【課題】実装部の長辺を縮小することが可能な角速度センサを提供する。
【解決手段】本発明は、それぞれがベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する第１および第２音叉型振動子（１０ａ、１０ｂ）と、第１および第２音叉型振動子を実装する実装部（３０）と、を具備し、第１音叉型振動子（１０ａ）のアーム部の先端は第２音叉型振動子（１０ｂ）の側面に対向しており、第１音叉型振動子（１０ａ）と実装部（３０）を接続する第１ワイヤ（４２ａ）は第１音叉型振動子（１０ａ）の幅方向に引き出されることを特徴とする角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】複数の音叉型振動子間の干渉ノイズを低減することが可能な角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、それぞれがベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する複数の音叉型振動子を具備する角速度センサに関する発明であり、前記複数の音叉型振動子の各音叉型振動子間のアーム部の長さの差｜Ｌ１−Ｌ２｜が複数の音叉型振動子のアーム部の長さの平均Ｌ_Ａｖｇの１％以上であることを特徴とする角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】小型で、数十ｋＨｚ帯の共振周波数を得ることができる角速度センサを提供する。
【解決手段】角速度センサ１００は、基板２とその上に形成された酸化物層３と半導体層４とを有するＳＯＩ基板１と、半導体層４と酸化物層５を加工して形成された音叉型の振動部１０と、屈曲振動を生成する駆動部２０と、角速度を検出する検出部３０と、を含む。振動部１０は、支持部１２から片持ち梁状に形成された二本のビーム部１４ａ，１５ｂとを有し、駆動部２０は二本のビーム部の上方に１対づつ形成され、第１電極層２２、圧電体層２４、第２電極層２６とを有し、検出部３０は、二本のビーム部の上方にそれぞれ１つづつ形成され、各検出部は、前記１対の駆動部の間に配置され、かつ、第１電極層３２、圧電体層３４、第２電極層３６とを有する。 （もっと読む）

【課題】漏れ振動調整加工工程に要する時間を短縮することができる圧電振動子の製造方法及びこの圧電振動子を用いた振動ジャイロを提供する。
【解決手段】振動子片の一部に対して振動方向などの特性を調整する漏れ振動調整加工を行う圧電振動子の製造方法であって、少なくとも一つの振動子片を、圧電材料からなる母圧電基板に結合部を介して一体に形成する母圧電基板形成工程と、母圧電基板に一体に形成されている振動子片に電極を形成する電極形成工程と、電極が形成された振動子片を基台に仮固定して、振動子片の一部に対して漏れ振動調整加工を行う漏れ振動調整加工工程と、振動子片を結合部で切断し、母圧電基板から分断することによって圧電振動子を得る切断工程とを有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の音叉型振動子間の干渉ノイズを低減することが可能な角速度センサを提供すること。
【解決手段】本発明は、それぞれがベース部とベース部から延びる複数のアーム部を有する複数の音叉型振動子を具備する角速度センサに関する発明であり、前記複数の音叉型振動子の各音叉型振動子間の共振周波数の差｜ｆ１−ｆ２｜が複数の音叉型振動子の共振周波数の平均ｆ_Ａｖｇの２％以上であることを特徴とする角速度センサである。 （もっと読む）

【課題】取り付けが容易で、設計内容に左右されず常に性能を最大限発揮でき、しかも高周波数で変動する燃焼圧力に正確に追従することができる圧力センサを備える、圧力センサ付き燃料噴射器を提供することを目的とする。
【解決手段】燃焼室内に突設された燃料噴射器に薄膜状の圧電素子１からなる圧力センサ１０を取り付けた圧力センサ付き燃料噴射器。また、圧電素子１に窒化アルミニウムを用いた圧力センサ付き燃料噴射器。また、圧電素子１の表面に耐熱性や耐酸化性を有する金属膜６を形成する圧力センサ付き燃料噴射器。 （もっと読む）

【課題】バランス調整用のレーザ光がパッケージベースにあたるのを防止して、精度を向上した圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１０は、バランス調整部４８を備えた圧電振動片４０と、バランス調整部４８と積層方向に重なる位置に少なくとも設けた絶縁基板３２と、圧電振動片４０と絶縁基板３２とに接合し、圧電振動片４０を絶縁基板３２から離して保持するリード３６と、凹陥部１８を有し、この凹陥部１８の底面に絶縁基板３２を配設したパッケージベース１４と、パッケージベース１４の上面に接合した透明な蓋体２４とを備えた構成である。 （もっと読む）

【課題】パッケージベースと蓋体の接合時に内蔵電子部品が高温になるのを防止するとともに、蓋体に供給される赤外線を効率的に使用する蓋体、圧電デバイスおよび電子デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電デバイス１０は、凹陥部３６を備えたパッケージベース３２と、凹陥部３６内に搭載した圧電振動片７０およびこの圧電振動片７０に導通したＩＣチップ１４と、パッケージベース３２に接合材６６を介して設けられ、凹陥部３６を封止する光透過性の蓋体２０とを有している。そして、この蓋体２０は、凹陥部３６の方に向いた表面に赤外線反射膜２６を備えている。また蓋体２０は、凹陥部３６とは反対に向いた蓋体２０の表面に赤外線反射防止膜を備えることもできる。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロにおいて、振動子の離調度調整に伴って生じる面外方向への振動漏れを低減する。また、漏れ振動調整を簡易な加工によって行う。
【解決手段】振動子の稜線部分を加工して形成される傾斜面の傾斜角を所定角度範囲とすることで、離調度調整に伴って生じる面外方向への振動漏れを低減する。また、稜線部分に対して単一のレーザ光を所定角度範囲内の入射角で照射することで、傾斜面の加工を簡易に行う。振動子の漏れ振動の程度を、角速度変化の割合であるドリフト量との関係で定めることによって、傾斜面の傾斜角を所定角度範囲とし、ドリフト量を抑制する。 （もっと読む）

【課題】ＲＦＩＤを有する半導体装置において、駆動電源のための電池の経時的劣化に伴う電池の残存容量の確認や電池の交換作業をすることなく、個体情報を送受信することができ、且つ駆動するための電源を外部からの電波または電磁波（搬送波）の電力が十分でない場合であっても良好な個体情報の送受信状態を維持するＲＦＩＤを有する半導体装置を提供することを課題とする。
【解決手段】ＲＦＩＤにおける電力を供給するための電源としてバッテリーを設け、前記バッテリーに発電素子より得られる電力を充電する。なお、前記発電素子は立体構造を有する微小構造体であり、ゼーベック効果を利用する熱電素子、振動エネルギーを利用する圧電素子、電磁誘導を利用した素子等を用いることができる。 （もっと読む）