【課題】圧電振動ジャイロセンサの感度を維持しつつ、その薄型・低背化を図りかつ落下等の衝撃による圧電振動ジャイロ素子の破損を防止する。
【解決手段】圧電振動ジャイロモジュール１は、検出用振動アーム及び駆動用振動アームから引き出された電極パッド及びその上面に形成された金属バンプ１０を中央基部４に有する圧電振動ジャイロ素子２と、ベースフィルム１１の表面に接着層１３を介してリード１２を積層したフレキシブル基板３とを備える。金めっきを施したリード先端の接続部１４と対応する金属バンプとを直接接合することにより、圧電振動ジャイロ素子をフレキシブル基板に実装する。圧電振動ジャイロセンサ６１は、フレキシブル基板の圧電振動ジャイロ素子を実装した領域を浮かせるように、圧電振動ジャイロモジュールをパッケージ６２内に収容する。 （もっと読む）

【課題】小型に構成でき、比較的簡単な構成で、感度の良好な加速度センサを提供すること。
【解決手段】発振回路１１０と、フィルタ回路１２０と、このフィルタ回路１２０から出力される信号を整流する整流回路１３０と、この整流回路１３０から出力される信号を積分する積分回路１４０と、を有する加速度センサ１００である。ここで、発振回路１１０は、１つの第１の音叉型圧電振動片１１１を備えている。また、フィルタ回路１２０も、１つの第２の音叉型圧電振動片１２１を備えている。この第２の音叉型圧電振動片１２１は、発振回路１１０の第１の音叉型圧電振動片１１１と構成が同じであるが、発振回路１１０の第１の音叉型圧電振動片１１１とは、その振動腕の延びる方向が逆方向である。 （もっと読む）

【課題】半導体基板を用いて角速度センサを構成する場合において、圧電膜に発生する電荷を中和して、高感度化を図ることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】摂動錘６と対向する位置において、圧電膜５の下に下部電極４が配置された構成とする。このような構成とすれば、定在波によって圧電膜５および摂動錘６が上下に振動するときに、圧電膜５の上下に発生した電荷により、摂動錘６の上下振動の変位量が制限されてしまうことを抑制することが可能となる。これにより、摂動錘６の上下振動を大きくすることが可能となり、角速度センサ１の高感度化を図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】 圧電単結晶振動子の実装信頼性を確保しつつ、小型、低コストな圧電単結晶振動子およびこの圧電単結晶振動子を用いて構成された圧電振動ジャイロを提供することにある。
【解決手段】 圧電単結晶振動子１において、４つのアーム部１２ａ、１２ｂ、１２ｃ、１２ｄがつながっている中央部に、検出電極１５、１６、１７、１８および基準電位電極１９を覆い隠すように形成されている絶縁膜２０により、各々の電極は電気的に絶縁され、他電極との短絡不良の発生を防ぐことができ、信頼性を高めつつ、歩留の向上を可能にする。 （もっと読む）

【課題】 容易に集積回路素子と集積回路素子用容器体との間に不要物が入り込まないようにする。
【解決手段】 集積回路素子２０を搭載する凹部３０Ｃを有する集積回路素子用容器体３０の該凹部３０Ｃの上方に、圧電振動素子１１を内部に搭載して封止された圧電振動子１０が電気的及び機械的に接続された圧電発振器１００であって、凹部３０Ｃに集積回路素子２０が搭載され、圧電振動子１０と集積回路素子用容器体３０との間に形成される間隙５０を跨いで設けられるバンド部４０を備え、バンド部４０が熱により収縮する熱収縮性材からなり、間隙５０を塞ぐように構成されている。 （もっと読む）

【課題】小型化・回路との集積化が図れる角速度センサを提供する。
【解決手段】圧電膜４の表面側に摂動錘兼上部電極６を形成すると共に、裏面側に下部電極３を形成する。また、摂動錘兼上部電極６の両側に検出用の櫛歯電極７〜１０を備える。このような構成の角速度センサは、摂動錘兼上部電極６に対して直接駆動電圧を印加することにより、摂動錘兼上部電極６を上下方向（基板垂直方向）に振動させることができる。このため、摂動錘兼上部電極６の振動に基づいて角速度を検出することが可能となる。したがって、従来のように摂動錘を中心とした一方向に沿って駆動用の櫛歯電極および反射器を並べる必要がなく、櫛歯電極７〜１０を配置するのみで良いため、角速度センサの小型化を図ることができ、回路と共に角速度センサを構成する場合には、回路との集積化も図ることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】振動片の面外屈曲モード振動の駆動振動への影響を防止して、温度ドリフトの発生を抑制することが可能な小型のジャイロ振動片を提供する。
【解決手段】本発明のジャイロ振動片１０は、基部１２、及び連結アーム１３，１４と、二つの検出アーム１６Ａ，１６Ｂと、連結アーム１３，１４の先端と接続される駆動アーム１５Ａ，１５Ｂ，１５Ｃ，１５Ｄとが形成されている。ジャイロ振動片１０は、その駆動振動周波数ｆｄと面外屈曲一次モード振動周波数ｆｓ１とが、ｆｄ×２．２≦ｆｓ１≦ｆｄ×２．８、またはｆｄ×３．２≦ｆｓ１≦ｆｄ×３．８のいずれかの関係となるように形成されている。 （もっと読む）

【課題】回転角速度の測定を容易にし、小型化を図ることができる角速度センサ素子、及びこれを利用した角速度センサを提供すること。
【解決手段】一対の振動腕と、この一対の振動腕を支持する基部５１とを備えた音叉型圧電振動片からなり、コリオリ力を受けることで生ずる電荷を検出用電極２０により検出するようにした角速度センサ素子であって、一対の振動腕のそれぞれに励振電極が設けられており、基部５１の主面に圧電薄膜６０が設けられ、圧電薄膜６０に検出用電極２０が設けられている。 （もっと読む）

【課題】小型に構成でき、比較的簡単な構成で、感度の良好な加速度センサを提供すること。
【解決手段】圧電材料で形成した基部５１と、この基部と一体に形成され、かつ前記基部から平行に延びる少なくとも一対の振動腕３４，３５とを備える音叉型圧電振動片３２と、該圧電振動片を発振させる発振手段１１とを有し、前記各振動腕の延びる方向が、検出すべき加速度が作用する方向Ｇと一致するように前記圧電振動片３２を配置し、前記加速度が作用した際に、前記圧電振動片の周波数変化を検出する構成。 （もっと読む）

【課題】不要信号を効率的に除去できる検出装置、ジャイロセンサ、電子機器等の提供。
【解決手段】検出装置は駆動回路と検出回路を含む。検出回路は、振動子からの出力信号を増幅する増幅回路と、増幅後の信号に対して、参照信号に基づいて同期検波を行う同期検波回路と、離散時間型フィルタを有し同期検波後の信号のフィルタ処理を行うフィルタ部を含む。駆動回路又は検出回路は、離散時間型フィルタのサンプリング用のクロックの位相を調整し、離散時間型フィルタでのサンプリング点を調整するサンプリング点調整回路を含む。サンプリング点調整回路は、同期検波回路による同期検波により２ｆｄの周波数帯域に現れる不要信号のゼロクロス点に、サンプリング点を設定する。 （もっと読む）