【課題】
複数の圧電振動体素子を一部分に集積化した場合、１つの圧電振動素子の振動が他の圧電振動素子に伝達されないようにする。
【解決手段】
触覚センサ２の土台１０上には、圧電振動素子１２が集積化されている。圧電振動素子１２は、土台１０上に、導電性テープ２２と導電性エポキシ接着剤を介して固定されている。導電性エポキシ接着剤２４は、圧電振動素子１２から土台１０に伝達される振動を低減する。 （もっと読む）

【課題】 ＰＺＴ膜形成時の熱処理時やアクチュエータとしての連続駆動時に、基板材料とＰＺＴ膜との接合界面の強度低下によるハクリやクラックなどが発生しない、高信頼性を有する圧電特性の優れた圧電膜積層構造体およびその製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 Ａｌを３〜１０％含有している金属基板１を使用し、金属基板１の上にＡｌを主成分とする第１の中間層２を熱による拡散により形成する。 （もっと読む）

【課題】 干渉ノイズの発生を抑えて特性の劣化が少ない、生産性の良い、高性能、低価格の圧電振動ジャイロを提供することを課題とする。
【解決手段】 圧電振動子１１、圧電振動子２１を音叉形状とし、音叉のアーム部１１ａとアーム部２１ａの形状のみが異なる複数の前記圧電振動子を、互いに直交させた軸上に配置し、実装固定方法を同一にする為に、音叉のアーム部以外の形状を同一とする。 （もっと読む）

【課題】駆動モードにおける励振効率を低下させることなく、角速度の検出感度を高めることができる振動片を提供する。
【解決手段】振動片１０は、圧電材料からなり、Ｚ軸方向に厚みを有し、直交するＸ軸及びＹ軸面内に展開される振動片であって、Ｘ軸方向に延在される梁部５０と、梁部５０からＹ軸方向に垂直に延在され駆動電極を有する一対の駆動腕２０，３０と、一対の駆動腕２０，３０の中央に、梁部５０からＹ軸方向に垂直に延在され検出電極を有する検出腕４０と、梁部５０に連続し、主面６０ａに駆動電極及び検出電極それぞれが接続される電極端子が設けられる基部６０と、を備え、静止時において、駆動腕２０，３０がＸ軸方向に屈曲振動し、角速度が加えられた際に、検出腕４０がコリオリ力によりねじれ振動が誘発され、このねじれ振動により発生する電荷を検出する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、所定の位置に溝部を形成することが可能な水晶片の製造方法を提供と、信頼性の高い溝付きの水晶デバイスを提供することを目的としている。
【解決手段】 水晶基板の平面上に、水晶片の外形を形成するための輪郭と溝部を形成するための輪郭とで構成されるマスク層を形成し、水晶基板をドライエッチング法によってエッチングし、水晶片の外形と溝部とを形成する水晶片の製造方法であって、マスク層における水晶片の外形同士の間隔に対応する開口部の幅を、マスク層における溝部に対応するに開口部の短手方向の幅に対して大きい値に設定したマスク層を水晶基板の平面上に形成する工程と、水晶基板をドライエッチング法により一回エッチング加工する工程と、マスク層を除去する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】圧電センサケーブルの接続装置取り付け時に、特殊工具によるカシメやハンダづけ、ケーブルの切除作業等が必要で、接続が確実でないと電気的トラブルも起こる。
【解決手段】接続端子本体２１は、導電体を針状に形成して中心端子２２と、導電体を環状に形成して先端を尖らせ環状刃形状にした外側端子２３を、端子絶縁体２４で両者を絶縁しつつ、それぞれの中心が同軸になるように配置し、接続端子本体２１と外側端子２３とは接触することで電気的な導通が確保されるとともに、接続端子本体２１には、中心端子２２と外側端子２３を囲むようにネジ筒２５が形成され、このネジ筒２５に螺合する雌ネジ部２６を有する筒状体２７と、筒状体２７よりも小径で雌ネジ部２６内に収納可能な楔体２８とが設けられて圧電センサケーブルの固定手段となっている。 （もっと読む）

【課題】検出感度が高く、正確な加速度の測定を実現する加速度センサ素子と、この加速度センサ素子を備え、小型化及び薄型化を実現する加速度センサを提供する。
【解決手段】加速度センサ素子１０は、水晶からなり、Ｚ軸方向に厚みを有し、直交するＸＹ平面内に展開される水晶基板２０に形成される加速度センサ素子１０であって、水晶基板２０の凹部２８の底部の薄肉部に、Ｙ軸方向に一対の振動腕３１，３５が延在される双音叉型振動片３０が形成され、この双音叉型振動片３０が屈曲振動しているときにＺ軸方向の加速度が加えられた際に、双音叉型振動片３０がＺ方向に撓むことによって生ずる共振周波数の変化から加速度を検出する。 （もっと読む）

【課題】対象物を移動させる際に、重心の移動を少なくし、これによって、圧電／電歪デバイスを固定する部分で発生する反力を小さくし、対象物を駆動する際の制御を容易にし、駆動周波数を高く（応答速度を速く）できるようにする。
【解決手段】略直方体の回転体１２と、該回転体１２の対向する一対の面１２ａ及び１２ｂのうち、一方の面１２ａの第１端部１４ａに固定される第１可動部１６ａと、該第１可動部１６ａを駆動する第１圧電／電歪素子１８ａと、回転体１２の他方の面１２ｂにおける第２端部１４ｂ（第１端部１４ａと対角線上にある端部）に固定される第２可動部１６ｂと、該第２可動部１６ｂを駆動する第２圧電／電歪素子１８ｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】電歪アクチュエータの製造方法において、電歪ポリマを全方向に均等ストレッチするための具体的工法を実現し、応力集中などの破損原因を排除して、頑健なアクチュエータ構造を得る。
【解決手段】電歪アクチュエータの製造方法において、表面又は表裏面に電極２を付着させた電歪薄膜１を、その上下面から１組の支持マスク３で挟持し、筒状のチャンバー部材４の開口面上に取り付ける工程と、前記工程の後に、電歪薄膜１を凸状に変形させた状態で、電歪薄膜の上下面から電歪薄膜を１組のリング体５で挟持することにより、電歪薄膜１とリング体５とを一体に固定して電歪薄膜１を支持させる工程とを備える。このようにして電歪アクチュエータを製造することにより、電歪薄膜１の応力分布を均等にすることができ、電歪アクチュエータの耐久性を向上させることができる。 （もっと読む）

【課題】位置決めの動作速度が高速である圧電デバイスを実現する手段を提供すること。
【解決手段】圧電デバイス１０の圧電素子２４ａには、分極方向と逆向きの電界をかけ、また圧電素子２４ｂには、分極方向と同じ向きの電界をかけ、圧電デバイス１０に変位を生じさせ、前記圧電素子２４ａ、２４ｂとが配設された薄板部１６ａ、１６ｂを撓ませる圧電デバイス１０の制御方法。 （もっと読む）