【課題】クラックの発生を抑制することができるセラミックス膜の製造方法、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】金属錯体を含むセラミックス膜形成用組成物を塗布してセラミックス前駆体膜を形成する塗布工程と、セラミックス前駆体膜を加熱により結晶化させてセラミックス膜を形成する結晶化工程と、を具備し、結晶化工程における膜厚の収縮率が２７％以上４５％以下となるようにする。 （もっと読む）

【課題】 電子装置の特性の劣化を抑制することが可能な電子装置を提供すること。
【解決手段】 電子素子22を有するチップ部品２と、電子素子22を収容する空間Ｓを介してチップ部品２が搭載される配線基板３と、空間Ｓを囲むようにしてチップ部品２の上面及び側面から配線基板３の表面にかけて設けられる樹脂層４と、樹脂層４における配線基板３及びチップ部品２の側面との接着部分のみを覆うようにして設けられた封止補強用樹脂５とを有する電子装置１である。 （もっと読む）

【課題】剛性を高めつつ、物理的な破壊を防いだアクチュエータを提供する。
【解決手段】スイッチ装置は、第１接点１２２が設けられた基体１１０と、第２接点１３４を移動させて第１接点１２２と接触または離間させるアクチュエータと、を備え、アクチュエータは、支持層１５０と、支持層１５０上に形成され、第１駆動電圧に応じて伸縮する第１圧電膜１３６と、第１圧電膜１３６上に絶縁材料で形成され、第１圧電膜１３６の端部の少なくとも一部において支持層１５０と接して端部を覆う第１保護膜１５２と、を有する。 （もっと読む）

【課題】ウェットエッチングにより圧電膜層を短時間で微細加工することを可能とし、下部電極層において選択的に加工を停止することを可能とした圧電膜素子の製造方法を提供する。
【解決手段】圧電膜素子１の製造方法は、基板２上に下部電極３を形成する工程と、下部電極３上に組成式（Ｋ_１−ｘＮａ_ｘ）ＮｂＯ_３で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電膜層４を形成する工程と、圧電膜層４にウェットエッチングを行う工程とを備えている。ウェットエッチング工程において、Ｃｒ膜６をマスクとしてフッ酸系エッチング液を用いている。 （もっと読む）

【課題】圧電膜の変位を大きくして動作させるスイッチ装置を提供する。
【解決手段】スイッチ装置１００は、第１接点１２２が設けられた接点部１２０と、第２接点１３４を有し、第２接点１３４を移動させて第１接点１２２と接触または離間させるアクチュエータと、第１駆動電圧を制御する制御部２００と、を備え、アクチュエータは、第１駆動電圧に応じて伸縮する第１圧電膜１３６と、第１圧電膜１３６上に設けられる支持層と１５０、を有し、制御部２００は、第１圧電膜１３６に第１の抗電界以下の電界を印加する電圧から、第１圧電膜１３６に第１の抗電界以上の電界を印加する電圧まで変化させて第１圧電膜１３６を縮ませ、第１圧電膜１３６に第２の抗電界未満の電界を印加する電圧を出力して第１圧電膜１３６を伸ばす。 （もっと読む）

【課題】膜厚５μｍ以上で優れた圧電特性を有するＫＮＮ膜を用いた圧電膜素子を提供する。
【解決手段】基板１上に、下部電極層２と、組成式（Ｋ_1-xＮａ_x）ＮｂＯ₃（０．４≦ｘ≦０．７）で表されるアルカリニオブ酸化物系ペロブスカイト構造の圧電膜３と、上部電極４とを備える圧電膜素子１０で、圧電膜３は、膜厚が５μｍ以上であり、ペロブスカイト構造の擬立方晶、正方晶、斜方晶のいずれかの構造からなり、特定の面方位に優先配向しているものである。 （もっと読む）

【課題】１回の成膜工程で得られる圧電体膜の膜厚を厚くすることが可能で、かつ、保存安定性のよい圧電体膜の前駆体溶液および圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】下部電極６０上に圧電層７０を形成する製造方法において、特定のカルボン酸は、金属アルコキシドの安定化効果を有し、さらに、前駆体溶液中の含有量が増加しても前駆体溶液としての保存安定性の低下、および粘度の増加がみられないために、溶媒として用いることができる。カルボン酸の含有量は、前駆体溶液の調製に用いる原料全量に対して２０質量％以上５０質量％以下とすることが好ましい。２０質量％以上とすることで、大気中の水分による加水分解を防ぐことができる。一方、５０質量％以下とすることで上述の工程で得られる膜の膜厚を厚くすることができる。 （もっと読む）

【課題】強誘電体等からなる金属酸化物膜を所望の位置に低温で低コストで形成する。
【解決手段】金属酸化物膜を形成するための前駆体溶液に、金属酸化物膜が成膜される基板を浸す工程と、前記基板と前記前駆体溶液との界面に光を集光した状態で、前記光を走査しながら照射する工程と、を有し、前記前駆体溶液は前記光を透過するものであって、前記基板上に前記金属酸化物膜を形成することを特徴とする金属酸化物膜の製造方法を提供することにより上記課題を解決する。 （もっと読む）

【課題】１回の成膜工程で得られる圧電体膜の膜厚を厚くすることが可能で、かつ、保存安定性のよい圧電体膜の前駆体溶液の提供。
【解決手段】酢酸及び／又はプロピオン酸からなるカルボン酸と、酢酸鉛と、Ｚｒ（ＯＲ1）4で表されるジルコニウムアルコキシドと、（ＯＲ1は炭素数が３〜８の直鎖状または分岐鎖状のアルコキシ基である）Ｔｉ（ＯＲ2）4で表されるチタニウムアルコキシドと、（ＯＲ2は炭素数が３〜８の直鎖状または分岐鎖状のアルコキシ基である）高分子化合物と、を含む原料を混合することで得られる圧電体膜の前駆体溶液であって、前記原料全量に対する前記カルボン酸の割合が２０質量％以上６０質量％以下であり、かつ、前記ジルコニウムアルコキシドの配位子ＯＲ1または前記チタニウムアルコキシドの配位子ＯＲ2の少なくとも一方の配位子が分岐鎖状のアルコキシ基であることを特徴とする圧電体膜の前駆体溶液。 （もっと読む）

【課題】 変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、前記塗布膜を１７５℃以上１８５℃以下の温度で乾燥する第１乾燥工程と、前記第１乾燥工程の後、２３０℃以上２７０℃以下の温度で乾燥する第２乾燥工程と、前記第２乾燥工程の後、第２乾燥工程の温度以上の温度で加熱して脱脂する工程と、前記脱脂する工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させる工程と、を具備する。 （もっと読む）