【課題】
【解決手段】本発明は、振動運動を増幅するマイクロメカニカル素子（１１）に関し、マイクロメカニカル素子（１１）は：前記素子を振動部材に堅く固定するインターフェース部（７）と、前記インターフェース部に対して、少なくとも１自由度で移動するように取り付けられるボディ（３）と、戻し付勢力を前記可動ボディと前記インターフェース部との間に加えることができるバネ（４）と；前記インターフェース部が前記自由度で移動する方向を検出する部材と、前記可動ボディを前記インターフェース部に結合させる部材（６）であって、前記可動ボディ（３）を前記インターフェース部（７）に、前記インターフェース部の前記移動方向が、前記可動ボディの移動方向と反対になるときに結合させるように構成され、前記可動ボディを前記インターフェース部から、前記インターフェース部の方向が切り替わる前に、かつ前記インターフェース部の前記移動方向が、前記可動ボディの移動方向と一致するときに結合解除するように構成されている、前記結合させる部材（６）とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ギャップの封止を複雑な工程を要することなく、安価な材料を用いて行なうようにして小型化及び低コスト化を実現するようにした静電アクチュエーターを提供する。
【解決手段】本発明に係る静電アクチュエーターは、固定電極３２及びリード部３３が形成された凹部３１を有する第１の基板（電極基板３０）と、固定電極３２にギャップ４０を隔てて対向し、固定電極３２との間で発生させた静電気力により動作する可動電極（振動板２２）及びリード部３３に対向し、凹部３１に挿入されることでギャップ４０を封止している封止薄膜部２５を有する第２の基板（キャビティ基板２０）と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】単一のアクチュエータで３点以上の安定点を取ることができ、小型化・集積化可能な微小可動デバイスを提供する。
【解決手段】微小可動デバイスは基板３１と、基板３１上に設けられた固定構造物と、その固定構造物に連結支持されて基板板面と平行に駆動される可動構造物とを有する。可動構造物（可動ロッド４１）は第１の双安定ヒンジ対５３，５４の中央に結合され、第１の双安定ヒンジ対５３，５４の他端は第２の双安定ヒンジ対５６，５７の中央に結合され、第２の双安定ヒンジ対５６，５７の他端は固定構造物（アンカー部５８）に結合される。２つの双安定ヒンジ対がそれぞれ２つの安定状態の何れかにある時に可動ロッド４１は４つの安定点を取ることができる。双安定ヒンジ対をＮ段構成（Ｎは２以上の整数）とすれば、安定点が３以上２^Ｎ以下の個数の相互に異なる点として形成される。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で、装置全体の小型化を図ることができると共に、静電誘導により効率良く発電することができる時計用発電装置および発電装置を提供する。
【解決手段】 秒針車３８の下面に、当該秒針車３８の回転中心部から放射状に形成された放射状部５８を備えた第１電極５６とこの第１電極５６上に電荷保持体であるエレクトレット膜５９とを設ける一方で、これらエレクトレット膜５９および第１電極５６と対向するように平板状の輪列受３４上面に、秒針車３８の回転中心部から放射状に形成された放射状部６２を備えた第２電極６０を設けた。従って、秒針車３８が回転すると、この秒針車３８の第１電極５６およびエレクトレット膜５９と輪列受３４の第２電極６０とが相対的に回転駆動し、エレクトレット膜５９に保持されている電荷が静電誘導の働きにより第２電極６０に流れ、この結果、こうした静電誘導の働きによって秒針車３８の機械的な回転運動エネルギを効率良く電気エネルギに変換して蓄電部へ供給することができる。 （もっと読む）

【課題】櫛歯状電極の数を増やすことなく大きな駆動力を生じる静電型アクチュエータを得る。
【解決手段】第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂが伸びる方向に対して直角かつ鏡面３０１と平行な方向における長さを第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂの幅とすると、第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂの幅は、可動体３００との接続部において最も広い幅を有し、枠体２００に近づくにつれて線形に狭くなる。また、可動体３００の厚さ方向における第１及び第２の可動体側電極３２０ａ、３２０ｂの長さは、可動体３００との接続部において、また枠体２００との最接近部において同じである。 （もっと読む）

【課題】同じ電圧をかけたときの発生圧力が高く、絶縁耐性に優れた絶縁膜を備えた静電アクチュエータを適用した波長可変フィルタを提供する。
【解決手段】所定の波長の光を透過させ所定の波長以外の光を反射させる可動体２２１ａと、可動体に対し所定のギャップを隔てて対向する駆動電極２１２と、駆動電極２１２の可動体側の表面に形成された絶縁膜と、を備える静電アクチュエータ方式の波長可変フィルタ２００であって、前記絶縁膜は、少なくとも酸化シリコンよりも比誘電率が高い強誘電材料からなる強誘電体膜と、酸化シリコン膜とを積層したものである。 （もっと読む）

【課題】ホールド状態で十分長い時間が経過しても、不具合を起こさないように静電型アクチュエータを駆動できるＭＥＭＳを提供する。
【解決手段】基板１２上の下部電極１５、基板との間に空洞が存在するように配置された上部電極１７、及び上部電極と下部電極間に配置された第１絶縁膜４２を有する静電型アクチュエータと、基板上に下部電極と離隔して形成された第一の電極１８Ａ，１８Ｂと、上部電極との間に絶縁体を介して形成され、第一の電極と対向するように配置された第二の電極１９と、静電型アクチュエータの上部電極１７に駆動電圧が印加されている間は下部電極１５を接地電圧とし、下部電極１５に駆動電圧が印加されている間は上部電極１７を接地電圧とするバイアス回路２３を有する。バイアス回路２３により駆動電圧及び接地電圧を上部電極１５及び下部電極１７に印加することにより、第一の電極と第二の電極との間の距離を変化させる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で、装置全体の小型化を図ることができると共に、効率良く発電することができる発電装置を提供する。
【解決手段】 時計モジュール６に設けられた平板状の基板である地板１５の平面上を回転する回転板１７に、その回転中心部である軸孔１７ａから放射状に形成された放射状部２４を備えた第１電極２２と、電荷保持体であるエレクトレット膜２５とを配置する一方で、この第１電極２２の放射状部２４と対向するように地板１５上に、放射状に形成された放射状部２７を備えた第２電極２６を配置している。従って、地板１５に対して回転板１７を一定間隔に保って回転させ、この回転板１７の機械的な回転運動エネルギを効率良く電気エネルギに変換することができる。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で、小型化を図ることができると共に、効率良く発電して蓄電することができる電池装置およびそれを備えた電子機器を提供する。
【解決手段】 電池ケース１６内に収納された発電部２０が、平板状の電池基板２３と対面する回転板２４に、その回転中心部から放射状に形成された放射状部３４を備えた第１電極３２と、電荷保持体であるエレクトレット膜３５とを配置する一方で、この第１電極３２の放射状部３４と対向するように電池基板２３に形成された放射状部３８を備えた第２電極３６を電池基板２３に配置した。従って、電池基板２３に対して回転板２４を一定間隔に保って回転させ、この回転板２４の機械的な回転運動エネルギを効率良く電気エネルギに変換して電池部２１の蓄電部に蓄電することができる。 （もっと読む）

【課題】固定子と可動子との間に潤滑剤を介在させつつ大きな出力を得ることができる静電モータを提供する。
【解決手段】相互に対面する複数のフィルム20,30を備えた固定子2及び可動子3が潤滑剤4の介在下に筐体5内に収容され、複数相の交流の印加による静電気力に基づき可動子3を駆動する静電モータにおいて、各々上下方向に延びる固定子2及び可動子3の少なくとも一方に交流を印加される多数の帯状電極が上下方向に並ぶように配置され、可動子3は、複数のフィルム30を結合する連結部320を上端部に備え、該連結部320には出力軸33が結合されており、潤滑剤4は固定子フィルム上の電極の少なくとも半分が浸漬し且つ筐体5内に上部空間55を残す量で収容され、可動子3は、上下動における少なくとも上昇位置において上部空間55内へ連結部320を脱出させるように構成されている静電モータ。 （もっと読む）