【課題】圧電素子の導通構造に関し、格段に小型化できるとともに容易に製造でき、エネルギ効率も低下しない振動体、圧電アクチュエータ、電子機器、および振動体の製造方法の提供。
【解決手段】圧電素子３０Ａの電極体表面部３５１に形成された電極パターン３１１〜３１５は、電極体表面部３５１と、圧電素子３０Ａ，３０Ｂを保持する保持体２１の保持体体表面部２１２０とに亘って形成された導通パターン４１１（代表図には不図示の４１２，４１４も）により、圧電素子３０Ａの外部に引き出されている。この導通パターン４１１（４１２，４１４も）の形成には、常温では導電性粒子を含有した液状物をインクとするインクジェット法が用いられ、当該インクを乾燥固化させることにより導電性粒子を相互接触させて、導通パターン４１１（４１２，４１４含）が形成されている。 （もっと読む）

【課題】下部電極膜、圧電膜、上部電極膜を積層してなるメンブレンを有する圧電型メンブレンセンサにおいて、上下の電極膜を分割することなく、出力電荷量を大きくする。
【解決手段】メンブレン５０の撓みにおける中立軸Ｊがメンブレン５０内にて圧電膜３０）を跨いで圧電膜３０よりも上側に位置する部位と下側に位置する部位とが形成されるように、部分的に膜６０を付加してメンブレン５０の積層構造を部分的に異ならせることにより、メンブレン５０の撓み時に圧電膜３０に生じる応力がメンブレン５０の全面領域に渡って同極性となるようにした。 （もっと読む）

【課題】簡単な構造で質量調整やバランス調整も容易であり、極端に精度の高い加工を必要としない。
【解決手段】胴部２の表裏方向に当たる板面厚さ方向と、胴部２の上下方向に当たる板面高さ方向と、胴部２の左右方向に当たる板面幅方向とを設定した場合、この板面幅方向に並列配置した中央脚４とその両側の外部脚５、６からなる３脚の振動脚３を胴部２を中心として板面高さ方向に対称に備えた計６脚の振動ジャイロ１において、外部脚５、６に板面幅方向の振動を励起する駆動電極７、８を備えると共に板面厚さ方向の振動を検出する検出電極９、１０を備え、中央脚４に板面幅方向の振動を検出する検出電極１１を備えた。 （もっと読む）

【課題】従来の貴金属を用いた高分子アクチュエータに比べて、コスト的に安価で、短時間で簡単に製造可能な高分子アクチュエータおよびその製造方法を提供する。
【解決手段】高分子化合物からなるフィルムと、当該フィルムの両面に形成されている電極とを含み、前記電極間に電圧を印加することによって、前記フィルムを屈曲変形させる高分子アクチュエータにおいて、前記電極として、高分子バインダと、その中に分散されているカーボン粉末とを含んでなる電極を用いる。 （もっと読む）

【課題】ダイヤフラムと感圧素子との接触による精度劣化を生じさせることの無い圧力センサ用ダイヤフラムを提供する。
【解決手段】感圧素子として圧電振動片３０を搭載する圧力センサ用のダイヤフラム２０であって、可撓部となる薄肉部２２の一方の面に、前記圧電振動片３０を固定するための対を成す支持部２４を有し、対を成す前記支持部２４間に、前記薄肉部２２を厚肉化するための突出部２６を構成したことを特徴とする。また、このような特徴を有する圧力センサ用ダイヤフラム（ダイヤフラム）２０では、前記突出部２６は、前記薄肉部２２の他方の面のみに形成することが望ましい。 （もっと読む）

【課題】 圧電単結晶振動子の実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電単結晶振動子およびこの圧電単結晶振動子を用いて構成された圧電振動ジャイロを提供することにある。
【解決手段】 圧電単結晶振動子１の外周部に接する電極の一部に切り欠きを形成し、切り欠き部１１ｈに導電接着剤１９を塗布して一方の主面上に形成された駆動電極１３ｂと残り片方の主面上に形成された駆動電極１３ｄとが電気的に接続されたことを可能とする。 （もっと読む）

【課題】ＦｅＲＡＭと特定のセンサとが混載された新規な半導体装置を提供すること。
【解決手段】本発明にかかる半導体装置１０００は、半導体基板１０と、前記半導体基板１０に形成されたトランジスタ１４と、前記トランジスタ１４を覆う層間絶縁層１６と、前記層間絶縁層１６の上方に形成された強誘電体キャパシタ３０であって、第１電極３４と、強誘電体層３６と、第２電極３８とを有する強誘電体キャパシタ３０と、前記強誘電体キャパシタ３０を覆う、前記層間絶縁層１６とは別の層間絶縁層４０と、前記半導体基板１０の上方に形成されたセンサであって、圧力センサ、焦電センサまたは磁気センサのいずれかであるセンサ１００と、を含む。 （もっと読む）

【課題】感度調整を低ノイズで実現できる検出装置、ジャイロセンサ等の提供。
【解決手段】検出装置は駆動回路４０と検出回路６０を含む。検出回路６０は、振動子１０からの出力信号を増幅する増幅回路７０と、ゲインを可変に制御して感度調整を行う感度調整回路８０と、参照信号ＲＳに基づいて同期検波を行う同期検波回路１００を含む。感度調整回路８０は、同期検波回路１００の前段側に設けられる。感度調整回路８０は、可変ゲインアンプとして動作すると共にハイパスフィルタとして動作する。 （もっと読む）

【課題】脚部を励振しない状態で角加速度を検出する。
【解決手段】慣性センサ素子１は、板状の基部２と、第１、第２の検出脚部３，４と、枠状の支持部５と、第１の検出脚部３に形成された第１の貫通孔６と、第２の検出脚部４に形成された第２の貫通孔７と、検出電極とを備えている。角加速度検出手段は、角加速度による力に応じて発生した第１、第２の検出脚部３，４の歪みによる電圧信号を検出電極から受けて、この電圧信号を基に角加速度を検出する。 （もっと読む）

本発明は２つの表面波シングルゲートレゾネータと活性の電子回路との接続体から成る発振器回路に関する。２つのレゾネータは並列に接続されても直列に接続されてもよいが、高周波数の反共振または高周波数の共振が発生するようにする。ここで、例えばレゾネータに直列または並列に接続された個々のキャパシタンスが用いられ、インダクタンス素子が必要ない。各レゾネータはインターディジタルトランスデューサを含む。各インターディジタルトランスデューサのアパーチャ、フィンガ数、電極層の厚さなどの特性および伝搬方向は、接続体の温度‐位相特性の変化が他の素子の温度‐位相特性の異なる符号にともなって生じるように選定される。これは電子回路の負の差動抵抗の値を選定することによっても達成される。
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