【課題】絶縁体層において基板の一方の面と同じ側の面に電極層を形成した際に基板と電極層との間（絶縁体層）で発生する寄生容量を従来よりも低減できるセンサ用構造体、該センサ構造体を用いたセンサ及びアクチュエータを得る。
【解決手段】基板１は、ケイ素などの半導体からなるものであり、一方の面に形成された矩形状の凹部１ａと、他方の面において、絶縁体層２における基板１の一方の面と同じ側の面と反対側の面が露出するように形成された開口部１ｂと、を有したものである。絶縁体層２は、二酸化ケイ素などの絶縁体からなる層であり、基板１の凹部１ａの内部に形成されているものである。また、絶縁体層２の厚さは、２μｍより大きい寸法を有したものである。このような構成のセンサ構造体は、センサ及びアクチュエータに用いることができる。 （もっと読む）

【課題】故障等を高精度に自己診断することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】第一駆動腕と第二駆動腕とを有する音叉型の振動子と、駆動平面に沿って振動するように第一駆動腕を励振する第一駆動素子と、駆動平面に沿って振動するように第二駆動腕を励振する第二駆動素子と、第一駆動腕及び第二駆動腕を振動させる制御部と、第一駆動腕と第二駆動腕よりの振動を検出し、角速度を検出する検出部と、を備える角速度センサであって、制御部は、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ振動位相が逆位相となるように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する通常モードと、第一駆動腕と第二駆動腕とをそれぞれ同一周期及び同一振幅で、且つ第一駆動腕に対する第二駆動腕の振動位相が逆位相からずれつつ同位相とはならないように、第一駆動素子及び第二駆動素子に駆動信号を出力する自己診断モードと、を実行する。 （もっと読む）

【課題】水晶デバイスの漏れ振動量測定工程での測定不良を即座に検知することで、測定不良の水晶振動子を後工程に物流させることを無くして不良発生を抑え、生産性を向上させる。
【解決手段】水晶ウェハ上に複数の水晶振動子を形成した後、各水晶振動子の漏れ振動の量を測定する工程を有する水晶デバイスの製造方法において、水晶ウェハに、第１の水晶振動子群と、第１の水晶振動子群より漏れ振動量が所定量多い第２の水晶振動子群とを形成し、第１の水晶振動子群の漏れ振動量の測定結果と第２の水晶振動子群の漏れ振動量の測定結果との差が、所定量以上であるとき、各水晶振動子の漏れ振動の量が正しく測定できたと判断する。第２の水晶振動子群の各水晶振動子は、上面のマスク層パターンの振動脚に応じた箇所と下面のマスク層パターンの振動脚に応じた箇所とが、所定量位置ずれさせることで形成される。 （もっと読む）

【課題】検出特性の低下を抑制しつつセンサの薄型化を実現することができる角速度センサを提供する。
【解決手段】上記角速度センサは、第１の梁１１ａ，１１ｂの組と、第２の梁１２ａ，１２ｂの組と、第１の梁の組と前記第２の梁の組との間をそれぞれ接続する複数の接続部１３ａ〜１３ｄとを有する環状のフレーム１０と、第１の梁の組と第２の梁の組のうち一方の組が近接したときに他方の組が離間し、一方の組が離間したときに他方の組が近接する振動モードでフレームを第１の面内で振動させる駆動部と、上記振動モードで振動するフレームの変形量に基づいて、第１の面と直交する方向の軸回りの角速度を検出する第１の検出部５０と、フレームの外側を囲む内周部を有する環状のベース部と、内周部と複数の接続部との間をそれぞれ連結する複数の連結部とを有する支持機構とを具備する。 （もっと読む）

【課題】小型化と周波数温度特性の改善とを図った圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、振動ジャイロセンサー、及びこれらを用いた電子機器を提供する。
【解決手段】圧電振動素子１の圧電基板７は、複数の振動腕１５ａ、１５ｂ、その振動腕の一方の端部間を連接する基部１０、各振動腕１５ａ、１５ｂの他方の端部に夫々形成され幅広で且つ第１の溝部２２ａ〜２４ａが形成された錘部２０ａ、２０ｂ、及び、各振動腕１５ａ、１５ｂの振動中心線に沿って形成された第２の溝部１７ａ〜１８ｂ、を備えている。各振動腕１５ａ、１５ｂの表裏面と側面に夫々励振電極が形成されており、屈曲−捩じり結合振動が励振される。圧電振動素子１は、励振される屈曲−捩じり結合振動のうちの屈曲振動を主振動とし、その周波数温度特性が温度に関し三次特性となるように圧電基板７の切断角度と、第一溝部及び第２の溝部の幅と深さと、及び振動腕の厚さを夫々設定する。 （もっと読む）

【課題】振動子が安定発振するまでの時間を短縮するとともに安定発振を維持することが可能な駆動回路、物理量検出装置、角速度検出装置、集積回路装置及び電子機器を提供する。
【解決手段】コンパレーター２１０（駆動信号生成部）は、第１の信号線を介して入力された振動子１００の発振電流２４がＩ／Ｖ変換回路２００（電流電圧変換部）により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号２２を生成し、第２の信号線を介して振動子に供給する。発振検出回路２７０（発振検出部）は、振動子１００が発振を開始してから発振電流２４が所定値に達したか否かを検出する。起動発振回路２８０（起動発振部）は、発振電流２４が所定値に達するまで振動子１００の発振動作を補助する。スイッチ２１８は、発振電流２４が所定値に達するまでコンデンサー２１６を第２の信号線から切り離し、発振電流２４が所定値に達した後はコンデンサー２１６を第２の信号線に接続する。 （もっと読む）

【課題】駆動時にメタライズ層と導電性接合材層との境界にクラックが生じて断線するのを抑制し、長期間の耐久性に優れた積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システムを提供する。
【解決手段】積層型圧電素子１は、圧電体層３および内部電極５が積層された積層体７と、積層体７の側面に設けられて内部電極５と電気的に接続されたメタライズ層８と、メタライズ層８の上に設けられた導電性接合材層10と、導電性接合材層10を介してメタライズ層８に接合された外部電極12とを含み、導電性接合材層10にはメタライズ層８と接する側の面に開口しないように複数のボイドがある。 （もっと読む）

【課題】 熱型検出素子を基体から熱分離する空洞部の深さを規定するスペーサー部材を配線構造として兼用し、かつ、その配線構造により、確実に熱分離できる空洞部の深さを確保することができる熱型検出器、熱型検出装置及び電子機器を提供すること。
【解決手段】 熱型検出器は、基体１００と、基体１００より突出するスペーサー部材１０４と、スペーサー部材１０４に支持される支持部材２１０と、支持部材に支持される熱型検出素子２２０と、基体内に配置されて熱型検出素子と接続される検出回路５１０，５２０と、熱型検出素子と検出回路とを接続する配線部と、を有する。配線部は、基体内に配置された少なくとも一層の第１導電層ＬＩＡ，ＬＩＢと、スペーサー部材内に配置された少なくとも一層の第２導電層ＬＩＣ，ＬＩＤと、支持部材に支持された第３導電層２１４，２３８と、第１，第２及び第３導電層の隣接層同士を接続する複数のプラグＨＬＡ〜ＨＬＤとを含む。 （もっと読む）

【課題】寝心地に対する影響が小さく、検出感度の優れた簡素な構造の振動センサを提供する。
【解決手段】振動センサ１は、シート状のベース部材１０と、当該ベース部材１０の一方の面１０Ａに、ベース部材１０の表面から突出するように載置される凸状部１１と、当該凸状部１１の頂部１１Ａの少なくとも一部とベース部材１０の一方の面１０Ａの少なくとも一部とを一体で覆うように凸状部１１の頂部１１Ａ及びベース部材１０の一方の面１０Ａに密着して載置され、荷重の変化を検出する圧電フィルム１２と、ベース部材１０に載置された圧電フィルム１２の表側に密着して配置される弾性を有するシート部材１５と、を備える。 （もっと読む）

【課題】積層型圧電セラミックス素子を封入した金属ケースにかかる変位方向の応力が均等で、変位方向に傾きが生じにくく、さらに作製時の調整工数が少ない高精度な位置決めができ、低コストで作製可能な積層型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】金属ケース２の伸縮方向の中心軸と、積層型圧電セラミックス素子６の積層方向の中心軸を一致させるように、金属ケース２とダミー層７に位置決めする嵌合部１０を設けて固定する。 （もっと読む）