【課題】耐圧が高く且つ結晶粒径が均一な圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスセリウムとチタン酸バリウムの混晶として表される複合酸化物であって、Ｃｅと、Ｃｅ及びＢｉの総量とのモル比であるＣｅ／（Ｃｅ＋Ｂｉ）が、０．０３以上０．１０以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】保護膜の成膜時に圧電体膜が水素によって還元されることがなく、圧電体膜を水分から保護する保護膜を有する圧電体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明の一態様は、圧電体膜１６上に、水素を含まない原料ガスを用いたＣＶＤ法によりＣ_ａＦ_ｂ膜、Ｃ_ａＦ_ｂＮ_Ｃ膜、Ｃ_ａＦ_ｂＯ_ｄ膜及びＣ_ａＦ_ｂＮ_ＣＯ_ｄ膜のいずれかの膜１５を形成する圧電体の製造方法であって、前記原料ガスは、炭素とフッ素を含む有機物原料ガスを有することを特徴とする圧電体の製造方法である。ただし、ａ，ｂ，ｃ，ｄは、自然数である。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きく且つ結晶粒径が均一な圧電体層を有する圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸ニオブ酸バリウムの混晶として表される複合酸化物であって、Ｎｂと、Ｎｂ及びＴｉの総量とのモル比であるＮｂ／（Ｎｂ＋Ｔｉ）が、０．０７２５以上０．１２５以下である液体噴射ヘッドとする。 （もっと読む）

【課題】Ｋ_ｘＮａ_{（１−ｘ）}Ｎｂ０_３を母材として、環境に優しく、圧電特性に優れる圧電材料をより安価に提供する。
【解決手段】一般式Ｋ_ｘＮａ_{（１−ｘ）}Ｎｂ０_３で表される化合物を主成分として含んだ圧電材料であって、０．１≦ｘ≦０．７であるとともに、Ｃｕ酸化物が１０ｍｏｌ％以下、ＢａＴｉＯ_３が、１．０ｍｏｌ％以上、２０ｍｏｌ％以下添加されている圧電材料とした。また。さらに、ガラスが０．１ｗｔ％以上１０ｗｔ％以下添加されている圧電材料とすればより好ましい。 （もっと読む）

【課題】環境負荷を低減し、高い絶縁性を有してリーク電流が抑制される液体噴射ヘッド及び液体噴射装置、並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口に連通する圧力発生室と、圧電体層と該圧電体層に設けられた電極とを備えた圧電素子と、を具備し、前記圧電体層は、ビスマス及び鉄を含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、ナトリウム、カリウム、カルシウム及びストロンチウムからなる群から選択される少なくとも一種の第１ドープ元素と、マンガン、チタン、バナジウム、ニオブ及びスズからなる群から選択される少なくとも一種の第２ドープ元素とを含む。 （もっと読む）

【課題】リーク電流の発生を抑制することができる圧電素子を具備する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１に連通する圧力発生室１２と、第１電極６０、前記第１電極上に設けられた圧電体層７０および前記圧電体層上に設けられた第２電極８０を備えた圧電素子３００と、を具備し、前記圧電体層は、鉄酸マンガン酸ビスマスとチタン酸バリウムを含む混晶として表される複合酸化物からなり、前記圧電体層は、第１の圧電体層と、前記第１電極及び前記第２電極の少なくとも一方と前記第１の圧電体層との間に設けられ前記第１の圧電体層よりも前記チタン酸バリウムの含有量が１０モル％以上多い第２の圧電体層と、を有する液体噴射ヘッドＩとする。 （もっと読む）

【課題】発電効率の高い静電容量変化型の発電素子を提供する。
【解決手段】発電素子１を、誘電分極体１０と誘電エラストマー層１１とが積層されてなる積層体１２、および積層体１２の積層方向の上下に配された一対の電極２１、２２を備え、誘電分極体１０が結晶配向性を有する強誘電体からなるものとする。発電素子１は、電極２１、２２間の距離を変化させることにより静電容量を変化させて電気エネルギーを生じさせる静電容量変化型の発電素子である。誘電分極体層１０により形成される静電場によって電極２１、２２に電荷が静電誘導された状態で、電極２１、２２間の距離を変化させる。電極間の距離が変化することにより、電荷分布に非対称性が生じ、これに伴い電極間に電位差が生じる。この電位差が０になるように電荷移動が生じ、これが、外部回路（負荷）に流れる電流となる。 （もっと読む）

【課題】環境に優しく、実用に耐える圧電特性を維持しつつ生産性に優れたＫ_ｘＮａ_{（１−ｘ）}Ｎｂ０_３を母材とした圧電材料を提供する。
【解決手段】焼結体からなる圧電材料であって、一般式Ｋ_ｘＮａ_{（１−ｘ）}Ｎｂ０_３で表されるとともに０．０２≦ｘ≦０．５である化合物に、ＺｎＯを最も多く含むＺｎ系ガラスと、Ｆｅ_２Ｏ_３とが添加されてなる圧電材料とした。より好ましくは、前記Ｚｎ系ガラスと前記Ｆｅ_２Ｏ_３が、ともに０ｗｔ％よりも多く、１．０ｗｔ％以下の質量比で添加されている圧電材料とすることである。 （もっと読む）

【課題】製造工数の増加、製造効率の低下、及び振動特性の変動を抑制した上で、圧電板上に被膜パターンをムラなく形成できる圧電振動片の製造方法、圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計を提供する。
【解決手段】フォトレジスト膜形成工程は、ウエハＳ上の金属膜４３に向けて気流を発生させてフォトレジスト材を噴霧する噴霧器７３と、ワークステージ７２及びウエハＳ間に配置された複数のスペーサ７４と、、を有する形成装置７１を用いて行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】小型化を図りながらも高出力化を図ることが可能な発電デバイスおよびそれを用いた発電モジュールを提供する。
【解決手段】発電デバイス１は、発電部２０が、圧電体２１の厚み方向の両面に形成され互いに対向する２つ１組の電極２２，２３と圧電体２１において２つ１組の電極２２，２３に挟まれた部分である機能部２１ａとで構成される複数個の発電エレメント２００を有している。また、発電デバイス１は、複数個の発電エレメント２００が、圧電体２１の厚み方向に沿った分極の向きが互いに逆向きである第１の発電エレメント２０１と第２の発電エレメント２０２とからなる。発電部２０は、対をなす第１の発電エレメント２０１と第２の発電エレメント２０２とが、圧電体２１の厚み方向の同じ面側に形成された電極２２，２２同士を接続する配線部２４により接続され、複数個の発電エレメント２００の全てが直列接続されている。 （もっと読む）