【課題】ピエゾ素子が故障した場合でも、必要とされる振動を得やすいピエゾ駆動装置を提供する。
【解決手段】タッチパッド２に設けられる複数のピエゾ素子１３を駆動するピエゾ駆動装置１において、マイクロコンピュータ３から出力されるＰＷＭ出力信号を、そのパルス幅に応じた駆動信号に変換するローパスフィルタ１１と、駆動信号を複数のピエゾ素子１３の静電容量の総量に対応したピエゾ駆動信号に変換し、これを複数のピエゾ素子１３に印加するピエゾ駆動回路１２と、ピエゾ駆動信号を監視信号に変換するＡＤ変換器１４とを備え、マイクロコンピュータ３は、ＡＤ変換器１４から入力される監視信号を解析して複数のピエゾ素子１３における故障の有無を検出し、故障が検出されるときには、タッチパッド２における振動態様が故障前に近づくようにＰＷＭ出力信号のデューティ比を変更するピエゾ駆動装置。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を積層して積層体を形成する場合において、ウェーハ上にマーカーを設けることなく基板同士を位置合せして重ね合わせることが可能な積層体の製造方法を提供する。
【解決手段】圧力センサーの製造方法は、感圧素子層１０、ベース層の接合面に傾斜部２０８、３０６を形成する外形形成工程と、傾斜部２０８、３０６を用いて位置合せを行いながら、感圧素子層１０、ダイアフラム層２０、ベース層を重ね合わせて接合面を接合剤４０で接合する接合工程とを備える。 （もっと読む）

【課題】静電破壊を防止して歩留まり良く製造できる電気装置の製造方法、半導体基板の製造方法、電気装置用形成基板、及び電子機器を提供する。
【解決手段】支持体上に、樹脂材料からなる基材を複数積層することで第１基板を形成する工程と、素子基板から前記支持体を剥離する工程と、素子基板との間で機能素子を挟持するように第２基板を貼り付ける工程と、を有する電気装置の製造方法に関する。素子基板の形成工程においては、複数の基材間のいずれかに挟持するように電極層を配置するとともに、電極層よりも上層であって複数の前記基材間のいずれかに挟持する或いは基板本体の表面に配置するように機能素子を駆動するための半導体素子を設ける。 （もっと読む）

【課題】Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸の各軸まわりの回転検出ができ、１つの発振回路で振動を励起することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】物理量検出素子１は、基部２と、基部２からＸ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１連結部３ａおよび第２連結部３ｂと、第１連結部３ａまたは第２連結部３ｂからＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した一対の第１駆動振動腕４ａおよび第２駆動振動腕４ｂ、並びに一対の第３駆動振動腕４ｃおよび第４駆動振動腕４ｄと、第１連結部３ａから斜めに延出した第１駆動検出振動腕５ａおよび第２駆動検出振動腕５ｂと、第２連結部３ｂから斜めに延出した第３駆動検出振動腕５ｃおよび第４駆動検出振動腕５ｄと、基部２からＹ軸に沿って互いに反対方向へそれぞれ延出した第１検出振動腕６ａおよび第２検出振動腕６ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 製造が容易であって機械的強度を高めた圧電素子であって、且つ耐熱性を有し且つ出力効率の良い圧電素子を得る。
【解決手段】 圧電素子を、一単結晶からなる筒形状の圧電材料と、圧電材料の外周面に設けられた第一の電極と、圧電材料の内周面に設けられて該第一の電極に対しての対向電極として作用する第二の電極と、から構成し、該筒形状の軸方向を応力印加軸と一致させる。製造時においては第一及び第二の電極を同時に形成し、研削加工等によりこれらを分離する。 （もっと読む）

【課題】周波数の調整を安定して行なうことが可能な弾性波装置を提供する。
【解決手段】弾性波装置は、主面を有する圧電基板１００と、圧電基板１００の主面上に形成され、所定の周波数で圧電基板１００を励振させるＩＤＴ電極２００と、圧電基板１００に所定の応力を生じさせて所定の周波数を変化させる加圧部６００とを備える。 （もっと読む）

【課題】素子の変形により電気的変化を生じるセンサであって、時間が経過しても感度が低下しないセンサを提供する。
【解決手段】電歪素子の変形により静電容量変化を生じる電歪センサ（４０）において、第１の電歪材料層（１）およびその両面に各々配置された一対の電極（３ａ、３ｂ）より構成される第１の電歪素子（１０）と、第２の電歪材料層（１１）およびその両面に各々配置された一対の電極（１３ａ、１３ｂ）より構成される第２の電歪素子（２０）と、これら電歪素子間に挟持された基材（２５）とを含む受感部（３０）を設ける。受感部（３０）は、外力の作用を受けることにより変形である。第１および第２の電歪材料層（１、１１）の静電容量をそれぞれ測定可能なように、各電極に引出し線（５ａ、５ｂ、１５ａ、１５ｂ）が接続される。第１および第２の電歪材料層（１、１１）は、１０μｍ以下の厚みおよび２０以上の比誘電率を各々有するものとする。 （もっと読む）

【課題】歪みによる振動素子の特性の低下を防止しつつ、小型化を図ることのできる振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動デバイス１は、内側に収納空間４ａを有するパッケージ４と、収納空間４ａに収納されたジャイロ素子２およびＩＣチップ３と、を有している。パッケージ４は、ＩＣチップ３が設置されたＩＣチップ設置面５２２を備えるＩＣチップ設置領域Ｓ２と、ＩＣチップ設置領域Ｓ２に並設され、ジャイロ素子２が設置された振動素子設置面５２１を備える振動素子設置領域Ｓ１と、を有する板状の底板５を有している。ＩＣチップ設置領域Ｓ２は、その厚さが振動素子設置領域Ｓ１よりも薄く、ＩＣチップ設置面５２２は、振動素子設置面５２１よりも底側に位置している。 （もっと読む）

【課題】振動漏れを十分に抑制することが可能な物理量検出素子を提供する。
【解決手段】ジャイロ素子（物理量検出素子）１は、基部２と、Ｘ軸に沿って、基部２から互いに反対方向へ延出した一対の第１突出部３（３ａ，３ｂ）と、第１突出部３ａから、斜めに延出した第１駆動腕１１ａおよび同じく第１突出部３ａから斜めに延出し、第１駆動腕１１ａと逆相で振動する第２駆動腕１１ｂと、第１突出部３ｂから、斜めに延出した第３駆動腕１２ａおよび同じく第１突出部３ｂから斜めに延出し、第３駆動腕１２ａと逆相で振動する第４駆動腕１２ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第１検出腕１３ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第２検出腕１３ｂと、基部２からＹ（＋）軸方向へ延出した第３検出腕１４ａおよびＹ（−）軸方向へ延出した第４検出腕１４ｂと、を備えている、ことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】酸素欠陥が少なく、圧電特性に優れた圧電体膜を形成する。
【解決手段】一般式(Ｎａ_ｘＫ_ｙＬｉ_ｚ)ＮｂＯ_３ (０≦ｘ≦１、０≦ｙ≦１、０≦ｚ≦０．２、ｘ＋ｙ＋ｚ＝１)で表されるペロブスカイト構造のアルカリニオブ酸化物からなる
圧電体膜であって、前記アルカリニオブ酸化物は、擬立方晶、正方晶、斜方晶、単斜晶、菱面体晶、またはそれらが共存した結晶構造を有しており、前記アルカリニオブ酸化物のＫ原子周囲の結合状態において、Ｋ−Ｏ結合とＫ−Ｍｅｔａｌ結合との合計を１００％としたとき、前記Ｋ−Ｏ結合の割合が４６．５％以上、前記Ｋ−Ｍｅｔａｌ結合の割合が５３．５％以下の圧電体膜である。 （もっと読む）