【課題】電池残量を求めることができるレーザ装置を提供する。
【解決手段】レーザ光源８の電力供給源として二次電池２を備えるレーザ装置であって、二次電池２の電圧値を検出する電圧検出部３と、予め求められた電池残量予測テーブルを格納する記憶部５と、演算部５とを備えておく。電池残量予測テーブルによって、電圧値と単位時間当たりの電圧降下量とによって予測電池残量を特定しておく。演算部５は、電圧検出部３が検出した電圧値に基づいて単位時間当たりの電圧の電圧降下量を算出し、算出した電圧の電圧降下量と電圧検出部３が検出した電圧値とを電池残量予測テーブルに当てはめて、電池残量を求める。 （もっと読む）

【課題】 レーザ機器で用いられる光学素子の保持機構において、光学素子を保持機構から取り外すことなく光学素子の表面を容易に清掃できるようにする。
【解決手段】 光学素子保持機構１０は、表面１４、表面１４の反対側の裏面１６、及び表面１４と裏面１６との間の環状外周面１８を有する光学素子１２を、レーザ機器の所定位置に保持するものである。光学素子保持機構１０は、光学素子１２の環状外周面１８を係止する係止部２０を有するホルダ２２と、光学素子１２の裏面１６の少なくとも一部分に当接される当接面２４を有する支持台２６とを備える。ホルダ２２は、光学素子１２の表面１４を少なくとも係止部２０よりも外方に突出させた状態で、ホルダ２２の係止部２０と支持台２６の当接面２４との協働により、光学素子１２を保持する。 （もっと読む）

【課題】 導光路内のビーム雰囲気を低コストでもって良好に維持する。
【解決手段】 レーザ発振器（２）と、該レーザ発振器から出力されるレーザを集光する集光光学系（１３）と、レーザ発振器からのレーザを集光光学系まで導く導光路（３０）と、空気を除湿する除湿手段（４０）と、除湿手段によって除湿された除湿空気を導光路まで供給する供給手段（３１、３２）とを具備するレーザ装置（１００）が提供される。除湿手段（４０）により除湿された除湿空気の大気圧露点は０℃以下である。レーザ発振器（２）と集光光学系（１３）との間の距離（Ｌ）が所定の値よりも大きい場合には、複数の除湿手段（４０ａ、４０ｂ）を含むようにするのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】レーザ機器に使用されている数多くの光学部品のいずれかがダメージを受けた場合の、実際にどの光学部品がダメージを受けているか、個々の光学部品を直接目視観察や光を照射してその透過パターンの乱れから判断しなくとも、どの光学部品がダメージを受けているかを見出し、レーザ機器のメンテナンス時間の短縮とレーザ機器を使用した装置の稼働率の向上を目的とする。
【解決手段】反射膜、反射防止膜、バンドパスフィルター、エッジフィルターあるいは偏光膜のうちの少なくとも１種以上の機能多層膜を有するレーザ用光学部品において、該機能多層膜中に、少なくとも１層以上の絶縁膜を有し、絶縁膜の二つの面に透明導電膜が積層して形成された積層膜が少なくとも１つ以上であり、透明導電膜間の抵抗値の減少を検出できる抵抗計が接続されているものである。 （もっと読む）

【課題】 小型で高出力な半導体レーザ励起固体レーザ装置を提供する。
【解決手段】 半導体レーザ光によりレーザ結晶１２を励起し共振器によってレーザ発振を行わせる半導体レーザ励起固体レーザ１０であって、レーザ結晶１２としてはディスク状の単結晶構成のＮｄ：ＧｄＶＯ_４を用い、半導体レーザ素子１１とレーザ結晶１２とを同一平面上の実装基板１３に実装・配置し、且つ、半導体レーザ光を固体レーザ光出射方向より入射させることが可能な光学素子１４を配置し、半導体レーザによる励起光を固体レーザ光出射方向よりレーザ結晶１２に入射させる構成としたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】レーザ加工ヘッド１の光学系ハウジングのレーザ出射口の保護ガラス９の破損を予知する検出方法と装置を提供する。
【解決手段】保護ガラス９ａの温度を熱検出器１６で測定し、温度の時間微分値が予め設定した閾値以上の時に保護ガラス９ａの破損が近未来に起きると判定する。このときレーザ溶接スタート時の被加工物１０ａの溶接部からの輻射熱による保護ガラス９ａの温度上昇期間を判定期間から除くことで、より正確に保護ガラス９ａの破損を予知できる。 （もっと読む）

レーザ（２０）の運転方法が開示されている。レーザ（２０）の構成部品は、光学的部品や光学的部品の取り付け具や容器（４２）そのものから放出される水蒸気や有機化合物蒸気を含む汚染物質が含まれている可能性のある容器（４２）内に収納されている。この容器（４２）内には浮遊微粒子状物質及びオゾンが含まれている可能性もある。このような汚染物質量を削減するために、パージシステム（２６）は容器（４２）からガスを吸引し、吸引したガスを、オゾンを分解するための触媒（８８）、乾燥剤（７８）、有機化合物蒸気吸収剤（８２）、及び微粒子状物質フィルタ（８４）に通し、その後、容器（４２）に吸引したガスを戻す。レーザが発生する放射光の波長が２７０ｎｍ未満の場合、オゾンの分解は特に重要である。
（もっと読む）

出射される波長の制限が緩和されたコヒーレント光源を提供することを課題とする。本発明のコヒーレント光源は、第１の光（３）と、第１の光（３）より波長の短い第２の光（４）を同時に出射するコヒーレント光源であり、少なくとも第１の光（３）を出射する光源本体と、第１の光（３）を透過又は反射するミラー（５）と、ミラー（５）の少なくとも一部に設けられた機能性膜（６）と、を備えている。機能性膜（６）は、第２の光（４）により光触媒効果を発現する。 （もっと読む）

【課題】
【解決手段】極端紫外線リソグラフィー即ちＥＵＬにおいて高出力パルスレーザーを用いるためのレーザー多重化システム及び方法。第１の実施形態では、レーザー発生プラズマ生成のための高出力ＥＵＶレーザー多重化素子（２００）が、少なくとも２つのレーザービーム（２０８）を夫々共通のワークピース上の焦点（２０４）に収束させる少なくとも２つの収束素子（２１０）を備える複合レンズを有する。第２の実施形態では、レーザー多重化装置が、パルスレーザービームを生成するための少なくとも２つのパルスレーザーソースと、少なくとも２つのパルスレーザービーム（３００）を時間的に交互に配置する時間多重化要素（３０２）と、を有する。第３の実施形態では、レーザー多重化組体がビーム形成素子（４０１）を有し、ビーム形成要素は、第１のレーザービーム（４０６ａ）を、第２のレーザービーム（４０６ｂ）の軸と共通の軸に沿って、上記共通の軸を中心として配置されている共通の収束素子（４０５）へと向ける。 （もっと読む）

励起光８の吸収により発生した利得を与えてレーザ光を増幅する平板状の固体レーザ媒質３と、固体レーザ媒質３のレーザ光入射面側に光学的に接合し、当該接合部分を介して励起光８を固体レーザ媒質３に入射
させる平板状のスラブ導波路２と、固体レーザ媒質３のレーザ光入射面に垂直な側面に設けられ、スラブ導波路２から固体レーザ媒質３に入射した励起光８のうち、固体レーザ媒質３外部に向かう励起光をその内部へ反射する励起光反射膜４と、固体レーザ媒質３のレーザ光入射面に対向する面側に設けられ、上記入射面から入射して固体レーザ媒質３内部を伝搬したレーザ光を反射する全反射膜５と、全反射膜５を介して固体レーザ媒質３で発生して伝搬してくる熱を排熱するヒートシンク７とを有する固体レーザ励起モジュール。 （もっと読む）