【課題】複数の圧電アクチュエータを連結して接着した際に接着面に発生する引張応力を緩和できる圧電アクチュエータおよび連結型圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】積層方向に沿って直列に連結して用いられる積層型の圧電アクチュエータ１００であって、分極された圧電層１１１と内部電極１１７とが交互に積層されて形成された活性層１１０と、活性層１１０の積層方向両端に設けられ、未分極の圧電層１２１で形成された保護層１２０と、を備え、内部電極１１７のうち、保護層付近の内部電極１１７ｂは、中央に孔１８０を有する。これにより、電圧印加時の変位に対して両端面１３０が平坦になり、圧電アクチュエータ１００を連結して用いる場合、接着により保護層１２０と活性層１１０との界面に上乗せして生じる引張応力を緩和できる。 （もっと読む）

【課題】セラミックスの表面に形成された、ガラス成分を含む電極材料からなる電極の表面に、端子電極を形成した後の、電極とセラミックスとの密着強度の低下を抑制し、電極とセラミックスとが容易に剥離しないような、端子電極形成方法を提供する。
【解決手段】端子電極形成方法は、セラミックス２の表面に形成された、ガラス成分を含む電極材料からなる電極８の表面に、導線を接続するための端子電極１０をめっきにより形成する。この方法は、電極８の表面に、ｐＨ６〜８のめっき液を用いて第一金めっき層をめっきにより形成する第一金めっき層形成工程と、第一金めっき層の表面に、ニッケルめっき層をめっきにより形成するニッケルめっき層形成工程と、ニッケルめっき層の表面に、第二金めっき層をめっきにより形成する第二金めっき層形成工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 欠陥の進展によるマイグレーションの抑制されたセラミックコート層を備えた積層型圧電素子およびこれを備えた圧電アクチュエータ、噴射装置、燃料噴射システムを提供する。
【解決手段】 積層型圧電素子１は、圧電体層２と正極および負極を有する内部電極３とが複数積層され、内部電極３の端面の一部が側面に達してなる積層体４と、内部電極３と電気的に接続されるように積層体４の側面に被着された一対のメタライズ層５と、少なくとも一対のメタライズ層５の存在しない部位で正極および負極の両方の内部電極３の端面を覆うように積層体４の側面に被着されたセラミックコート層６とを含み、セラミックコート層６には複数のボイドがある。 （もっと読む）

【課題】大きな発生変位量を得ることが可能であり、また、環境保全の見地からも優れた積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】 複数の圧電層１と複数の内部電極２とが交互に積層された積層型圧電素子であって、圧電層１はアルカリ金属元素とビスマス（Ｂｉ）とを含む酸化物を含有し、内部電極２は卑金属により構成される。内部電極２は銅（Ｃｕ）又は銅（Ｃｕ）合金により構成されることが好ましい。酸化物はアルカリ金属元素とビスマス（Ｂｉ）とを含む酸化物であり、アルカリ金属元素としてナトリウム（Ｎａ）又はカリウム（Ｋ）を含むことが好ましい。 （もっと読む）

【課題】共通外部電極における抵抗値を低下させることができる積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】積層型圧電素子１は、複数の圧電体層３０が積層された積層体２と、積層体２の第１部分２０に圧電体層３０を介して交互に配置される第１内部電極３１及び第２内部電極３２と、積層体２の第２部分２１ａに配置される第３内部電極３３と、第１側面２ｅに設けられ、第１内部電極３１と接続された第１外部電極３と、第２側面２ｆに設けられ、第２内部電極３２及び第３内部電極３３に接続された第２外部電極４と、第１側面２ｅに設けられ、第３内部電極３３に接続された第３外部電極５ａと、第２主面２ｄに設けられ、第２外部電極３と第３外部電極５ａとを接続する第４外部電極６とを備え、第１外部電極３と第３外部電極５ａとは、第１側面２ｅにおいて互いに電気的に絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】長期間に亘って圧電特性の低下を抑制することができる圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極６０上にランタンニッケル酸化物を主成分とする金属酸化膜２００を形成する工程と、金属酸化膜２００上に圧電体層７０となる圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧電体前駆体膜７１を７００℃以上、９００℃以下で加熱し結晶化させて圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に、第２電極８０を形成する工程と、を備える。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層及び該圧電体層に設けられた電極を備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸ビスマス、チタン酸バリウム、及び亜鉛酸チタン酸ビスマスを含む複合酸化物からなる。 （もっと読む）

【課題】駆動時にメタライズ層と導電性接合材層との境界にクラックが生じて断線するのを抑制し、長期間の耐久性に優れた積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システムを提供する。
【解決手段】積層型圧電素子１は、圧電体層３および内部電極５が積層された積層体７と、積層体７の側面に設けられて内部電極５と電気的に接続されたメタライズ層８と、メタライズ層８の上に設けられた導電性接合材層10と、導電性接合材層10を介してメタライズ層８に接合された外部電極12とを含み、導電性接合材層10にはメタライズ層８と接する側の面に開口しないように複数のボイドがある。 （もっと読む）

【課題】配向制御層を成膜する際に全面成膜することなく必要な部分だけパターニングして成膜でき、配向制御層を薄膜化できる電気機械変換素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１の電極４１と、配向制御層４２と、電気機械変換膜４３と、第２の電極４４とを積層して成る電気機械変換素子４０を製造する電気機械変換素子の製造方法において、第１の電極４１の表面側に配向制御層４２を形成する配向制御層形成工程で、第１の電極４１の表面側に液体吐出ヘッドのノズルを対向させるとともに、ゾルから成る配向制御層前駆体溶液を吐出することにより第１の電極４１に配向制御層前駆体溶液を塗布し、塗布した配向制御層前駆体溶液を熱処理して第１の電極４１上で結晶化するゾルゲル法により、第１の電極４１に配向制御層４２を形成する。 （もっと読む）

【課題】パターン化され所望の膜厚を有する電気機械変換膜を備えた電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置、並びに、パターン化され所望の膜厚を有する膜を簡易に製造できる薄膜製造装置及び薄膜製造方法を提供すること。
【解決手段】基板上に撥液膜を形成する撥液膜形成手段と、レーザ光により前記撥液膜の一部を除去して所望の形状の撥液膜除去部位を形成する撥液膜除去手段と、前記基板上における前記撥液膜除去部位にゾルゲル法により機能性インクを付与する機能性インク付与手段と、前記機能性インクをレーザ光により加熱して結晶化させて所望の形状の機能性薄膜を形成する機能性インク加熱・結晶化手段と、を備え、前記撥液膜除去手段及び機能性インク加熱・結晶化手段は、照射するレーザ光が矩形であると共に前記機能性薄膜の形状と同一形状あるいは同一よりも小さい形状であり、且つ、パルス照射することを特徴とする。 （もっと読む）