【解決課題】良好な周波数温度特性を備えた水晶発振器を提供すること。
【解決手段】水晶片の中央部に弾性波の伝播を止めるための例えば溝や透孔などからなる境界領域を形成して互いに独立して振動する第１の振動領域と第２の振動領域とに分割し、各領域に電極を設けて第１の水晶振動子及び第２の水晶振動子を構成する。これら水晶振動子の水晶片の厚さは互いに同じであるため、夫々に結合される負荷容量を同じにすれば、同じ周波数温度特性を持ちかつ同じ周波数の第１の発振部及び第２の発振部が得られる。従ってこれらの出力を適用機器に応じて利用することにより良好な周波数温度特性を備えた水晶発振器となる。 （もっと読む）

【課題】Ｙ軸およびＺ軸周りの各回転角速度を測定可能な振動型ジャイロスコープ用振動子において、Ｚ軸周りの回転角速度に起因するＹ軸用検出振動アームの寄生振動を抑制し、これによるＹ軸周りの回転角速度の測定値の誤差を減少させることである。
【解決手段】振動子１Ａは、Ｘ軸とＹ軸とを含む所定面に沿って形成されている。振動子１Ａは、駆動振動アーム４、Ｙ軸の周りに振動子が回転したときに、振動子の回転角速度に応じてＺ軸方向の検出振動が励起されるＹ軸用検出振動アーム３６、Ｚ軸の周りに振動子が回転したときに、振動子の回転角速度に応じて所定面内の検出振動が励起されるＺ軸用検出振動アーム３７、および基部２Ａを供えている。Ｙ軸用検出振動アーム３６が、細長いアーム本体８と、アーム本体８の先端に設けられている幅広部９を備えている。 （もっと読む）

【課題】本発明は、ＭＥＭＳ（電気式微小機械装置）などの微細加工を要する振動素子の製造方法に関して、振動素子の作製過程における抗折強度の劣化を抑制する振動素子の製造方法を提供するものである。
【解決手段】駆動基体２と、この駆動基体２上に設けられた駆動用電極５Ａからなる振動素子１において、駆動基体２はシリコン基板７をエッチングすることにより所定の形状に加工するものであり、エッチングにはエッチングイオン１３，１４を用いるとともに、バイアス側の電源１２の発振周波数をエッチングイオン１３，１４の振動周波数より低く設定したのである。 （もっと読む）

【課題】感度の低い圧電素子を使用して、高感度が得られる圧電センサを提供することである。
【解決手段】第１の面にて圧力を受け、その圧力により電荷を発生する圧電素子１０を備えた圧電センサにおいて、前記第１の面とは反対の第２の面が臨む領域に空間が形成されている。 （もっと読む）

【課題】 外来ノイズの影響を低減させることによりセンサの検出精度の向上を図る。
【解決手段】 物体に働く加速度を、可撓基板１０で支持された錘部３０の姿勢変化に基づいて検出する。可撓基板１０は、フレーム２０に固定され、その中心部に錘部３０がハンダ付けにより固定されている。錘部３０に加速度などの力が作用すると、錘部３０の姿勢が変化し、これに伴い可撓基板１０も変形する。この錘部３０の姿勢変化や可撓基板１０の変形を、梁部１４に設けられた検出素子である圧電抵抗素子の回路定数の変化量に基づいて検出する。検出素子により検出された信号の処理を行う信号処理回路をＩＣチップに形成し、このＩＣチップによって錘部３０を構成する。錘部３０をＩＣチップで構成することにより、信号処理回路と検出素子との距離を短く構成することができ、外来ノイズの影響を低減させることができる。 （もっと読む）

【課題】正確な加速度を検出することが可能な加速度センサ及び加速度センサの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】加速度センサＣ１は、圧電素子２と、圧電素子２の表面に形成された第１，第２外部電極４，５と、を備える。圧電素子２は、基板部８と、第１〜第３圧電体層３０，１８，１４と、おもり部１０とを有する。第１圧電体層３０の第１領域３０ａは、圧電素子２の積層方向に対して垂直な方向に分極されている。第２圧電体層１８の第２領域１８ａは、圧電素子２の積層方向に分極されている。第３圧電体層１４の第３領域１４ａは、圧電素子２の積層方向に分極されると共に、第２領域１８ａの分極を打ち消す方向に分極されている。更に、第３領域１４ａは、第２領域１８ａと比べて圧電素子２の積層方向から付与される荷重が小さくなるように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 水溶液及び有機溶媒を使用した溶液に浸漬しても精度の高い測定が可能なセンサ及びこれを用いた装置を提供する。
【解決手段】 圧電板と、この両面の内側に設けられた電極とを備えるセンサであって、前記圧電板に設けられた両電極のうちの一方の電極は、空間を介して、前記圧電板の端面を囲繞することができるようにカップ状に形成された被覆部材により被覆され、前記圧電板の外周の端面と前記被覆部材の内周面との間をシール剤によりシールし、且つ、前記圧電板の前記空間側の面に付着した前記シール剤の回り込み量が、前記圧電板の外周の端面から内側方向に向かって、前記圧電板の最大外径に対して１０％の範囲内としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 ジャイロセンサ用の三脚音叉型振動体において、使用環境条件の影響を受け難くし、駆動モード（対称又は非対称）から検出モード（非対称又は対称）への移行時の固有周波数の変化を抑え、使用環境条件の影響を受け難く高精度の計測に適したジャイロセンサを提供すること。また十分な耐衝撃性や耐破壊性を与えること。
【解決手段】
弾性材料より成る三脚音叉型のジャイロセンサにおいて、該ジャイロセンサは１枚の圧電性を有する材料の板材より形成されていて、３本の脚を連結する基部と、前記ジャイロセンサを基台に固定する支持部と、前記基部および前記支持部を連結する、前記基部の幅の１／３よりも狭い幅を有する複数の連結部とより成る平面的形状を有する振動体を用いること。 （もっと読む）

【課題】従来の圧力センサに用いている鉛を含む圧電体粒子による環境の汚染を防止するとともに、圧力と湿度を同時に検出でき、さらに湿度に依存しない安定した感度のケーブル状圧力センサを実現する。
【解決手段】内側電極１１と内側電極１１の表面に設けた可撓性感圧体１２と可撓性感圧体１２の表面に設けた外側電極１３と外側電極１３の表面に設けた被覆１４とで圧力センサを形成し、可撓性感圧体１２が圧力によって発生する電圧を検出する振動検出手段１５と、可撓性感圧体１２の静電容量、抵抗、誘電損失のいずれかを検出して湿度を検出する湿度検出手段１６とを設けたことにより、圧力と同時に雰囲気湿度も検知することができ、湿度に依存しない安定した感度の圧力センサを実現することができる。 （もっと読む）

【課題】 一方向凝固シリコンを用いた機能性構造体及び機能性構造体の製造方法を提供する。
【解決手段】 まず、図１（ａ）に示すように、一方向凝固シリコンからなる基板１２上にフォトレジストが塗布されてフォトレジスト層１４が形成される。そして、図１（ｂ）に示すように、このフォトレジスト層１４が露光され、リソグラフィにより幅約１０μｍの流路パターン１４Ａが形成される。次に、図１（ｃ）に示すように、上記流路パターン１４Ａをエッチングマスクとして異方性ドライエッチングにより、基板１２上に幅約１０μｍ、深さ約２０μｍのマイクロ流路１２Ａが形成される。なお、図１（ｃ）のマイクロ流路１２Ａを形成する工程では、異方性ドライエッチングに代えて、ウェットエッチングを用いてもよい。そして、図１（ｄ）に示すように、パターン１２Ａが取り除かれてマイクロ流路チップ１０が完成する。 （もっと読む）