【課題】セラミックスグリーン成形体の上面と側面とが交差する部分（上面の縁部）に発生するバリ等を簡易に除去する製造方法を提供する。
【解決手段】平面部を有する上面と、側面とが交差する部分が角形状を呈するセラミックスグリーン成形体が、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置される。その後、複数のセラミックスグリーン成形体に対して平板状の弾性体を上方から押し付けることによって、各セラミックスグリーン成形体の上面の縁部において、外側に向かって下がる傾斜部が形成されるとともに、傾斜部とセラミックスグリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部が形成される。この結果、複数のセラミックスグリーン成形体の上面の縁部からバリ等を簡易に且つ同一工程で除去することができる。 （もっと読む）

【課題】高密度化対応の磁気抵抗効果素子、磁気ヘッドアッセンブリ、磁気記録再生装置、歪みセンサ、圧力センサ、血圧センサ及び構造物ヘルスモニタセンサを提供する。
【解決手段】基板上に積層された、第１の磁性層１２と、第１の磁性層１２に積層され、第１の磁性層の組成とは異なる第２の磁性層１１と、第１の磁性層１２と第２の磁性層１１との間に配置されたスペーサ層１３と、を有する積層体１０と、積層体１０に電流を流す１対の第１の電極と、積層体１０の近傍に設けられ、積層体に歪みが印加されることで、第１の磁性層１２及び第２の磁性層１１の磁化方向がそれぞれ異なる方向にバイアスされるよう積層体１０に歪みを印加する歪み導入部材と、歪み導入部材に電圧を印加するための第２の電極と、を備える。外部磁界が印加されることで、第１の磁性層１２及び第２の磁性層１１の磁化方向がともに変化し、磁化方向の変化により、外部磁界を検出する。 （もっと読む）

【課題】デバイスの小型化や高密度化が可能な薄膜圧電体を用い、高い圧電効果を発揮して、高効率で駆動、検出が可能となる薄膜圧電体デバイスを提供する。
【解決手段】基板Ｂ１上にペロブスカイト構造の誘電体材料を成膜した薄膜圧電体２を備える薄膜圧電体デバイス１は、基板Ｂ１下側に形成される圧力室２と、圧力室２を形成する上面となる薄膜状の従動膜３と、この従動膜３の上に積層され、所定の部位に電極を備える薄膜圧電体２と、を備え、薄膜圧電体２の滑り方向の変形（ｄ１５変形モード）を用いて入力信号を変換して出力信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】 高電界かつ高圧力下で長期間連続駆動させた場合でも、外部電極が外れることなく安定して駆動する積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置、燃料噴射システムを提供する。
【解決手段】 本発明の積層型圧電素子１は、圧電体層２および内部電極３が積層された積層体４と、この積層体４の側面に設けられて内部電極３と電気的に接続されたメタライズ電極５と、このメタライズ電極５に導電性接合材６で接合されたリード部材７とを含み、リード部材７の一部は導電性接合材６に埋設されており、導電性接合材６とリード部材７との間の一部に開口する隙間８があることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつ膜剥がれ等の問題がなく、圧電特性の劣化のない圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５上にジルコニウムからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にビスマスを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】グリーン積層体であって、複数のセラミックスシート（圧電シート）に変形が発生し難く、且つ、焼成後に得られる複数のセラミックス層（圧電層）の厚さが均一なものを提供する。
【解決手段】グリーン積層体は、ｎ枚（ｎは３以上の整数）の圧電材料からなる平板状の圧電シートと、（ｎ−１）枚の平板状の内部電極と、ｎ枚の平板状の接着層と、が積層方向に積層された、焼成後に圧電デバイスとなる積層体である。最上層及び最下層として圧電シートがそれぞれ位置する。ｎ個の「接合部」（＝１枚の圧電シートと１枚の接着層の接合体）が積層方向において離間して存在する。（ｎ−１）枚の内部電極のそれぞれが隣り合う２つの「接合部」に挟まれて位置する。（ｎ−１）枚の内部電極のうち１枚のみの特定内部電極Ｘが２つの接着層に挟まれて位置する。 （もっと読む）

【課題】小型化を図った圧電デバイス、及びこれを用いた圧力センサー、加速度センサー、ジャイロセンサー等のセンサーデバイスを提供することを目的としている。
【解決手段】本発明の圧電デバイス１０は、圧電基板の振動部を励振させる励振電極１２ｅと、当該励振電極１２ｅに接続された接続電極と、を有する圧電振動素子と、前記振動部の周縁部の上に配置され、前記圧電基板よりも外形が小さな集積回路と、を備え、前記集積回路と、前記接続電極とをバンプを用いて電気的に接続させたことを特徴とする （もっと読む）

【課題】静電気の影響を受け難い圧電装置の製造方法を提供する。
【解決手段】下面に第１導電体４０が形成され上面に第２導電体６０が形成された圧電体５１からなる圧電素子１１Ａ及び圧電素子１１Ｂを基板２０上に複数形成し、基板２０を分断する予定の線である分断線１５を設定する。圧電素子１１Ａ及び圧電素子１１Ｂの第１導電体４０の２つの第１導電体４０の間、もしくは圧電素子１１Ａ及び圧電素子１１Ｂの第２導電体６０の２つの第２導電体６０の間、を分断線１５と交差する下部電極線４２及び上部電極線６２にて結線する素子形成工程と、分断線１５に沿って前記基板を分断し、前記分断線と交差する前記配線を断線する分断工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】圧電薄膜の分離面の欠陥層を選択的にエッチングして平坦化し、均一な膜厚の圧電薄膜を得る圧電デバイスの製造方法を提供する。
【解決手段】まず、圧電単結晶基板１の表面１２側から水素イオンを注入することで、圧電単結晶基板１にイオン注入部分１００を形成する。次に、支持基板５０を圧電単結晶基板１に接合する。そして、圧電単結晶基板１と支持基板５０との接合体を加熱し、イオン注入部分１００を分離面とした分離を行う。ここで、支持基板５０に形成された圧電薄膜１０をアニールする。そして、圧電薄膜１０の分離面における欠陥層１３を選択的にエッチングして結晶層１１を露出させることで、圧電薄膜１０の分離面を平坦化する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層のクラックを抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】絶縁体膜５５上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上に圧電体前駆体膜を形成し、圧電体前駆体膜を焼成することで結晶化した圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を繰り返し行って、複数層の圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、を具備し、第１電極６０上に１層目の圧電体膜７２を形成した後、第１電極６０と圧電体膜７２とをパターニングすることにより、第１電極６０及び圧電体膜７２の側面を傾斜させる工程と、絶縁体膜５５上、第１電極６０及び１層目の圧電体膜７２の側面上、及び１層目の圧電体膜７２上に島状のランタンニッケル酸化物２００を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）