【課題】セラミックスグリーン成形体の上面と側面とが交差する部分（上面の縁部）に発生するバリ等を簡易に除去する製造方法を提供する。
【解決手段】平面部を有する上面と、側面とが交差する部分が角形状を呈するセラミックスグリーン成形体が、平板状の基材上に互いに間隔をあけて複数載置される。その後、複数のセラミックスグリーン成形体に対して平板状の弾性体を上方から押し付けることによって、各セラミックスグリーン成形体の上面の縁部において、外側に向かって下がる傾斜部が形成されるとともに、傾斜部とセラミックスグリーン成形体の側面とが交差する部分に円弧部が形成される。この結果、複数のセラミックスグリーン成形体の上面の縁部からバリ等を簡易に且つ同一工程で除去することができる。 （もっと読む）

【課題】鉛を含有せず、かつ膜剥がれ等の問題がなく、圧電特性の劣化のない圧電素子の製造方法、液体噴射ヘッド及び圧電素子を提供する。
【解決手段】酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜５５上にジルコニウムからなる密着層５６を形成する工程と、密着層５６上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上にビスマスを含む複合酸化物からなる圧電体層７０を形成する工程と、圧電体層７０上に第２電極８０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】デバイスの小型化や高密度化が可能な薄膜圧電体を用い、高い圧電効果を発揮して、高効率で駆動、検出が可能となる薄膜圧電体デバイスを提供する。
【解決手段】基板Ｂ１上にペロブスカイト構造の誘電体材料を成膜した薄膜圧電体２を備える薄膜圧電体デバイス１は、基板Ｂ１下側に形成される圧力室２と、圧力室２を形成する上面となる薄膜状の従動膜３と、この従動膜３の上に積層され、所定の部位に電極を備える薄膜圧電体２と、を備え、薄膜圧電体２の滑り方向の変形（ｄ１５変形モード）を用いて入力信号を変換して出力信号を出力する。 （もっと読む）

【課題】下部電極と、上部電極の接続配線との電気的短絡を防止して、実装に適した電子部品を提供する。
【解決手段】基板１１に対して、下部電極１２と同一面２１上に仮マスク４を設け、基板１１の他の面２２から光を照射することで、第１面２１上のフォトレジスト３３を露光する。未露光のフォトレジスト３３を除去すると、下部電極１２及び仮マスク４が露出するように配置されたレジスト層３３を有するレジストパターンが形成される。このレジストパターンを用いて、焼成により絶縁性のセラミック層１３となる前駆体層１６を形成し、その後の熱処理で仮マスク４をセラミック層１３及び／又は基板１１に吸収させることで、下部電極１２よりもセラミック層１３をオーバーハングさせることができる。これによって、下部電極１２と接続配線１５との間の短絡が防止される。 （もっと読む）

【課題】信頼性を保ちつつ、新たな製造設備を設置することなく且つ製造コストを上げることなく、振動波駆動装置の性能の向上を図ることができる積層圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】内部電極５形成されている第１のシート、配線用導電膜が形成されている第２のシート、及び、第１のスルーホール及び分極用表面電極膜が形成されている第３のシートを積層して積層体を形成する。分極用表面電極膜に直流電圧を印加することで、第１のスルーホール及び配線用導電膜２を介して積層体を分極する。積層体の一部を除去することで、第１のスルーホール及び分極用表面電極を除去し、積層体の外周面に配線用導電膜２の端部を露出させることにより、積層圧電素子１を製造する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層のクラックを抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】絶縁体膜５５上に第１電極６０を形成する工程と、第１電極６０上に圧電体前駆体膜を形成し、圧電体前駆体膜を焼成することで結晶化した圧電体膜を形成する圧電体膜形成工程を繰り返し行って、複数層の圧電体膜からなる圧電体層７０を形成する工程と、を具備し、第１電極６０上に１層目の圧電体膜７２を形成した後、第１電極６０と圧電体膜７２とをパターニングすることにより、第１電極６０及び圧電体膜７２の側面を傾斜させる工程と、絶縁体膜５５上、第１電極６０及び１層目の圧電体膜７２の側面上、及び１層目の圧電体膜７２上に島状のランタンニッケル酸化物２００を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電体層のクラックを抑制することができる圧電素子の製造方法、圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】絶縁体膜５５上に設けられた第１電極６０と、第１電極６０上に設けられて、鉛、ジルコニウム及びチタンを含むペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０の第１電極６０とは反対側に設けられた第２電極と、を具備する圧電素子の製造方法であって、絶縁体膜５５上に第１電極６０を形成すると共にパターニングする工程と、絶縁体膜５５上及び第１電極６０上に亘って島状のランタンニッケル酸化物２００を形成する工程と、絶縁体膜５５上及び第１電極６０上に亘って、圧電体前駆体膜を形成し、圧電体前駆体膜を焼成することで結晶化した圧電体膜を有する圧電体層７０を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】単一配向の結晶配向性が高いセラミックス薄膜を得ることができるセラミックス前駆体薄膜の製造方法および前駆体溶液を提供する。
【解決手段】本発明に係るセラミックス前駆体薄膜の製造方法は、金属アルコキシド溶液を希釈した希釈溶液に、アモルファス粉末を混合し、金属アルコキシド系化合物を含む前駆体溶液を作製する前駆体溶液作製工程と、前記前駆体溶液を用いてゲル膜を成膜するゲル膜成膜工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】絶縁性と圧電性が良好で、鉛とカリウムを含まない圧電材料を提供する。
【解決手段】下記一般式（１）で表わされるペロブスカイト型金属酸化物１ｍｏｌに対して、銅をｙ×０．０５ｍｏｌ％以上ｙ×２ｍｏｌ％以下含むことを特徴とする圧電材料である。一般式（１）（Ｎａ_ｘＢａ_１−ｙ）（Ｎｂ_ｙＴｉ_１−ｙ）Ｏ_３（式中、 ０．８０≦ｘ≦０．９５、０．８５≦ｙ≦０．９５） （もっと読む）

【課題】作業工程の短縮と、電気機械変換膜のパターン形状の質を向上させる電気機械変換膜の製造方法、並びに、これにより得られた電気機械変換膜、該電気機械変換膜を備えた電気機械変換素子、該電気機械変換素子を備えた液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】少なくとも所望の位置を除く基板上に撥液膜を形成し、次いで、前記所望の位置にゾルゲル液を塗布し、さらに、前記ゾルゲル液をレーザ光源よりレーザ光を照射して結晶化して電気機械変換膜を形成する。 （もっと読む）