説明

国際特許分類[H02M9/04]の内容

国際特許分類[H02M9/04]に分類される特許

41 - 50 / 53


【課題】第1の回路から第2の回路に転流が行われる場合に、急峻な立ち上がりの大電流を低損失で流せるようにする。
【解決手段】パルス電源10Aは、第1の回路12と、第2の回路14と、これら第1及び第2の回路12及び14を結合するトランス16と、スイッチングコントローラ18とを有する。第2の回路14は、トランス16の二次巻線22と直列に接続された第3の半導体スイッチSW3を有する。この第3の半導体スイッチSW3は、第2の半導体スイッチSW2がオンとされている期間において、第2の回路14に発生する電圧が逆バイアスとなる方向に接続されている。この第3の半導体スイッチSW3のゲート端子とカソード端子間に、スイッチングコントローラ18からの制御信号Spをパルス成形してパルス信号Pcとして出力するゲートアンプ36が接続されている。 (もっと読む)


高電圧パルスを発生するシステムおよび方法。充電コンデンサを並列に充電し、直列に放電することができるように、一連の電圧セルを接続する。各セルは、主スイッチとリターン・スイッチとを含む。主スイッチがオンになると、セル内のコンデンサは直列となり放電する。主スイッチがオフとなり、リターン・スイッチがオンになると、コンデンサは並列に充電される。パルスの発生を阻害することなく、1つ以上のセルをインアクティブにすることができる。電圧セルによって、振幅、期間、立ち上がり時間、および立ち下がり時間を制御することができる。また、各電圧セルは、各電圧セルから見た浮遊容量と一致させる平衡回路も含む。
(もっと読む)


【課題】 小型・簡単な構造であって電流パルスの立ち上がり時間を短縮することができ、投入エネルギーを大きくすることが可能なパルス発生装置およびこれを用いたDPP方式EUV光源装置を提供すること。
【解決手段】 チャンバ1内に設けられた主放電電極3a、3bに高電圧パルス発生部20から高電圧パルス電圧を印加し、高密度高温プラズマ発生部2において高温プラズマを発生させ波長13.5nmのEUV光を放射させる。高電圧パルス発生部20はスイッチSW1 〜SWn とコンデンサC1 〜Cn の直列回路からなるユニット回路部U1 〜Un を複数並列に接続したものである。コンデンサC1 〜Cn を充電し、スイッチSW1 〜SWn にトリガ信号を与え、コンデンサC1 〜Cn に充電されていた電荷を放電させることにより、主放電電極3a、3b間にパルス状の電力エネルギーを供給することができる。 (もっと読む)


【課題】 同軸磁化プラズマ生成装置において、プラズマ塊を連続的に安定して生成すること。
【解決手段】 外部導体23と内部導体24を同軸状に配置し、外部導体23のリング状凸部231の付近にバイアス磁界発生用の円筒状の電磁コイル27を配置してある。外部導体23と内部導体24には、パワークローバ回路25(容量の小さいコンデンサC1と容量の大きいコンデンサC2からなる)を接続してある。コンデンサC1の充電電圧は、コンデンサC2の充電電圧よりも高く充電してある。ガス供給管22からプラズマ生成ガスを供給し、パワークローバ回路25の充電電圧を外部導体23と内部導体24に印加すると、リング状凸部231と内部導体24の間に放電が発生してプラズマPが生成する。プラズマPは、ローレンツ力により加速されて開放端へ移動し、プラズマ塊PMとなって放出される。パワークローバ回路25は、コンデンサC1,C2を組み合わせることにより、立ち上りが急峻で減衰が緩やかな負荷電流を発生することができる。 (もっと読む)


【課題】 デジタル制御方式を使用して制御機能を1つのASICチップにする,新規かつ改良された,高電圧発生装置,高電圧発生方法,ASICチップおよび画像形成装置を提供する。
【解決手段】 接続された電圧変圧器の1方側コイルに流れる電流を遮断することによって,電圧変圧器の2方側コイルに誘起される電圧を制御する少なくとも1つのスイッチ部と,印加される制御データに応じて,スイッチ部の遮断動作を制御するデジタル制御部と,を含むことを特徴とするASICチップ600が提供される。 (もっと読む)


真空チャンバ(2)内でのパルスプラズマ処理による加工物(5)の加工のために、プラズマ放電(10)に給電する真空プラズマ発生器であって、交流電源接続(6a)を有する発生器出力(9,9’)と、交流電源電圧をきれいな直流電圧に変換するための電源整流器装置(6)と、平滑コンデンサ(6b)と、中間回路電圧(Uz)を形成する直流出力電圧を調整するための手段を有するクロック動作させたDC−DC電圧コンバータ(7)としての第1段とが含まれ、変圧器(14)の一次巻線に給電する制御された遮断器(7a)が含まれ、該変圧器の二次巻線は整流器(15)および下流の中間回路コンデンサ(12)と接続されておりかつ非接地の変圧器二次回路(23)を形成し、その際、この非接地の変圧器二次回路が下流の第2段と接続されており、この第2段がパルス出力段(8)を形成し、このパルス出力段が発生器出力(9,9’)に接続している真空プラズマ発生器において、該DC−DC電圧コンバータ(7)が少なくとも2つの非接地の変圧器二次回路(23)を有し、かつ該非接地の変圧器二次回路(23)の選択的な並列または直列の接続のためのスイッチ制御装置(22)を備えた切換スイッチ装置(20)を含む真空プラズマ発生器が実現された。
(もっと読む)


【課題】小型化及び低コスト化を実現することのできる電圧発生回路を提供することを目的とする。
【解決手段】トランス3と、トランス一次側の通電のオン/オフをスイッチングするスイッチ回路7と、電源1とトランス一次側との間に介在し、トランス3に供給する電荷を蓄える充放電回路2と、を備え、スイッチ回路7は、充放電回路2の蓄積電荷量に対応した電圧を受けるツェナーダイオード33と、電源1とトランス一次側との間に介在し、ツェナーダイオード33に流れる電流が規定値以上のときに、オンとなるサイリスタ18と、を備えている。 (もっと読む)


【課題】 アオコのような水生生物の個々の発生状況に応じた処理を行って、その増殖を効率良く防止することができるような水中生物処理装置及び処理方法を提供する。
【解決手段】 この水中生物処理装置は、船体10と、船体10を水域において走行させる推進手段66と、水中に浸漬するように設けられた放電処理器14と、放電処理器を水中において昇降可能に支持する昇降支持機構16とを有することを特徴とする。これにより、船体を水域において走行させながら、放電処理器14を昇降支持機構16によって昇降させ、最適な深さにおいて放電させて水中生物の処理を行うことができる。 (もっと読む)


【課題】 電源電圧が低くても、2次側の出力電圧の波形が高くなるようにして、高圧発生装置の消費電力の低減および小型化を図る。
【解決手段】 電源1からの電圧を昇圧するためのトランス2と、トランス2とによって共振回路を形成するコンデンサ3と、コンデンサ3の充電と放電とを切り替える切替回路4とを備える。コンデンサ3の放電により生じたパルス電流の周波数が、コンデンサ3およびトランス2のコイル5、6の回路定数を設定して、トランス2の出力電圧の一部あるいは全部を強める関係にある。 (もっと読む)


【課題】簡単な回路構成で、リアクタへの投入エネルギーを向上させる。
【解決手段】放電装置10は、直流電源部18の両端に直列接続されたインダクタ24、第1の半導体スイッチ26及び第2の半導体スイッチ28と、インダクタ24の出力側に接続されたリアクタ14とを有し、第1の半導体スイッチ26のターンオンに伴うインダクタ24への誘導エネルギーの蓄積と、第1の半導体スイッチ26のターンオフに伴うインダクタ24での高電圧の発生と、該高電圧によるリアクタ14での放電の発生が行われる。そして、リアクタ14は、一対の電極と、該一対の電極間に介在された誘電体と空間とを有し、前記高電圧の発生に伴うリアクタ14の誘電体での充電がほぼ終了した時点で、第1の半導体スイッチ26を再びターンオンさせる。 (もっと読む)


41 - 50 / 53