【課題】圧電素子にクラックが発生するのを防止する信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成される高弾性領域４０と、第１圧電体３０および高弾性領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上方に形成された第２電極６０と、を含み、高弾性領域４０は、第１圧電体３０および第２圧電体５０よりも弾性が高い。 （もっと読む）

【課題】鉛の含有量を抑え、クラックの発生が抑制された圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムの混晶として表されるペロブスカイト型構造を有する複合酸化物に対し、リチウムを１〜１５モル％含む圧電材料からなる液体噴射ヘッド。 （もっと読む）

【課題】圧電定数を向上させた圧電素子、前記圧電素子を用いた液体吐出ヘッド、超音波モータおよび塵埃除去装置を提供する。
【解決手段】一対の電極４０１，４０２と、一対の電極４０１，４０２に接して設けられた圧電材料４０３を少なくとも有する圧電素子４１０であって、圧電材料４０３はチタン酸バリウムを主成分とする結晶粒４０４、４０９の集合体４０５からなり、集合体４０５の結晶粒の中の少なくとも電極４０１と接している結晶粒４０４が、粒内に転位層４０７を有する。 （もっと読む）

【課題】リーク電流が抑制され高い絶縁性を有して絶縁破壊が防止される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、鉛、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、酸素サイトに窒素を含む。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、圧電体層７０と該圧電体層に設けられた電極６０、８０とを備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層７０は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、マグネシウム及び亜鉛からなる群から選択される少なくとも一種の第１ドープ元素と、セリウムからなる第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、マグネシウムからなる第１ドープ元素と、マンガン、チタン、バナジウム、ニオブ及びスズからなる群から選択される少なくとも一種の第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、ナトリウム、カリウム、カルシウム、ストロンチウム及びバリウムからなる群から選択される少なくとも一種の第１ドープ元素と、セリウムからなる第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】大きな変位量が得られ、共振現象を抑制することができ、高電界、高圧力下で長時間連続駆動させた場合であっても変位量の変化を抑制し、かつ、積層部分におけるデラミネーションを抑制することができる耐久性に優れた積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】複数の圧電体層１１と複数の金属層１２ｃ，１２ｄとを交互に積層してなる積層体を有し、複数の金属層が、金属層を構成する少なくとも一成分の比率が隣り合う両側の金属層１２ｃよりも高い高比率金属層１２ｄを複数含んでいる。 （もっと読む）

【課題】比較的簡単かつ安価に、所望の振動特性を得ることができる振動体を用いた振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、該基部から延出する３つの振動腕２８、２９、３０と、該振動腕上に設けられた圧電体素子２２、２３、２４とを有し、該圧電体素子は、該振動腕上に設けられた第１の電極層２２１、２３１、２４１と、該第１の電極層上に設けられた圧電体層２２２、２３２、２４２と、該圧電体層上に設けられた第２の電極層２２３、２３３、２４３とを備え、これらの層のうちの少なくとも１つの層には、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、該圧電体素子の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく且つ（１００）面に結晶が優先配向した圧電体層を備えた液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むゾル−ゲル溶液と、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むＭＯＤ溶液と、を少なくとも混合することにより圧電体膜形成用組成物を調製する工程と、圧電体膜形成用組成物を塗布して圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧電体前駆体膜７１を加熱して結晶化することにより圧電体膜７２を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）