【課題】高周波成分における感度を向上させるとともに、帯域を広く利用することができる積層圧電体、超音波探触子及び超音波診断装置を提供する。
【解決手段】積層圧電体１１２０は、無機材料を主成分とする圧電体が４層の圧電体１１２１，１１２２，１１２３，１１２４を１単位として４ｎ層に積層され、圧電体の厚み伸縮によって生じるｍλ／２共振モードで共振する。圧電体は、それぞれ厚み方向に残留分極を有する。積層圧電体１１２０は、電圧が印加されたときの電界の向きと、残留分極の向きとが、１単位中の４層の圧電体１１２１，１１２２，１１２３，１１２４のうち１つのみが対向して他の３つが一致する関係、又は、１単位中の４層の圧電体１１２１，１１２２，１１２３，１１２４のうち１つのみが一致して他の３つが対向する関係となるように圧電体を積層している。 （もっと読む）

【課題】電源電圧の変動や抵抗値のばらつきに起因する起動時間の変動を低減することが可能な駆動回路、集積回路装置及びセンサー装置を提供すること。
【解決手段】判定回路２６０は、センサー素子４が出力する駆動電流がＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて得られる判定対象信号ＬＰＦＯの電圧と判定電圧との大小関係を判定する。駆動信号生成回路２３０は、判定回路２６０の判定結果に基づいて、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えるまではセンサー素子の自励発振を補助する発振器２８０の発振信号に基づいて駆動信号を生成し、判定対象信号ＬＰＦＯの電圧が判定電圧ＶＲ２を超えた後はＩ／Ｖ変換回路２００により電圧に変換された信号に基づいて駆動信号を生成する。判定電圧ＶＲ２は、１又は複数の抵抗に定電流を流すことにより得られる電圧と基準電圧とを加算又は減算して得られる電圧である。 （もっと読む）

【課題】多軸に対応したセンサーモジュール及びそれを備えたセンサーデバイスの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、互いに直交する３つの支持面１１，１２，１３を有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２、外部接続端子２３を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が支持部材１０の各支持面１１，１２，１３に取り付けられた３つのＩＣチップ２０と、基部３１と基部３１から延伸された各振動腕（３２ａ，３２ｂなど）と接続電極３９とを有する３つの振動ジャイロ素子３０と、ＩＣチップ２０の外部接続端子２３と接続されたフレキシブル配線基板４０，４０ａと、を備え、各振動ジャイロ素子３０は、各ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、一方の主面３０ａが支持面１１，１２，１３に沿うように、接続電極３９が各ＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられ、フレキシブル配線基板４０は、配線パターン層４３を有する。 （もっと読む）

【課題】容易に大面積化することのできる電荷発生素子、電力発生装置、及びタッチセンサを提供する。
【解決手段】基板１５の上に下部電極１４を形成し、その下部電極１４の上に圧電体１３を形成する。更に、その上に半導体１２と上部電極１１を形成する。このように、上部電極１１と圧電体１３との間に膜の状態で半導体１２を積層することで、圧電体キャパシタ２とダイオード１をセットで形成し、圧電体キャパシタ２とダイオード１とを直列接続しているため、容易に大面積化することのできる。 （もっと読む）

【課題】検出特性の劣化を抑制しつつ、薄型化可能なセンサーモジュールの提供。
【解決手段】センサーモジュール１は、第１平面１１と、第１平面１１に直角に接続された第２平面１２と、第１平面１１及び第２平面１２に直角に接続された第３平面１３と、第１平面１１に対向し外部部材への取り付け面としての第４平面１４と、を有し、第１平面１１が、第１平面１１から陥没した支持面１１ａを有する支持部材１０と、能動面２１側に接続端子２２を有し、能動面２１に沿った非能動面２９側が、支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ取り付けられたＩＣチップ２０と、接続電極３９を有した振動ジャイロ素子３０と、を備え、振動ジャイロ素子３０は、ＩＣチップ２０の能動面２１側に配置され、主面３０ａが支持部材１０の各面１１ａ，１２，１３にそれぞれ沿うように、接続電極３９がＩＣチップ２０の接続端子２２に取り付けられている。 （もっと読む）

【課題】ＰＺＴ膜からのＰｂ拡散を抑制し、圧電特性を安定化した圧電薄膜構造および当該圧電薄膜構造を適用し、振動ノイズによる影響を低減できる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】基板４０上に配置された酸化シリコン膜４１と、酸化シリコン膜４１上に配置された第１の酸化アルミニウム膜４８と、第１の酸化アルミニウム膜４８上に配置された下部電極層３０１と、下部電極層３０１上に配置された圧電体膜層３０２と、圧電体膜層３０２上に配置された上部電極層３０３とを備える圧電薄膜構造、および振動アーム及び検出アームに、この圧電薄膜構造を有する角速度検出装置。 （もっと読む）

【課題】金属層の焼結が十分に進行し、金属層中に樹脂等の不純物残渣が少なく、かつ、金属層の空隙率が高いセラミック部材の製造方法を提供する。
【解決手段】金属成分Ｍ_１を含む複数の金属ペースト層２２ａ，２４ａがセラミックグリーンシート２６ａを介して積層された積層成形体２８ａを作製する工程と、この積層成形体２８ａを焼成する工程とを含み、金属ペースト層２２ａ，２４ａに含まれる金属成分総量に対する金属成分Ｍ_１の質量百分率をＸとするとき、積層成形体２８ａを作製する工程において、複数の金属ペースト層のうちの少なくとも１層を、積層方向に隣り合う両側の第２金属ペースト層２４ａよりも質量百分率Ｘが低い第１金属ペースト層２２ａとする。第２金属ペースト層２４ａが焼結してなる第２金属層２４が、第１金属ペースト層２２ａが焼結してなる第１金属層２２よりも空隙が多いものとなる。 （もっと読む）

【課題】モジュールの厚みを薄く保ちながら、見かけ上発生するシグナルを本来の値よりも増大させることができる圧電・焦電素子用多孔質樹脂シート、及び圧電・焦電素子を提供する。
【解決手段】多孔質樹脂シート２は、シグナル電極４が積層される面側に、高さ１０〜８００μｍの突起部３を有し、突起部３の総平面積は、多孔質樹脂シート２の平面積の５〜３０％である。 （もっと読む）

【課題】弾性表面波デバイス用のキャップ基板であるパッケージ材料に穴を形成する際に、目的とする径長さ通りの穴径を有する穴を正確に形成することができ、さらに放熱性にも優れるパッケージ材料、またそれから製造されるウエハレベルパッケージ弾性表面波デバイス接合ウエハ、及びそれから切断されることによって得られ、電気特性と信頼性を確保したまま小型化及び低背化でき、さらにはモジュール搭載が可能であるウエハレベルパッケージ弾性表面波デバイス並びにそれらの製造方法を提供する。
【解決手段】少なくとも、圧電性が消失された単結晶圧電基板２に穴３が形成され、かつ基板外部よりＬｉが拡散されたものであることを特徴とする弾性表面波デバイス用ウエハレベルパッケージ材料１。 （もっと読む）

【課題】超音波センサ自身に故障の原因があるか否かを容易に診断できる超音波センサ、超音波センサの異常診断方法および超音波センサの異常回復方法を提供する。
【解決手段】圧電素子２は、第１のリード２２，第２のリード２３および第３のリード２４を備える。これにより、これらのリード間の電気的導通を確認することで超音波センサに生じた異常の原因を突き止めることができる。 （もっと読む）