コストな圧電単結晶振動子およびこの圧電単結晶振動子を用いて構成された圧電振動ジャイロを提供することにある。
【解決手段】 上面の基準電位電極１６ａは付加質量部に形成されたスルーホール１２ａを介して下面の基準電位電極１６ｂと電気的に接続され、また上面の検出電極２０ａはスルーホール１３ａを介して下面の検出電極２０ｃと電気的に接続することにより、配線する電極を削減すること、または回路基板との接続点数を削減することを可能にする。 （もっと読む）

【課題】センサ感度の悪化を防止し、低コストで得られる圧力センサの製造方法および圧力センサを提供する。
【解決手段】圧力センサ１０は、圧電基板１４の主面にＩＤＴ１６を設けたＳＡＷ素子片と、圧電基板１４の主面１４ａに接合し、ＩＤＴ１６に対向した箇所に凹陥部４２を備え、熱膨張係数が圧電基板１４と異なっている第１固定基板４０と、圧電基板１４の裏面１４ｂに接合し、熱膨張係数が圧電基板１４と異なり、圧入口５４を備えた第２固定基板５０とを備えた構成である。 （もっと読む）