【課題】簡易な構成でレーザ管からのＨｅガスの透過・散逸を防止する。
【解決手段】ガラスで構成されたレーザ管にＨｅ−Ｎｅガスが封入されてなる発振器を有するＨｅ−Ｎｅガスレーザ装置において、発振器（リングレーザ発振器）１０をＨｅガス非透過性の気密筐体６１に収納し、気密筐体６１内部の発振器１０を取り囲む空間にレーザ管（ブロック１１内の通路１２）に封入されたＨｅ−ＮｅガスのＨｅ分圧と等しい分圧を有するＨｅガスを成分に持つ混合気体を充填する。Ｈｅガスの透過自体が発生しない。 （もっと読む）

【課題】レーザ光源を備える真空装置において、何らかの理由によって装置が破損した場合、レーザ光が外部に漏れてしまい、周囲にいる人の目にレーザ光が入る危険性があった。
【解決手段】レーザ光源を備える真空装置に対し、該真空装置の圧力を測定する圧力センサと、前記圧力センサが測定する圧力が大気圧に接近したことを探知したことに基づき、前記レーザ光源の照射を停止するレーザ停止部と、を設ける。これにより、装置に異常が生じた際に確実にレーザの照射を停止することが可能となり、安全が確保される。圧力センサのかわりに、振動センサを用いてもよい。 （もっと読む）

【課題】 はんだを用いて堅牢に光学素子を位置決め固定するレーザ発振器において、光学素子のハンダによる精密固定において、調整後の位置ズレを抑えてレーザ出力低下を１％以下に抑制する。
【解決手段】 レーザ発振器を構成する光学素子を光学平面基台上にハンダ層を介して精密固定する際、前記光学素子の金属製保持部材は、線膨張係数の小さい材料で構成された上部保持部材及び下部保持部材からなり、前記上部保持部材と下部保持部材との間に、はんだ層が設けられ、当該はんだ層を含む前記金属製保持部材を含む前記光学素子を支持する部分の、前記金属製保持部材の前記レーザ発振器の光軸に垂直な方向の高さｈを所定値以下に構成した。 （もっと読む）

【課題】レーザチャンバのウィンドウからレーザガスがリークしても、リークしたレーザガスに含まれる所定のガス成分が紫外線ガスレーザ装置の筺体内に流出するのを防止できる紫外線ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】容器と、前記容器内にパージガスを供給する回路と、前記容器内のパージガスを排気する回路とを有するパージ用回路と前記レーザチャンバのレーザガスを排出するレーザガス排気用回路とを有し、前記パージ用回路に前記フィルタを有するとともに、前記レーザガス排気用回路に前記フィルタとは別に所定のガス成分を捕獲するフィルタが設けられる。 （もっと読む）

【課題】メンテナンス時の作業スペースを確保しつつ有限のスペース内に収めることを可能にする。
【解決手段】収容スペース１００内に設置され、収容スペース１００外に配置されたチャンバ内に供給された極端紫外光の発生源となるターゲットに照射するレーザ光を出力するレーザ装置１は、マスタオシレータ１１から出力されたレーザ光を増幅する第３〜第５増幅器ユニットＰＡ３〜ＰＡ５と、第３〜第５増幅器ユニットに励起エネルギーを供給する第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５と、外部電力を第３〜第５電源ユニットＤ３〜Ｄ５へ配電する配電盤５０と、第４電源ユニットＤ４および第５電源ユニットＤ５を配電盤５０に対して移動可能にするレールＲ１およびＲ２と、を備える。 （もっと読む）

本発明は、レーザービームを発生するためのレーザー発振器（１）、レーザービームを通すレーザーヘッド（３）、レーザー発振器（１）とレーザーヘッド（３）との間でレーザービームを伝えるための光学路（２）、およびメインガスパイプ（８）を介して流体を流通可能にレーザーヘッド（３）へ接続されたガス供給源（９）を有するレーザー機械設備に関する。さらに、第２パイプ（１８）が上記ガス供給源（９）をレーザー発振器（１）へ流体を流通可能に接続する。それゆえに、上記設備は、レーザー発振器（１）およびヘッド（３）に共通のガス供給源を有する。ガスは、好ましくは、窒素である。
（もっと読む）

光学材料におけるレーザー誘起損傷は、光吸収が最小化される状態を作り出すことによって緩和されうる。具体的には、光学材料においてバンドギャップの欠陥エネルギーをポピュレートする電子は、一般にブリーチングと呼ばれるプロセスにおいて、伝導帯へと推進されうる。こうしたブリーチングは、材料内への最小限のエネルギー蓄積を保証する既定の波長を用いて達成されうるものであり、理想的には、電子を伝導帯のちょうど内側へと推進する。ある場合には、フォノン（すなわち、熱）励起も、高いデポピュレーションレートを達成するために用いられることが可能である。一実施形態において、レーザービームの波長よりも長い波長を有するブリーチング光ビームが、バンドギャップにおける欠陥エネルギー準位をデポピュレートするために、レーザービームと合成されうる。ブリーチング光ビームは、レーザービームと同じ方向、又は交差する方向で伝播されうる。
（もっと読む）

【課題】半導体レーザ（LD）、LED、ランプ等の発光源、およびレンズ、ファイバ等の伝送、転写、集光等の光学部品を備えた光源装置において、装置内における硫酸イオン量を低水準に保つことにより、硫酸アンモニウムの光学部品への付着を防ぐことのできる光源装置を提供する。
【解決手段】光を出射する光源１と、光源から出射された光２を処理する光学部品３と、光学部品を収納する、または光学部品が取り付けられる筐体とを備え、筐体は、硫黄成分を含まない材料を切削することにより形成され、前記材料が表面に露出している。 （もっと読む）

【課題】レーザ発振による振動が光学ユニットに伝達されることを抑制する連結ユニット、及びこれを含むレーザ発振装置を提供する。
【解決手段】レーザを発振する発振ユニットと、前記レーザを取り囲むシャッターユニットと、前記レーザを取り囲んで前記発振ユニットと前記シャッターユニットとの間を連結し、前記発振ユニットに支持されている第１連結部及び前記シャッターユニットに支持されている第２連結部を含む連結ユニットとを含み、前記第１連結部及び前記第２連結部のいずれか一つは、他の一つから離隔し、前記他の一つの一部以上を取り囲むレーザ発振装置。 （もっと読む）

【課題】レーザ管のケースを振動や衝撃から遮断し、着脱作業が容易で、クッションの弾性劣化を防止でき、レーザ管の放射を安定させることを、簡単な構造で実現する。
【解決手段】上側及び下側保持ユニット２１Ａ，２１Ｂは、面側２ｂにレーザ管のケース１が配置されたシャーシ２の左面２ｃに配置された溝３ａを設けたクッション３と、クッション３の溝３ａに嵌め込まれたフランジ４ａと、シャーシ２に形成された挿通穴２ｄを介してシャーシ２の左面２ｃから右面２ｂへ突出する先端側にレーザ管のケース１をねじ５で連結したスリーブ４ａと有するアタッチメントと、クッション３を囲んで保持するようにシャーシの左面２ｃ側に固定されたキャッチャ６とを備える。 （もっと読む）