【課題】複数の検出軸の慣性力を検出でき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。
【解決手段】第１アーム２を第２アーム４に略直交方向に連結して形成した２つの直交アームと、２つの第１アーム２を支持する支持部６と、支持部６に一端を連結するとともに他端を実装基板（図示せず）に固定する２つの固定用アーム８とを有する検出素子１を備え、第２アーム４には第２アーム４自身と対向するまで折曲した対向部１６を設け、第２アーム４の先端部には錘部１１を連結し、この錘部１１に凹部１２を設けるとともにこの凹部１２に第２アーム４の先端部を連結した構成である。 （もっと読む）

【課題】感度を向上できるようにする。
【解決手段】加速度センサ素子１０は、パッケージ１２に圧電振動体１４を接合した支持部材２４が収容してある。圧電振動体１４は、屈曲振動する一対の振動腕１８が基部１６と一体に形成してある。支持部材２４は、略クランク状に折曲してあって、一端部に圧電振動体１４の基部１６を接合する台座部２８を備えている。支持部材２４は、他端側に設けられて、台座部２８に接合した圧電振動体１４の先端連結部２０の側方に位置させた保護部３０を有する。 （もっと読む）

【課題】芯電極と外側電極間に高電圧を印加して分極を行うと微少な欠陥があった場合、可撓性感圧体の全てが分極できない。また分極電極の通路に可撓性感圧体を載置して分極した場合、特性ばらつきが生じる。
【解決手段】芯電極１１に周設された可撓性感圧体１２と、前記可撓性感圧体１２の全周に接触するように複数の導電性繊維で構成された導電体１３と、前記芯電極１１と前記導電体１３に接続された電圧印加手段１７と、前記可撓性感圧体１２を加熱する加熱手段１４と、前記可撓性感圧体１２を前記導電体１３に接触しながら移動させる移動手段１５とを設けることによって、可撓性感圧体１２に均一に導電体１３を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】本発明の目的は、従来２種以上のモノマーがかかわっていた蒸着重合について、オリゴマーを用いる蒸着重合を考慮することにより、組成の変動がなく、物性を高め、圧電性能に優れた、高感度の、有機圧電素子を製造管理がし易く製造品質が安定に、高収率、安価、容易に、製造できる超音波探触子の製造方法を提供することにある。
【解決手段】圧電性を付与する高分子の前駆体を加熱蒸発させ基体上に衝突させながら重合させ有機圧電素子を製造することを特徴とする超音波探触子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】加速度が印加されてから検出素子による検出が成されるまでの反応性、及び検出感度が共に良好な加速度センサを提供する。
【解決手段】上記課題を解決するための加速度センサは、固定端１６と自由端１４との間に前記固定端１６及び前記自由端１４に比べて肉厚の薄い梁部１８を形成した片持ち梁１２と、前記梁部１８の撓みに伴って付加される応力を電気信号に変換して出力可能な双音叉型圧電振動片２２とを有する加速度センサであって、双音叉型圧電振動片２２の基部２６，２４を前記固定端１６と前記自由端１４とのそれぞれに固定し、前記双音叉型圧電振動片２２と前記梁部１８との間には間隙を設け、前記梁部１８は平板状として幅方向に沿った溝２０を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 小型に構成することができ、応答性に優れた角速度センサと、角速度センサ用のカンチレバーを提供すること。
【解決手段】 固定側に配された第１の支軸部１４と、該第１の支軸部に沿って揺動する第１の揺動部１２と、該第１の揺動部に配された第２の支軸部１５と、該第２の支軸部に沿って揺動する第２の揺動部１３と、該第２の揺動部に保持され回転駆動される回転体３５とを備え、前記第１の揺動部１２と前記固定側との間、および前記第１の揺動部１２と前記第２の揺動部１３との間にそれぞれ設けられ、前記第１の支軸部と前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する第１の回転角速度ω１と、該第１の回転角速度の作用する前記軸と、前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する第２の回転角速度ω２とが、それぞれ働くことにより生じる前記各揺動を検出するための第１および第２の検出体４０−１，４０−２とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電振動ジャイロセンサの感度を維持しつつ、その薄型・低背化を図りかつ落下等の衝撃による圧電振動ジャイロ素子の破損を防止する。
【解決手段】圧電振動ジャイロモジュール１は、検出用振動アーム及び駆動用振動アームから引き出された電極パッド及びその上面に形成された金属バンプ１０を中央基部４に有する圧電振動ジャイロ素子２と、ベースフィルム１１の表面に接着層１３を介してリード１２を積層したフレキシブル基板３とを備える。金めっきを施したリード先端の接続部１４と対応する金属バンプとを直接接合することにより、圧電振動ジャイロ素子をフレキシブル基板に実装する。圧電振動ジャイロセンサ６１は、フレキシブル基板の圧電振動ジャイロ素子を実装した領域を浮かせるように、圧電振動ジャイロモジュールをパッケージ６２内に収容する。 （もっと読む）

【課題】芯電極と外側電極間に高電圧を印加して分極を行うと微少な欠陥があった場合、可撓性感圧体の全てが分極できない。また分極電極の通路に可撓性感圧体を載置して分極した場合、特性ばらつきが生じる。
【解決手段】芯電極１１に周設された可撓性感圧体１２と、前記可撓性感圧体１２の全周で接触するように複数の玉鎖で構成された導電１３と、前記芯電極１１と前記導電体１３に接続された電圧印加手段１７と、前記可撓性感圧体１２を加熱する加熱手段１４と、前記可撓性感圧体１２を前記導電体１３に接触しながら移動させる移動手段１５とを設けることによって、可撓性感圧体１２に均一に導電体１３を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】芯電極と外側電極間に高電圧を印加して分極を行うと微少な欠陥があった場合、可撓性感圧体の全てが分極できない。また分極電極の通路に可撓性感圧体を載置して分極した場合、特性ばらつきが生じる。
【解決手段】芯電極１１に周設された可撓性感圧体１２と、前記可撓性感圧体１２の全周に接触するように複数の導電性の箔で構成された導電体１３と、前記芯電極１１と前記導電体１３に接続された電圧印加手段１６と、前記可撓性感圧体１２を加熱する加熱手段１４と、前記可撓性感圧体１２を前記導電体１３に接触しながら移動させる移動手段１５とを設けることによって、可撓性感圧体１２に均一に導電体１３を接触させることができるので全周囲から均一に満遍なく分極することが可能となる。このため、分極できていない部分がなく、特性ばらつきのない安定した特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】 小型に構成することができ、応答性に優れた角速度センサと、角速度センサ用のカンチレバーを提供すること。
【解決手段】 固定側に配された支軸部２３と、該支軸部に沿って揺動する揺動部２４と、該揺動部に保持され回転駆動される回転体３５とを備えており、前記支軸部２３と前記回転体の回転軸Ｍ１とが交差されており、前記揺動部２３と前記固定側との間に設けられ、前記支軸部と前記回転軸とに交差する軸の軸回りに作用する回転角速度が働くことにより生じる前記揺動を検出するための検出体３１と有する。 （もっと読む）