【課題】製造工程時の可動部や継ぎ手部の破損を低減して、物理量検出器の生産性を向上させることが可能な物理量検出器の製造方法の提供。
【解決手段】物理量検出器の製造方法は、平板枠状のベース部１０と、ベース部１０の内側に配置され、一方の端部が継ぎ手部１１を介してベース部１０に接続された平板状の可動部１２と、ベース部１０と可動部１２とに架け渡された物理量検出素子１３と、を備えた物理量検出器の製造方法であって、ベース部１０と、継ぎ手部１１と、可動部１２と、可動部１２の自由端側に設けられ、ベース部１０と可動部１２とをつなぐ連結部１４と、を一体で形成するベース基板形成工程と、物理量検出素子１３をベース部１０と可動部１２とに架け渡して固定する物理量検出素子接合工程と、連結部１４を切断する連結部切断工程と、を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の基板を重ね合わせて接合してなる積層構造において、接合材の接合面からのはみ出しを防止す積層体、これを備えた電子デバイス、圧電デバイス、これを備えた圧電モジュール、電子機器及び積層体の製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】圧力センサー１は、積層して接合材４０で接合される感圧素子層１０、ダイアフラム層２０、ベース層３０を備え、感圧素子層１０の枠部１０８には溝部１０２ａ，１０２ｂが形成され、ダイアフラム層２０の他方の主面側の枠部２０６には溝部２０８が形成され、ベース層３０の一方の主面側の枠部３０４には溝部３０６が形成されている。溝部２０８は溝部１０２ａと互いに対向しないように位置をずらして配置され、溝部３０６は溝部１０２ｂと互いに対向しないように位置をずらして配置されている。 （もっと読む）

【課題】圧電性能が良好な（１−ｘ）ＮａＮｂＯ_３−ｘＢａＴｉＯ_３の配向性圧電セラミックスを提供する。また本発明は、前記（１−ｘ）ＮａＮｂＯ_３−ｘＢａＴｉＯ_３の配向性圧電セラミックスを用いた圧電素子、ならびに前記圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされる金属酸化物を主成分として含み、鉛とカリウムの含有量は各々１０００ｐｐｍ以下であることを特徴とする配向性圧電セラミックス一般式（１） （１−ｘ）ＮａＮｂＯ_３−ｘＢａＴｉＯ_３（式中、 ０ ＜ ｘ ＜ ０．３）。 （もっと読む）

【課題】基板の両面に配置された引出電極間の短絡を防止して生産の歩留を高めた圧電デバイス、圧電モジュールを提供する。
【解決手段】第１基板１４と、前記第１基板１４に導電性を有する第１の接合層６２Ａを介して積層された圧電振動基板２６と、を積層し、前記圧電振動基板２６は、圧電振動片（振動部３４Ａ、振動部３４Ｂ、第１基部３６、第２基部３８）と、前記圧電振動片の外周を囲むように設けられた枠部２８と、を有し、前記第１基板１４は、前記圧電振動片に対向する主面側に第１の凹部１６を有する圧電デバイス１０であって、前記枠部２８は、前記第１の凹部１６の内壁よりも前記圧電振動片側に突出していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加速度検出感度、加速度検出精度が高い加速度センサー及び加速度検出装置の提供。
【解決手段】加速度センサー１は、加速度検出素子１０と、加速度検出素子１０を支持する第１支持面５ａ及び第２支持面７ａを有した支持基板４と、を備え、加速度検出素子１０は、加速度検出部２０と、第１被固定部１４ａ及び第２被固定部１４ｃと、加速度検出部２０に第１被固定部１４ａ及び第２被固定部１４ｃを夫々連結する第１ないし第４の梁１２ａ〜１２ｄと、を備え、支持基板４は、固定側の第１基板片５と、可動側の第２基板片７と、第１基板片５と第２基板片７とを連結する蝶番部８と、を備え、加速度検出部２０は、長手方向が検出軸９方向と直交する方向に沿って延び、且つ短手方向中心部が蝶番部８の短手方向の範囲と重なり、第２基板片７は、蝶番部８の長手方向に沿った長さＬ１が蝶番部８の短手方向に沿った長さＬ２よりも長い。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度センサの周囲の温度が長時間上昇しても、圧電層の分極量が低下することにより、感度が低下してしまうということのない特性の向上した角速度センサを提供することを目的とするものである。
【解決手段】そして、この目的を達成するために、本発明の角速度センサは、接着剤８９に無機化合物を含有させるとともに、ケース７０内に水分ゲッター材９０を設ける構成とした。これにより、角速度センサの出力信号の精度が向上する。 （もっと読む）

【課題】 電子装置の特性の劣化を抑制することが可能な電子装置を提供すること。
【解決手段】 電子素子22を有するチップ部品２と、電子素子22を収容する空間Ｓを介してチップ部品２が搭載される配線基板３と、空間Ｓを囲むようにしてチップ部品２の上面及び側面から配線基板３の表面にかけて設けられる樹脂層４と、樹脂層４における配線基板３及びチップ部品２の側面との接着部分のみを覆うようにして設けられた封止補強用樹脂５とを有する電子装置１である。 （もっと読む）

【課題】電気結合に起因する加速度検出素子の異常発振による誤動作を回避し、印加される加速度の誤検出や検出精度の低下を回避可能な加速度検出器の提供。
【解決手段】加速度検出器１は、ベース部１０と、継ぎ手部１１と、可動部１２と、加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂと、を備え、可動部１２は、加わる加速度に応じて、継ぎ手部１１を支点にして変位し、一対の加速度検出素子１３Ａ，１３Ｂは、可動部１２の変位に応じて、加わる力を電気信号に変換し、ベース部１０は、一方の主面１０ａに、加速度検出素子１３Ａと接続され一方の電気信号が流れる第１配線パターン１０ｃ，１０ｄを有し、他方の主面１０ｂに、加速度検出素子１３Ｂと接続され他方の電気信号が流れる第２配線パターン１０ｅ，１０ｆを有し、第１配線パターン１０ｃ，１０ｄと、第２配線パターン１０ｅ，１０ｆとが、平面視において、互いに重ならないように配置されている。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りつつ、低周波の振動を高い感度で検出することのできる加速度センサ、振動子、鳥インフルエンザ監視システムを提供することを目的とする。
【解決手段】加速度センサ２１０Ａの振動子２１１を、外力印加による振動により高調波成分で振動する性質を有する構成とすることにより、振動子２１１において高調波を検出し、振動子２１１の共振周波数よりも低い周波数帯域の振動を検出する。
また、複数本の振動子２１１を設け、これら複数本の振動子２１１間において、その共振周波数Ｆが互い異なるようにしてアレイ化することによって、５〜１５Ｈｚといった帯域を網羅して振動を検出する。
振動子２１１は、錘支持部２１５ａよりも幅寸法ｗが大幅に小さく、Ｓ字状、あるいはジグザグ状に形成されたビーム部２１５ｂを備えてものとするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】繰り返しの応力に対して信頼性の高いアクチュエータを提供する。
【解決手段】配線１４を備えた可動部９と、この可動部９を捩れ運動または曲げ運動、もしくはその両方で駆動させるための駆動部１２と、からなり、配線１４は導電性有機高分子としたことを特徴とするアクチュエータである。このように、繰り返しの応力が印加される可動部９に設けた、下部電極、上部電極、配線などを金属でなく導電性有機高分子で形成することにより、マイグレーションが生じることはなく、また可動部の可撓性を高めることができるので、高い信頼性を有するアクチュエータを提供することができる。 （もっと読む）