【課題】水晶のエッチング異方性に起因する振動特性の劣化が抑制された水晶振動片、その水晶振動片を用いたジャイロセンサー、それらを備えた電子機器、および水晶振動片の製造方法を提供する。
【解決手段】基部２１、および基部２１から延伸する振動腕２２を備え、振動腕２２の第１の面１ａに開口部を有する有底の溝２が形成され、溝２は、第１の面１ａにおいて開口部の中心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿った仮想の線Ｐ２が、溝２が形成される前の振動腕２２の重心を通って且つ振動腕２２の延伸方向に沿う仮想の線Ｐ１に対して平行するいずれかの方向にずれた位置に配置されて設けられた水晶振動片としての振動素子２０の製造方法であって、水晶ウェハー第１の面１ａに塗布されたフォトレジスト膜に、同一のフォトマスクを用いて基部２１および振動腕２２の外形形状と溝２の開口部形状とを露光する工程を含んでいる。 （もっと読む）

【課題】平面に沿って先端部を摺動させる動作が可能なアクチュエータであって、従来のアクチュエータに比べて、先端部の動作が拘束され難いアクチュエータを提供する。
【解決手段】電歪材料層と、電歪材料層の両面に各々配置された２つの電極と、いずれか一方の電極を介して電歪材料層の片面に接合された基材とにより各々構成された第１および第２の電歪素子、ならびに第１および第２の電歪素子を支持する支持部材を含む電歪アクチュエータ（４０）において、第１の電歪素子（１０）を電歪材料層（１）の側を凸側にして少なくとも部分的に湾曲させ、第２の電歪素子（２０）を基材（１５）の側を凸側にして少なくとも部分的に湾曲させ、第１および第２の電歪素子（１０、２０）を、各基材（５、１５）が対向するようにして並列配置し、各一端（１０ａ、２０ａ）にて支持部材（３０）で支持し、かつ、各他端（１０ｂ、２０ｂ）にて相互に接合する。 （もっと読む）

【課題】振動ジャイロ素子の角速度検出感度を維持し、かつ支持強度を確保し小型化を可能にする振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサを提供する。
【解決手段】基部１０と、基部１０から直線状に両側へ延出された１対の検出用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０から両側へ検出用振動腕１１ａ，１１ｂに直交する方向に延出された１対の連結腕１３ａ，１３ｂと、各連結腕の先端部からそれと直交して両側へ延出された各１対の駆動用振動腕１４ａ，１４ｂ，１５ａ，１５ｂと、基部１０から各検出用腕に沿って延出される２対の梁２０ａ，２０ｂ，２１ａ，２１ｂと、同方向に延出された各梁が連結された１対の支持部２２ａ，２２ｂと、を同一平面に備え、支持部２２ａ，２２ｂを検出用振動腕の延出する方向であって検出用振動腕の外側かつ前記駆動用振動腕の間に配置する。 （もっと読む）

【課題】ローターの回転速度の変動を抑えて安定した回転を得ることができる圧電アクチュエーターを実現する。
【解決手段】圧電アクチュエーター１００は、圧電素子１１を含む振動体１と、円盤形状を有するローター２と、振動体１の一端から突出しローター２に当接する摺動部１５と、圧電素子１１に駆動信号を供給する駆動制御部５とを備え、駆動制御部５は、予め取得した駆動開始からの時間経過に伴うローター２の回転速度の目標値に対する差異の変化に基づいて、駆動信号の周波数を変化させて回転速度を制御する。 （もっと読む）

【課題】印加電界±１００ｋＶ／ｃｍを印加した寿命テストにおいて、初期の圧電定数に対する１０億回駆動後の圧電定数の比率が９５％以上である信頼性の高い圧電膜を用いた圧電膜素子及び圧電膜デバイスを提供する。
【解決手段】基板上に、下部電極層と、組成式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３（０.４≦ｘ
≦０.７）で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電膜と、上部電極
とを備える圧電膜素子において、印加電界＋１００ｋＶ／ｃｍでの誘電損失および印加電界−１００ｋＶ／ｃｍでの誘電損失が共に、０.４５以下である。 （もっと読む）

【課題】ダイナミックレンジの大きい物理量センサー、物理量センサーの制御方法、および、それらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】基板１０と、基板１０の第１の面１０ａに対してα°傾いた第１の斜面２ａを有する第１載置部材２、および、第２の斜面３ａを有する第２載置部材３と、主たる物理量が印加される方向に検出軸ベクトルｎ₀を向けて第１の面１０ａ面に載置されたセンサーデバイスＤ₀と、検出軸ベクトルとは異なる方向に検出軸ベクトルｎ₁をおよび検出軸ベクトルｎ₂が向くように配置された第１載置部材２および第２載置部材３のそれぞれに載置されたセンサーデバイスＤ₁および、センサーデバイスＤ₂を含み、各検出軸ベクトルｎ₀，ｎ₁，ｎ₂の方向に、ｎ₁≠⊥ｎ₀、ｎ₂≠⊥ｎ₀、および、ｎ₁⊥ｎ₂の関係が成り立つことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】製造工程時の可動部や継ぎ手部の破損を低減して、物理量検出器の生産性を向上させることが可能な物理量検出器の製造方法の提供。
【解決手段】物理量検出器の製造方法は、平板枠状のベース部１０と、ベース部１０の内側に配置され、一方の端部が継ぎ手部１１を介してベース部１０に接続された平板状の可動部１２と、ベース部１０と可動部１２とに架け渡された物理量検出素子１３と、を備えた物理量検出器の製造方法であって、ベース部１０と、継ぎ手部１１と、可動部１２と、可動部１２の自由端側に設けられ、ベース部１０と可動部１２とをつなぐ連結部１４と、を一体で形成するベース基板形成工程と、物理量検出素子１３をベース部１０と可動部１２とに架け渡して固定する物理量検出素子接合工程と、連結部１４を切断する連結部切断工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を重ね合わせて接合してなる積層構造において、接合材の接合面からのはみ出しを防止す積層体、これを備えた電子デバイス、圧電デバイス、これを備えた圧電モジュール、電子機器及び積層体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１は、積層して接合材４０で接合される感圧素子層１０、ダイアフラム層２０、ベース層３０を備え、感圧素子層１０の枠部１０８には溝部１０２ａ，１０２ｂが形成され、ダイアフラム層２０の他方の主面側の枠部２０６には溝部２０８が形成され、ベース層３０の一方の主面側の枠部３０４には溝部３０６が形成されている。溝部２０８は溝部１０２ａと互いに対向しないように位置をずらして配置され、溝部３０６は溝部１０２ｂと互いに対向しないように位置をずらして配置されている。 （もっと読む）

【課題】圧電性能が良好な（１−ｘ）ＮａＮｂＯ_３−ｘＢａＴｉＯ_３の配向性圧電セラミックスを提供する。また本発明は、前記（１−ｘ）ＮａＮｂＯ_３−ｘＢａＴｉＯ_３の配向性圧電セラミックスを用いた圧電素子、ならびに前記圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされる金属酸化物を主成分として含み、鉛とカリウムの含有量は各々１０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする配向性圧電セラミックス一般式（１） （１−ｘ）ＮａＮｂＯ_３−ｘＢａＴｉＯ_３（式中、 ０ ＜ ｘ ＜ ０．３）。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に配置された引出電極間の短絡を防止して生産の歩留を高めた圧電デバイス、圧電モジュールを提供する。
【解決手段】第１基板１４と、前記第１基板１４に導電性を有する第１の接合層６２Ａを介して積層された圧電振動基板２６と、を積層し、前記圧電振動基板２６は、圧電振動片（振動部３４Ａ、振動部３４Ｂ、第１基部３６、第２基部３８）と、前記圧電振動片の外周を囲むように設けられた枠部２８と、を有し、前記第１基板１４は、前記圧電振動片に対向する主面側に第１の凹部１６を有する圧電デバイス１０であって、前記枠部２８は、前記第１の凹部１６の内壁よりも前記圧電振動片側に突出していることを特徴とする。 （もっと読む）