【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０に電界を印加する電極６０，８０と、を具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層７０が単斜晶から菱面晶へ変化する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子から検出した信号に含まれる不正振動ノイズの影響を抑え、予め定められた値以上のＳＮ比を確保して歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、コリオリ力に応じた電気信号ＳＲ，ＳＬと、コリオリ力に応じて変化しない基準信号ＦＢとを検出することが可能な振動子と、振動子を駆動する駆動回路２と、振動子から検出した電気信号ＳＲ，ＳＬに対して予め定められた処理を行ない角速度を検出する検出回路１とを備える角速度検出装置である。検出回路１は、振動子から検出した電気信号ＳＲ，ＳＬと基準信号ＦＢとの差分演算を行ない、電気信号ＳＲ，ＳＬから振動子に生じている不正振動によるノイズを除去する駆動ノイズキャンセル回路１２を有している。 （もっと読む）

【課題】本発明は、振動子の不正振動を抑え、不正振動によるノイズを小さくし、ＳＮ比の劣化を抑えて歩留まりを改善することができる角速度検出装置を提供する。
【解決手段】本発明は、音叉型の振動子１００と、振動子１００の腕部を振動方向に駆動する駆動回路２００と、振動子１００に角速度が加わることで生じる電気信号を検出する検出回路３００とを備える角速度検出装置である。振動子１００は、腕部の振動方向を制御する制御電極１５０，１７０をさらに有し、検出電極１４８，１６８は、腕部の中立面に対して対称の位置に形成した第１の検出電極部１４８ａ，１６８ａと、第２の検出電極部１４８ｂ，１６８ｂとを有し、一方の腕部に形成した第１の検出電極部および第２の検出電極部の合成電圧を、他方の制御電極に印加し、他方の腕部に形成した第１の検出電極部および第２の検出電極部の合成電圧を、一方の腕部の制御電極に印加する。 （もっと読む）

【課題】単結晶基板上において、圧電薄膜を良好な単結晶の状態で確実にエピタキシャル成長させて成膜し、圧電特性を確実に向上させる圧電素子と、その製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１０は、以下の工程によって製造される。単結晶基板１を、振動する振動部１Ａと、振動部１Ａと連結されて振動が生じない非振動部１Ｂとに分けたときに、単結晶基板１上で、非振動部１Ｂ上を含む領域であって、振動部１Ａ上の圧電薄膜３の成膜領域を除く領域に、圧電薄膜３の単結晶での成長を阻害する阻害膜２を成膜する。次に、上記成膜領域となる振動部１Ａ上の少なくとも一部に、圧電薄膜３を単結晶でエピタキシャル成長させて成膜するとともに、阻害膜２上に、圧電薄膜３を非晶質または多結晶で成膜する。その後、阻害膜２上に成膜された圧電薄膜３を除去する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、角速度検出装置をパッケージ後であっても、振動子の強誘電体層に自発分極を生じさせるポーリング処理を容易に行なうことが可能な角速度検出装置およびその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、半導体基板の一領域に形成した振動子１００と、振動子１００が形成された領域とは異なる半導体基板の領域に形成した電子回路とを備える角速度検出装置１である。振動子１００は、半導体基板上に形成した下部電極１９４と、下部電極１９４上に形成した圧電体（強誘電体層）１４２と、圧電体１４２上に形成した上部電極（第１駆動電極１４４など）とを有する。電子回路は、振動子１００の上部電極と接続して、振動子１００に駆動信号を印加または振動子からの電気信号を出力する増幅回路と、振動子１００の下部電極１９４と接続し、圧電体１４２に自発分極を生じさせる程度の電圧を印加することが可能な電極端子４４とを有する。 （もっと読む）

【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子１は、Ｙ軸方向及びＹ軸方向と直交するＸ軸方向に平行な平面（ＸＹ平面）に沿った主面１０ａ，１０ｂを有する平板状の基部１０と、基部１０のプラスＹ側からプラスＹ軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０を挟んで駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの反対側に、基部１０のマイナスＹ側からマイナスＹ軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、を備え、基部１０の主面１０ａ，１０ｂには、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂとを結ぶ仮想線１５ａ，１５ｂ，１５ｃ，１５ｄと交差するように溝部１６ａ，１６ｂ，１７ａ，１７ｂが設けられていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動子の重心と支持部材による支持の中心とを一致させることで、外来振動に起因するノイズの低減と、安定した振動子の支持を実現した振動子デバイスを提供する。
【解決手段】パッケージ４０の内部で弾性材からなる支持部材２０により振動子１０が支持された振動子デバイス１であり、振動子１０と異なる部材で形成した錘５０を振動子１０上に設けることで、支持部材２０による振動子１０の支持の中心位置Ｐ２と、錘５０が設けられた振動子１０の重心調整位置Ｐ３とを一致させる構成とした。これにより、外来振動や衝撃に起因するノイズを低減して、安定した信号を出力する振動子デバイスを提供することが出来る。 （もっと読む）

【課題】角速度などの物理量の検出精度を向上させることが可能な振動片、この振動片を備えたジャイロセンサー及び電子機器の提供。
【解決手段】センサー素子１は、互いに直交するＹ軸方向とＸ軸方向とにより規定される平面に沿った主面１０ａ，１０ｂを有する平板状の基部１０と、基部１０からＹ軸方向に沿って延設された一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂと、基部１０を挟んで駆動用振動腕１１ａ，１１ｂの反対側に、基部１０からＹ軸方向に沿って延設された一対の検出用振動腕１２ａ，１２ｂと、を備え、基部１０のＹ軸方向の長さをＬ１、一対の駆動用振動腕１１ａ，１１ｂのＹ軸方向の長さをＬ２としたときに、１．２≦Ｌ１／Ｌ２≦４．２、であることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】実装基板に実装した際の導電性固定部材同士の接触を防止し、正しい駆動を行うことのできる振動子および振動デバイスを提供すること
【解決手段】振動子２は、振動体４、振動体４を支持する第１、第２支持部５１、５２および第１、第２支持部５１、５２と振動体４を連結する４つの梁６１、６２、６３、６４を有する振動片３と、振動体４に設けられた電極７１０〜７４０と、第１、第２支持部５１、５２に設けられ、梁６１、６２、６３、６４に設けられた配線７１２〜７４２を介して電極７１０〜７４０と電気的に接続された端子７１２〜７４２とを有し、隣り合う一対の端子の間には、所定方向に離間するとともに、所定方向と交わる方向に延在する複数の溝５１２が設けられている。 （もっと読む）

【課題】蓄電部に効率よく蓄電することが可能な環境発電デバイスを提供する。
【解決手段】環境発電デバイス１は、複数個の発電部２４を有する圧電型振動発電装置２と、２個のダイオードＤ41，Ｄ42を用いて構成される第１の電力取り出し回路４と、電子式アナログスイッチＳ1〜Ｓ6とエネルギ蓄積素子５４とを用いて構成される第２の電力取り出し回路５と、第１接続形態と第２接続形態とを択一的に切替可能な切替回路６と、蓄電部３を電源として第２の電力取り出し回路５および切替回路６を制御する制御部７を備える。切替回路６は、第１接続形態では、第１の電力取り出し回路４の入力端間に複数個の発電部２４の直列回路を接続させ且つ第１の電力取り出し回路４の出力端間に蓄電部３を接続させ、第２接続形態では、第２の電力取り出し回路５の入力端間に複数個の発電部２４の並列回路を接続させ且つ第２の電力取り出し回路５の出力端間に蓄電部３を接続させる。 （もっと読む）