【課題】比較的簡単かつ安価に、所望の振動特性を得ることができる振動体を用いた振動デバイスおよび電子機器を提供すること。
【解決手段】振動体２は、基部２７と、該基部から延出する３つの振動腕２８、２９、３０と、該振動腕上に設けられた圧電体素子２２、２３、２４とを有し、該圧電体素子は、該振動腕上に設けられた第１の電極層２２１、２３１、２４１と、該第１の電極層上に設けられた圧電体層２２２、２３２、２４２と、該圧電体層上に設けられた第２の電極層２２３、２３３、２４３とを備え、これらの層のうちの少なくとも１つの層には、その厚さ方向に貫通する微細な複数の孔が形成され、これにより、該圧電体素子の振動特性が調整されている。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく且つ（１００）面に結晶が優先配向した圧電体層を備えた液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むゾル−ゲル溶液と、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むＭＯＤ溶液と、を少なくとも混合することにより圧電体膜形成用組成物を調製する工程と、圧電体膜形成用組成物を塗布して圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧電体前駆体膜７１を加熱して結晶化することにより圧電体膜７２を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の膜剥がれを防ぎ、ショートしにくい高い耐久性を有する圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、平板状の第１の電極１０と、第１の電極１０の一方主面を被覆するように形成された第１の圧電膜１１と、第１の電極１０の他方主面を被覆するように形成された第２の圧電膜１２と、第１の圧電膜１１または第２の圧電膜１２を介して第１の電極１０と対向するように配置された第２の電極２０とを備え、第１の圧電膜１１が一方主面から両側面を経て他方主面まで回り込んで形成されている。 （もっと読む）

【課題】 危険有害性の高い材料を用いることなく、２−エチルヘキサン酸ビスマスを含むセラミックス膜形成用組成物を容易に製造することができるセラミックス膜形成用組成物の製造方法、圧電セラミックス膜及び２−エチルヘキサン酸ビスマスの製造方法を提供する。
【解決手段】 酢酸ビスマスと、２−エチルヘキサン酸と、を含む混合溶液を調製する工程と、前記混合溶液を酢酸の沸点以上の温度に加熱して、２−エチルヘキサン酸ビスマスを含む錯体溶液を得る工程と、を具備し、前記錯体溶液を含むセラミックス膜形成用組成物を得る。 （もっと読む）

【課題】 危険有害性の高い材料を用いることなく、２−エチルヘキサン酸鉄を含むセラミックス膜形成用組成物を容易に製造することができるセラミックス膜形成用組成物の製造方法、圧電セラミックス膜、及び２−エチルヘキサン酸鉄の製造方法を提供する。
【解決手段】 酢酸鉄と、２−エチルヘキサン酸と、を含む混合溶液を調製する工程と、混合溶液を酢酸の沸点以上の温度に加熱して、２−エチルヘキサン酸鉄を含む錯体溶液を得る工程と、を具備し、錯体溶液を含むセラミックス膜形成用組成物を得る。 （もっと読む）

【課題】 アルカリ含有ニオブ酸系ペロブスカイト構造を有する圧電セラミックスにおいて、優れた強誘電特性及び圧電特性を示す圧電セラミックスとして、多岐に渡る圧電セラミックス部品の開発の要望に答え、延いてはＰＺＴを主成分とする圧電セラミックス部品を代替し、環境負荷を低減する。
【解決手段】 Ｋ、Ｎａ、Ｎｂ、およびＯをその構成元素とするアルカリ含有ニオブ酸系ペロブスカイト構造を有する圧電セラミックスにおいて、結晶粒子の平均粒子径が、０．８〜２μｍの範囲にあり、且つ、機械的特性に優れた圧電セラミックスとし、小粒径でありながらもその粒界が強く接合して機械的強度にすぐれた非鉛圧電セラミックスとすることで、その強誘電特性及び圧電特性を飛躍的に向上させることで、ＰＺＴを主成分とする圧電セラミックス部品を代替することが可能となる。 （もっと読む）

【課題】安定した圧電特性を得ることが可能な電気機械変換素子、電気機械変換素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、及び液滴吐出装置を提供することを課題とする。
【解決手段】最表面に酸化物電極層１２Ａを有する第１の電極１２と、酸化物電極層１２Ａ上に設けられ、パターニングされてなる金属電極である第２の電極１４と、第１の電極１２上の第２の電極１４の形成されていない領域に設けられた電気機械変換膜１６と、電気機械変換膜１６上に設けられた酸化物を含む第３の電極１８と、を備え、酸化物電極層１２Ａが下記一般式（１）で示されるペロブスカイト型複合酸化物を主成分とし、且つ該酸化物電極層１２Ａにおける、第２の電極１４の形成されていない領域の電気機械変換膜１６側の最表面の、一般式（１）ＡＢＯ_３中のＡとＢとの組成比Ａ／Ｂが０．８以上１．２以下である。 （もっと読む）

【課題】 圧電性能および機械的品質係数（Ｑ_ｍ）が良好なチタン酸バリウム系圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】 結晶粒子と、前記結晶粒子間を占める粒界を備えた圧電セラミックスであって、前記結晶粒子がペロブスカイト型構造のチタン酸バリウムおよび前記チタン酸バリウムに対して金属換算で０．０４質量％以上０．２０質量％以下のマンガンを含有しており、前記粒界にはＢａ_４Ｔｉ_１２Ｏ_２７およびＢａ_６Ｔｉ_１７Ｏ_４０から選ばれた少なくとも一つの化合物を含有する圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子。 （もっと読む）

【課題】結露によってメタライズ層が腐食するのを抑制し、安定した変位を維持する積層型圧電素子およびこれを備えた噴射装置ならびに燃料噴射システムを提供する。
【解決手段】積層型圧電素子１は、圧電体３および内部電極５が積層された積層体７と、積層体７の側面に設けられて内部電極５と電気的に接続されたメタライズ層８と、メタライズ層８に接合された外部電極６とを含み、外部電極６は、メタライズ層８から少なくとも一部がはみ出たはみ出し部61を有する。 （もっと読む）

【課題】信頼性の向上が十分に得られる圧電体素子などを提供する。
【解決手段】基板２３０と、基板２３０の上に形成された下部電極層２４２と、この下部電極層２４２の上に形成された圧電体層２４３と、この圧電体層２４３の上に形成された上部電極層２４４とを備えた圧電体素子２４０であって、下部電極層２４２が化学式ＡＢＯ3で示され、ＡサイトとＢサイトの比率（Ａ／Ｂ）が１.１以上でなる導電性酸化物からなり、圧電体層２４３がＣＳＤ法により形成された、チタン酸ジルコン酸鉛を主成分とするペロブスカイト型酸化物強誘電体材料からなる。 （もっと読む）